TaC-Beschichtungsring

Der TaC-Beschichtungsring von VeTek Semiconductor ist aus hochwertigem Graphit gefertigt und mit Tantalcarbid (TaC) beschichtet, einem Material, das für seine überlegenen Eigenschaften bekannt ist und eine unverzichtbare Komponente bei der Halbleiterwaferverarbeitung ist.

Die wichtigsten Merkmale und Vorteile des Vetek -Halbleiter -TAC -Beschichtungsrings:

● hohe thermische Stabilität: Eines der herausragenden Merkmale des Tantalcarbid-Beschichtungsrings ist seine Fähigkeit, hohen Temperaturen standzuhalten, einem kritischen Faktor beim Ätzen von Halbleitern. Der SiC-Ätzprozess erfordert die Einwirkung erhöhter Temperaturen und reaktiver Gase, und die Tantalcarbid-Beschichtung sorgt dafür, dass der Ring auch unter diesen rauen Bedingungen stabil bleibt und seine strukturelle Integrität behält. Diese thermische Belastbarkeit stellt sicher, dass das Bauteil auch über längere Zeiträume hinweg seine optimale Leistung erbringt.

● Verbesserte mechanische Stärke: Die Kombination aus hochfestem Graphit- und TAC-Beschichtung führt zu einer Komponente mit verbesserten mechanischen Eigenschaften, wodurch der mit TAC beschichtete Ring gegen Verschleiß stark beständig ist. Seine mechanische Stärke ist entscheidend, um SIC -Wafer fest zu halten, um genaue Ätzen zu gewährleisten und eine Verformung während des Prozesses zu verhindern.

● Chemische Korrosionsresistenz: Bei Halbleiterprozessen wie SiC -Ätzen werden Komponenten häufig aggressiven Chemikalien und reaktiven Gasen ausgesetzt. Die Tantal -Carbidbeschichtung bietet einen hervorragenden Schutz vor Korrosion, wodurch die Nutzungsdauer des Rings erheblich verlängert und die Notwendigkeit häufiger Ersatz minimiert wird. Dieser Widerstand ist besonders wichtig im Ätzprozess, bei dem die Komponenten in ständigem Kontakt mit chemisch reaktiven Substanzen stehen.

● Superior Coatitac -Beschichtungen für eine verbesserte Leistung: Die Tantalcarbid-Beschichtung des Graphitrings sorgt für eine robuste Oberfläche, die die Gesamtleistung der Komponente verbessert. Tantalcarbid ist bekannt für seinen hohen Schmelzpunkt (ca. 3.880 °C) und seine hervorragende Beständigkeit gegenüber chemischen Reaktionen, insbesondere in den aggressiven Umgebungen, die typischerweise bei Halbleiterherstellungsprozessen auftreten. Diese Tantalcarbid-Beschichtung verlängert die Lebensdauer des Produkts erheblich und bietet eine überlegene Haltbarkeit im Vergleich zu unbeschichteten Graphitringen.

● Verbesserte mechanische Stärke: Die Kombination aus hochfestem Graphit- und TAC-Beschichtung führt zu einer Komponente mit verbesserten mechanischen Eigenschaften, wodurch der mit TAC beschichtete Ring gegen Verschleiß stark beständig ist. Seine mechanische Stärke ist entscheidend, um SIC -Wafer fest zu halten, um genaue Ätzen zu gewährleisten und eine Verformung während des Prozesses zu verhindern.

Als führender TAC -Beschichtungsringlieferant, Hersteller und Fabrik in China ist Vetek Semiconductor seit langem für die Bereitstellung fortschrittlicher TAC -Beschichtungsringprodukte und technischen Lösungen für die Halbleiterverarbeitungsbranche und unterstützt maßgeschneiderte Produktdienste. Veteksemi freut sich aufrichtig darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

Physikalische Eigenschaften der TaC-Beschichtung

Die TaC Coating Ring-Produktshops von VeTek Semiconductor