Aluminiumoxidkeramik

1. Ausgezeichnete Isoliereigenschaften: 

Keramisches Aluminiumoxid hat einen hohen Widerstand und ausgezeichnete Isoliereigenschaften, kann Halbleitergeräte wirksam isolieren und schützen, Stromverlust und Störungen in der Schaltung verhindern, um die Stabilität und Zuverlässigkeit der Geräte zu gewährleisten.

2. Hervorragender Hochtemperaturwiderstand: 

Aluminiumoxid-Keramik können stabil in Hochtemperaturumgebungen arbeiten und können normalerweise Temperaturen von Hunderten von Grad Celsius standhalten, was für Halbleiterausrüstung sehr wichtig ist, die einen langjährigen Betrieb der Komponenten mit hohem Temperatur benötigen.

3.. Gute chemische Stabilität: 

Keramisches Aluminiumoxid hat eine gute chemische Trägheit, Säure und Alkali, und andere Chemikalien haben eine hohe Korrosionsbeständigkeit, was es im Halbleiterherstellungsprozess nicht einfach zu chemisch erodieren lässt, um die langfristige Stabilität des Geräts und die Lebensdauer aufrechtzuerhalten.

4. Ausgezeichnete mechanische Eigenschaften: 

Trotz eines Keramikmaterials weist Keramikaluminiumoxid auch eine relativ hohe mechanische Festigkeit und Härte auf und kann einem gewissen Grad an physikalischer Auswirkung und Stress standhalten, was besonders für Halbleiterausrüstungskomponenten geeignet ist, die eine hohe Präzision und hohe Stabilität erfordern.

5. Gute Verarbeitbarkeit und Präzision: 

Aluminiumoxidkeramik kann in komplexe Formen und präzisen Größen von Komponenten mit hohem Oberflächenfinanzierung geformt, gesintert und verarbeitet werden, die für die Herstellung von Halbleiterausrüstung im Packungssubstrat, der Isolationsschicht und anderen Schlüsselkomponenten geeignet sind.

Zu den Anwendungen der Aluminiumoxid -Keramikmaterialien von Vetekemicon in der Solar- und Halbleiterindustrie gehören hauptsächlich:

1. Hohlraumschutzmaterial

Aluminiumoxidkeramik weisen eine ausgezeichnete chemische Stabilität, die thermische Stabilität, die mechanischen Eigenschaften und die elektrischen Eigenschaften auf, was Aluminiumoxidkeramik als Schutzmaterial zum Schutz von Geräten vor chemischer, thermischer, mechanischer und elektrischer Schäden wirksam macht, um einen langfristigen stabilen Betrieb und effizienten Betrieb des Geräts zu gewährleisten.

2. Plasmaausrüstung

Aluminiumoxidkeramik weisen eine hervorragende Hochtemperaturresistenz, chemische Stabilität, elektrische Isolierung und gute mechanische Eigenschaften auf. Daher werden sie häufig als strukturelle Materialien und Schutzmaterialien in Plasmaausrüstung verwendet, um einen stabilen und zuverlässigen Betrieb von Geräten in komplexen Arbeitsumgebungen zu gewährleisten.

3.. Waferpolierprozess

Keramisches Aluminiumoxid hat eine hohe Härte und eine gute thermische Stabilität und elektrische Isolierung, sodass sie als Polierscheibenmaterial bei Waferpolierprozessen sehr geeignet sind. Keramisches Aluminiumoxid kann Wafer vor mechanischer Verschleiß und chemischer Erosion schützen, wodurch die Genauigkeit und Stabilität des Polierens verbessert wird.