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CVD Sic Duschkopf
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CVD Sic Duschkopf

Vetek Semiconductor ist ein führender CVD -Duschkopfhersteller und Innovator in China. Wir sind seit vielen Jahren auf SIC -Material spezialisiert. CVD -Duschkopf wird aufgrund seiner hervorragenden thermochemischen Stabilität, hoher mechanischer Festigkeit und Widerstand gegen Plasma -Erosion als Fokussierringmaterial ausgewählt. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

Sie können sicher sein, dass Sie CVD SIC -Duschkopf aus unserer Fabrik kaufen. Vetek Semiconductor CVD sic Duschkopf wird aus hergestelltFestes Siliziumkarbid (sic)Verwendung erweiterter chemischer Dampfabscheidungstechniken (CVD). SIC wird für seine außergewöhnliche thermische Leitfähigkeit, chemische Resistenz und mechanische Festigkeit ausgewählt, ideal für SIC-Komponenten mit großem Volumen wie dem CVD-SIC-Duschkopf.

CVD SiC Shower Head

Produktleistung und Vorteile:

Der CVD -Duschkopf wurde für die Herstellung von Halbleiter entwickelt und hält hohe Temperaturen und Plasmaverarbeitung. Seine präzise Gasflusskontrolle und überlegene Materialeigenschaften gewährleisten stabile Prozesse und langfristige Zuverlässigkeit. Die Verwendung von CVD SIC verbessert das thermische Management und die chemische Stabilität und verbessert die Qualität und Leistung der Halbleiterprodukte.


Kundenbedürfnisse adressieren:

Der CVD SIC -Duschkopf verbessert sichEpitaxialwachstumEffizienz durch Verteilung von Prozessgasen gleichmäßig und schützt die Kammer vor Kontamination. Es löst die Herstellung von Halbleitern effektiv auf, z. B. Temperaturkontrolle, chemische Stabilität und Prozesskonsistenz und bietet für Kunden zuverlässige Lösungen.


Anwendungsszenarien:

In MOCVD -Systemen verwendet,Si -Epitaxie, UndSic epitaxyDer CVD SIC-Duschkopf unterstützt hochwertige Halbleiter-Geräteproduktion. Die entscheidende Rolle sorgt für eine präzise Prozesskontrolle und -stabilität und erfüllt die verschiedenen Kundenanforderungen für leistungsstarke und zuverlässige Produkte.


Produktparameter des CVD -SIC -Duschkopfes:

Physikalische Eigenschaften vonSolide sic
Dichte 3.21 g/cm3
Stromwiderstand 102 Ω/cm
Biegerstärke 590 MPA (6000 kgf/cm2)
Young's Modul 450 GPA (6000 kgf/mm2)
Vickers Härte 26 GPA (2650 kgf/mm2)
C.T.E. (RT-1000 ℃) 4.0 X10-6/K
Wärmeleitfähigkeit (RT) 250 W/mk


Es Halbleiter CVD Sic DuschkopfProduktionsgeschäft

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