Gan Epitaxial Undertaker

Der GaN epitaxiale Suszeptor ist für das epitaxiale Wachstumsprozess von Galliumnitrid (GaN) ausgelegt und für fortschrittliche epitaxiale Technologien wie chemische Dampfabscheidung mit hoher Temperatur (CVD) und Metall-organische chemische Dampfablagerung (MOCVD) geeignet. Der Suszeptor besteht aus hoher purity, hochtemperaturbeständiger Materialien, um eine hervorragende Stabilität unter hohen Temperaturen und mehreren Gasumgebungen zu gewährleisten, wodurch die anspruchsvollen Prozessanforderungen von fortschrittlichen Halbleitergeräten, RF-Geräten und LED-Feldern erfüllt werden.

Darüber hinaus verfügt der Gan Epitaxial -Suszeptor von Vetek Semiconductor über die folgenden Produktmerkmale:

● Materialzusammensetzung

High-Purity-Graphit: SGL-Graphit wird als Substrat mit ausgezeichneter und stabiler Leistung verwendet.

Siliziumkarbidbeschichtung: Bietet eine extrem hohe thermische Leitfähigkeit, eine starke Oxidationsresistenz und eine chemische Korrosionsbeständigkeit, die für den Wachstumsbedarf von GaN-Geräten mit hoher Leistung geeignet ist. Es zeigt eine hervorragende Haltbarkeit und eine lange Lebensdauer in harten Umgebungen wie CVD und MOCVD mit hohem Temperatur, was die Produktionskosten und die Wartungsfrequenz erheblich senken kann.

● Anpassung

Anpassungsgröße: Vetek Semiconductor unterstützt den individuellen Service entsprechend den Kundenbedürfnissen, der Größe derBestatterund Waferloch kann angepasst werden.

● Betriebstemperaturbereich

Veteksemi Gan epitaxiale Suszeptor konnte den Temperaturen bis zu 1200 ° C standhalten, um eine hohe Temperaturgleichmäßigkeit und Stabilität zu gewährleisten.

● anwendbare Geräte

Unser Gan EPI -Anfänger ist mit dem Mainstream kompatibelMOCVD -Ausrüstungwie Aixtron, Veeco usw., geeignet für hochpräziseGan -Epitaxialprozess.

Veteksemi war schon immer dafür verpflichtet, den Kunden die am besten geeigneten und exzellenten Produkte von Gan Epitaxial Susceceptor zu bieten, und freut sich darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden. Vetek Semiconductor bietet Ihnen professionelle Produkte und Dienstleistungen, damit Sie mehr Ergebnisse in der Epitaxienindustrie erzielen können.

CVD sic Filmkristallstruktur

Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD -sic -Beschichtung

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