Produkte
SIC -Beschichtungsabdeckungssegmente
  • SIC -BeschichtungsabdeckungssegmenteSIC -Beschichtungsabdeckungssegmente

SIC -Beschichtungsabdeckungssegmente

Vtech Semiconductor engagiert sich für die Entwicklung und Kommerzialisierung von CVD -sic -beschichteten Teilen für Aixtron -Reaktoren. Zum Beispiel wurden unsere SIC -Beschichtungsabdeckungssegmente sorgfältig verarbeitet, um eine dichte CVD -SIC -Beschichtung mit hervorragender Korrosionsbeständigkeit, chemischer Stabilität zu erstellen, willkommen, um die Anwendungsszenarien mit uns zu diskutieren.

Sie können sicher sein, dass Sie SIC Coating Covers -Segmente aus unserer Fabrik kaufen. Die Mikro -LEDs -Technologie stört das vorhandene LED -Ökosystem mit Methoden und Ansätzen, die bisher erst in der LCD- oder Halbleiterindustrie zu sehen sind. Das Aixtron G5 MOCVD -System unterstützt diese strengen Erweiterungsanforderungen perfekt. Es ist ein leistungsstarker MOCVD -ReaktorGan Epitaxy Wachstum auf Siliziumbasis.


Aixtron G5is a horizontal Planetary disk epitaxy system, mainly consisting of components such as the CVD SiC coating Planetary disc, MOCVD susceptor, SiC Coating Cover Segments, SiC coating cover ring, SiC coating ceiling, SiC coating supporting ring, SiC coating cover disc, SiC coating exhaust collector, pin washer, collector inlet ring, etc.


Als CVD -SIC -Beschichtungshersteller bietet Vetek Semiconductor Aixtron G5 SIC -Beschichtungsabdeckungssegmente an. Diese Suszeptoren bestehen aus hochreinigem Graphit und zeigen aCVD -SIC -Beschichtungmit Unreinheit unter 5 ppm.


Produkte von CVD-SIC-Beschichtungsabdeckungen weisen eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit, eine überlegene thermische Leitfähigkeit und die Hochtemperaturstabilität auf. Diese Produkte widerstehen effektiv der chemischen Korrosion und Oxidation, um die Haltbarkeit und Stabilität in harten Umgebungen zu gewährleisten. Die ausstehende thermische Leitfähigkeit ermöglicht eine effiziente Wärmeübertragung und verbessert die Effizienz des thermischen Managements. 


Mit ihrer Hochtemperaturstabilität und ihrer Widerstand gegen thermische Schock können CVD-SIC-Beschichtungen extremen Bedingungen standhalten. Sie verhindern die Auflösung und Oxidation von Graphitsubstrat, verringern die Kontamination und die Verbesserung der Produktionseffizienz und der Produktqualität. Die flache und gleichmäßige Beschichtungsoberfläche bildet eine feste Grundlage für das Filmwachstum und minimiert Defekte, die durch Nichtübereinstimmung von Gitter verursacht werden und die Filmkristallinität und Qualität verbessert. Zusammenfassend bieten CVD-SIC-beschichtete Graphitprodukte zuverlässige Materiallösungen für verschiedene industrielle Anwendungen und kombinieren außergewöhnliche Korrosionsbeständigkeit, thermische Leitfähigkeit und Hochtemperaturstabilität.


SEM -Daten von CVD SIC -Film

SEM DATA OF CVD SIC FILM

Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD -sic -Beschichtung:

Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD -sic -Beschichtung
Eigentum Typischer Wert
Kristallstruktur Polykristalline FCC -β -Phasen -FCC -β -Phase, hauptsächlich (111) orientiert
SiC -Beschichtungsdichte 3,21 g/cm³
CVD -SIC -Beschichtungshärte 2500 Vickers Härte (500 g Last)
Körnung 2 ~ 10 mm
Chemische Reinheit 99,99995%
Wärmekapazität 640 J · kg-1· K-1
Sublimationstemperatur 2700 ℃
Biegerstärke 415 MPa RT 4-Punkte
Der Modul von Young 430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Wärmeleitfähigkeit 300W · m-1· K-1
Wärmeausdehnung (CTE) 4,5 × 10-6 ·K-1

Es HalbleiterSIC -Beschichtungsabdeckungssegmente Produktgeschäfte:

SiC Coated Wafer CarrierAixtron equipmentCVD SiC Focus RingSemiconductor process Equipment

Überblick über den Halbleiter Chip -Epitaxie -Industriekette:

SiC Epitaxy Si Epitaxy GaN Epitaxy

Hot-Tags: SIC -Beschichtungsabdeckungssegmente
Anfrage absenden
Kontaktinformation
Für Anfragen zu Siliziumkarbidbeschichtungen, Tantalkarbidbeschichtungen, Spezialgraphit oder zur Preisliste hinterlassen Sie uns bitte Ihre E-Mail-Adresse. Wir werden uns innerhalb von 24 Stunden bei Ihnen melden.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept