Andere Halbleiterkeramiken

Das poröse Sic Ceramic Chuck von Vetekememon ist eine präzisionsmotorierte Vakuumplattform, die für die sichere und partikelfreie Waferhandhabung in fortschrittlichen Halbleiterprozessen wie Ätzen, Ionenimplantation, CMP und Inspektion entwickelt wurde. Es wird aus porösem Siliziumcarbid mit hohem Purity hergestellt und bietet hervorragende thermische Leitfähigkeit, chemische Resistenz und mechanische Festigkeit. Mit anpassbaren Porengrößen und -abmessungen liefert Vetekemicon maßgeschneiderte Lösungen, um den strengen Anforderungen der Reinraum -Wafer -Verarbeitungsumgebungen gerecht zu werden.

Unsere Quarzwaferboote sind hochreinheitliche Wafer-Trägerlösung, die auf Halbleiter-, LED-, Solarzellen- und Batterieherstellungsprozesse zugeschnitten sind. Dieses Quarzboot ist entwickelt, um hohe Temperaturen und chemisch aggressive Umgebungen zu ertragen, und verfügt über eine geringe thermische Ausdehnung, eine hervorragende elektrische Isolierung und langfristige dimensionale Stabilität. Ideal für Diffusions-, Oxidations- und LPCVD -Prozesse unterstützt es eine präzise Waferausrichtung und ist in verschiedenen Größen erhältlich, um unterschiedliche Geräteanforderungen zu erfüllen.

Unser hochreines Quarzboot besteht aus fusioniertem Quarz (SiO₂ -Gehalt ≥ 99,99%). Mit seiner hervorragenden Resistenz gegen extreme Umgebungen, einem geringen thermischen Expansionskoeffizienten und dem langen Lebenszyklus ist er zu einem unersetzlichen Schlüssel in der Halbleiter- und der neuen Energiewirtschaft geworden.

Der Fokusring für das Ätzen ist die Schlüsselkomponente, um die Prozessgenauigkeit und -stabilität sicherzustellen. Diese Komponenten werden in einer Vakuumkammer genau zusammengesetzt, um eine gleichmäßige Bearbeitung von nanoskaligen Strukturen auf der Waferoberfläche durch eine präzise Kontrolle der Plasmakreverung, die Kantentemperatur und die Gleichmäßigkeit der elektrischen Feld zu erreichen.

Vetekemicon ist ein führender Vakuum -Chuck -Hersteller in China. Begrüßen Sie Ihre Anfrage.

Quarzglasglocken in Halbleiterqualität sind eine wichtige Ausrüstungskomponente, die hauptsächlich in Umgebungen mit hohen Temperaturen, hohem Druck und hoher Reinheit eingesetzt wird. Es besteht aus hochreinem Quarzmaterial, weist eine hervorragende thermische Stabilität, chemische Beständigkeit und optische Transparenz auf und wird häufig in Industriebereichen wie der Halbleiterfertigung und der LED-Produktion eingesetzt. VeTek Semiconductor verfügt über langjährige Erfahrung in der Verarbeitung von Quarzglasglocken in Halbleiterqualität und kann maßgeschneiderte Produkte entsprechend den Kundenanforderungen anbieten. Wir freuen uns auf Ihre Anfrage.