Hochreines Quarzboot

Hochreinheit Quarzboote sind Präzisionsträger aus ultrahoch-hohen Purity-Quarzmaterialien (SiO₂-Gehalt ≥ 99,99%), die für Hochtemperatur-, Hochverrückungsverfahren ausgelegt sind. Dieses Gerät ist für Prozesse wie Annealing, Diffusion, Oxidation und chemische Dampfabscheidung (CVD) essentiell und wird in Halbleitern, Photovoltaiken und anderen Feldern häufig verwendet. Sein Kernvorteil liegt in der physikalischen und chemischen Stabilität des Materials selbst.

Ⅰ. Ausgezeichnete physikalische Eigenschaften von Vetekememicon High-Purity-Quarzboot

Ⅱ. Hauptnutzungen und entsprechende Produktvorteile des hochreinigen Quarzboots

1. Semiconductor Manufacturing:

Spezifische Verwendungen: Trägerwerkzeuge in der Hochtemperaturdiffusions-, Oxidations-, Glüh- und CVD-Prozesse (chemische Dampfabscheidung).

Produktvorteile:

● Ultra-niedrige Verschmutzung: 99,99% reine Waferboote von Vetekememon vermeiden Metallionenkontamination und gewährleisten die elektrische Chip -Leistung.

● Präzise Größe: Die Flachheit des Quarzwaferboots beträgt ± 0,05 mm und sorgt für eine gleichmäßige Erwärmung des Wafers (z. B. ein 12-Zoll-Waferboot).

● Langes Leben: Nach den tatsächlichen Produktionsdaten, die wir aufgezeichnet haben, können die von uns hergestellten Quarzwaferboote mehr als 1000 Stunden bei 1200 ° C kontinuierlich verwendet werden, was die Ersatzfrequenz erheblich verringert (im Vergleich zu gewöhnlichen Quarzbooten wird die Lebensdauer um dreimal erhöht).

2. Photovoltaikindustrie

Spezifische Verwendungen: Im Bereich der Herstellung von Photovoltaikindustrie werden in der Phosphordiffusion von PERC-Zellen und im Bordiffusionsprozess von Topcon-Zellen hohe Quarzboote in der Photovoltaikindustrie in der Phosphordiffusion verwendet.

Leistungsvorteile:

● Hochlastes Design: Das einzelne Boot, das wir produzieren, kann 200 ~ 300 Siliziumwafer (Dicke 160 ~ 180 μm) tragen, was die Waferproduktionskapazität pro Zeiteinheit erheblich verbessert.

● Schneller Temperaturanstieg und Sturz: Ultra-niedriger thermischer Expansionskoeffizient (0,55 × 10 ° C (20 ~ 1000 ° C), nahe Null-Expansion) unterstützt eine Reduzierung des Prozesszyklus um 10% ~ 15%.

● Anti-Pid-Effekt: Keine Natriumionenausfällung während des Ladungsprozesses von Siliziumwafer verringert das Risiko eines photoinduzierten Abbaus.

Ⅲ. Quarzbootverpackungsspezifikationen

Vetekemicon Quartz Boote werden mehrschichtige dichte Verpackungen verwenden, um die Integrität des Produkts während der Lagerung und des Transports zu gewährleisten.

Gleichzeitig unterstützt Veteksemincon eine kundenspezifische erweiterte Prozessdesign wie nicht standardmäßige Größe (Fehler ± 0,1 mm), mehrschichtige Stapeldesign (bis zu 5 Schichten) und eine hochtemperaturresistente Filmbeschichtung (z. B. SIC-Beschichtung). Begrüßen Sie Ihre weitere Beratung.