Sic Cantilever Paddles

Ⅰ.Product -Nutzungsübersicht

SIC -Cantilever -Paddel werden hauptsächlich in der Halbleiterproduktionsanlagen als Waferunterstützungs- und Getriebekomponenten verwendet. Seine Kernfunktion besteht darin, Siliziumwafer unter extremen Prozessbedingungen wie hoher Temperatur und hoher Korrosion stabil und genau zu verarbeiten, um einen reibungslosen und effizienten Produktionsprozess zu gewährleisten.

Ⅱ.

SIC ist ein fortgeschrittenes Keramikmaterial, dessen hervorragende physikalische Eigenschaften ihm im Halbleiterbereich einen beispiellosen Vorteil bieten. Im Folgenden finden Sie die wichtigsten physikalischen Parameter im Zusammenhang mit SIC Cantilever Paddles:

● hohe Reinheit: Die Verwendung von SIC-Material mit hoher Purity kann die Prozessverunreinigung minimieren und die Produktausbeute verbessern.

● Hervorragender Hochtemperaturwiderstand: SIC hat einen Schmelzpunkt von bis zu 2830 ° C, der es ihm ermöglicht, die strukturelle Integrität in extremen Temperaturumgebungen wie Plasma-Ätzung und Hochtemperatur-Tempern aufrechtzuerhalten, und die langfristige Betriebstemperatur kann mehr als 1000 ° C erreichen.

● hohe Härte und Verschleißfestigkeit: Die MOHS-Härte beträgt 9-9,5, zweits nur für Diamant, wodurch Sic Cantilever Paddles ausgezeichnete Verschleißfestigkeit und die Aufrechterhaltung der dimensionalen Stabilität während des Hochfrequenz-Wafer-Getriebes verleiht.

● Ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit: Die thermische Leitfähigkeit der SIC-Keramik beträgt bis zu 120-250 W/(m · k) (typischer Wert), was die Wärme schnell ablassen und eine lokale Überhitzung vermeiden kann, die den Wafer beschädigen kann.

● Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient: Der niedrige thermische Expansionskoeffizient (ca. 4,0 × 10 ° /K) sorgt für die dimensionale Stabilität, wenn sich die Temperatur ändert, die durch die thermische Expansion und -kontraktion verursachte Belastung vermieden und somit das Risiko einer Waferschädigung verringert.

Ⅲ. Anwendungsszenarien von Sic Cantilever Paddles

Die einzigartigen Eigenschaften von Sic Cantilever Paddles ermöglichen es ihnen, eine Schlüsselrolle bei mehreren Links der Semiconductor -Herstellung zu spielen:

● Plasma -Ätzgeräte: In der Plasma -Ätzkammer dienen sic cantilever Paddel als Waferträger, die Plasma -Bombardierung und korrosive Gaserosion standhalten können und gleichzeitig die dimensionale Stabilität aufrechterhalten, um die Ätzgenauigkeit und die Lebensdauer der Ausrüstung zu gewährleisten.

● Dünnfilm -Abscheidungsausrüstung (CVD/PVD): Im Prozess der chemischen Dampfabscheidung (CVD) und der physikalischen Dampfabscheidung (PVD) werden sic cantileverpaddel verwendet, um Wafer zu unterstützen. Ihre hervorragende Hochtemperaturwiderstand und thermische Leitfähigkeit helfen dabei, die Wafer gleichmäßig zu erwärmen und eine Partikelverunreinigung zu verhindern, die während des Ablagerungsprozesses des Dünnfilms erzeugt wird.

● Waferübertragungssystem: Im automatisierten Wafertransfersystem können SIC-Cantilever-Paddel aufgrund ihrer hohen Härte und ihres Verschleißwiderstands einer hohen Frequenz mechanischer Bewegung standhalten, um eine genaue und schnelle Übertragung von Wafern zwischen verschiedenen Prozesskammern zu gewährleisten, wodurch das Risiko einer Waferschädigung und -verschmutzung verringert wird.

● Hochtemperatur -Glühprozess: Im Hochtemperatur-Tempernofen können sic cantilever Paddel ultrahoch-hohe Temperaturumgebungen standhalten, Wafern eine stabile Unterstützung bieten und die Gleichmäßigkeit und Wirksamkeit des Glühprozesses sicherstellen.

Vetekemicon ist sich der strengen Anforderungen von Halbleiterprozessen für die Produktqualität bewusst. Daher unterstützen wir maßgeschneiderte Dienste und können maßgeschneiderte SIC -Cantilever -Paddeldesign und -produktion gemäß Ihren spezifischen Ausrüstungs- und Prozessanforderungen bereitstellen. Und wir werden auch die strenge Qualitätskontrolle kontrollieren, um sicherzustellen, dass jedes Produkt strenge Qualitätsinspektionen durchläuft, um sicherzustellen, dass es den höchsten Branchenstandards entspricht.

Noch wichtiger ist, dass das technische Team von Vetek Semiconductor Ihnen umfassende technische Beratungs- und Produktlösungen bietet. Durch die Auswahl unseres SIC -Cantilever -Paddels eine höhere Produktionseffizienz, eine längere Lebensdauer und eine bessere Produktausbeute. Ich freue mich auf Ihre weitere Beratung.