Monokristalline Silizium -Epitaxialschale mit sic -Beschichtung

Das monokristalline Silizium -Epitaxialschalen von Vetek Semiconductor ist speziell für monokristalline Silizium -epitaxiale Wachstum entwickelt und spielt eine wichtige Rolle bei der industriellen Anwendung monokristalliner Silizium -Epitaxien- und verwandter Halbleitertänen.SiC-Beschichtungverbessert nicht nur die Temperaturbeständigkeit und Korrosionsbeständigkeit der Wanne deutlich, sondern sorgt auch für Langzeitstabilität und hervorragende Leistung in extremen Umgebungen.

Vorteile der SIC -Beschichtung

● hohe thermische Leitfähigkeit: Die SIC-Beschichtung verbessert die thermische Managementfähigkeit des Tabletts erheblich und kann die von Hochleistungsgeräten erzeugte Wärme effektiv zerstreuen.

●  Korrosionsbeständigkeit: Die SIC-Beschichtung funktioniert in hohen Temperaturen und korrosiven Umgebungen gut, um die Lebensdauer und die Zuverlässigkeit der langfristigen Lebensdauer zu gewährleisten.

● Oberflächengleichmäßigkeit: Bietet eine ebene und glatte Oberfläche, vermeidet effektiv Herstellungsfehler durch Oberflächenunebenheiten und gewährleistet die Stabilität des epitaktischen Wachstums.

Untersuchungen zufolge kann eine SiC-Gradientenbeschichtung auf dem Graphitsubstrat hergestellt werden, wenn die Porengröße des Graphitsubstrats zwischen 100 und 500 nm liegt und die SiC-Beschichtung eine stärkere Antioxidationsfähigkeit aufweist. Die Oxidationsbeständigkeit der SiC-Beschichtung auf diesem Graphit (dreieckige Kurve) ist viel stärker als die anderer Graphitspezifikationen und eignet sich für das Wachstum von Einkristall-Siliziumepitaxie. Die SiC-Beschichtung der monokristallinen Silizium-Epitaxieschale von VeTek Semiconductor verwendet SGL-Graphit alsGraphitsubstrat, was in der Lage ist, eine solche Leistung zu erzielen.

Die SiC-Beschichtung der monokristallinen Silizium-Epitaxieschale von VeTek Semiconductor verwendet die besten Graphitmaterialien und die fortschrittlichste SiC-Beschichtungsverarbeitungstechnologie. Am wichtigsten ist jedoch, dass wir unser Bestes tun können, um die Anforderungen unserer Kunden an die Produktanpassung zu erfüllen.

Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD-SiC-Beschichtung

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