Fokusring aus Siliziumkarbid

Allgemeine Produktinformationen

Geschäftsbedingungen für Produkte

Anwendung: Bei Halbleiter-Trockenätzprozessen ist der Fokusring eine Schlüsselkomponente, die die Prozessgleichmäßigkeit gewährleistet. Es umschließt den Wafer eng und bestimmt durch die präzise Steuerung der Plasmaverteilung an den Waferkanten direkt die Gleichmäßigkeit und Konsistenz des Ätzprozesses. Damit ist es ein unverzichtbarer Bestandteil zur Gewährleistung der Chipausbeute.

Mögliche Leistungen: Analyse von Kundenanwendungsszenarien, passende Materialien, technische Problemlösung.

Unternehmensprofil: Veteksemicon verfügt über 2 Labore, ein Expertenteam mit 20 Jahren Materialerfahrung sowie F&E- und Produktions-, Test- und Verifizierungskapazitäten.

Technische Parameter

Kernvorteile des Veteksemicon-Fokusrings

1. Außergewöhnliche Materialwissenschaft, entwickelt für raue Umgebungen

Unser ausgewähltes hochreines Siliziumkarbidmaterial mit hoher Dichte hält dem intensiven Plasmabeschuss und der Korrosion durch fluorhaltige chemische Gase während des SiC-Ätzprozesses problemlos stand. Seine hervorragende Korrosionsbeständigkeit führt direkt zu einer längeren Lebensdauer und einer geringeren Häufigkeit des Austauschs von Komponenten. Dadurch werden nicht nur die Ausfallzeiten der Geräte reduziert, sondern auch das Risiko einer Partikelkontamination durch Komponentenverschleiß erheblich verringert, was Ihnen eine langfristige und stabile umfassende Kosteneffizienz bietet.

2. Präzises technisches Design gewährleistet einen konsistenten Prozess

Jeder Veteksemicon-Fokusring wird einer hochpräzisen CNC-Bearbeitung unterzogen, um sicherzustellen, dass wichtige Abmessungen wie Ebenheit, Innendurchmesser und Stufenhöhe eine Genauigkeit im Mikrometerbereich erreichen und so eine perfekte Übereinstimmung mit dem Originalgerätehersteller (OEM) gewährleistet ist. Unser Ingenieurteam optimiert das Profil mithilfe der Plasmasimulation weiter. Dieses Design leitet das elektrische Feld effektiv, reduziert abnormale Ätzungen an den Waferkanten und kontrolliert so die Ätzgleichmäßigkeit des gesamten Wafers auf ein extremes Niveau.

3. Zuverlässige Leistung verbessert die Produktionseffizienz

In anspruchsvollen Massenproduktionsumgebungen kommt der volle Wert unserer Produkte zum Tragen. Durch die Sicherstellung einer konzentrierten und stabilen Plasmaverteilung trägt der Veteksemicon-Fokusring direkt zu einer verbesserten Gleichmäßigkeit der Ätzrate und einer optimierten Prozesswiederholbarkeit von Charge zu Charge bei. Dies bedeutet, dass Ihre Produktionslinie kontinuierlich Produkte mit hoher Ausbeute liefern kann und gleichzeitig von längeren Wartungszyklen profitiert, was die Kosten für Verbrauchsmaterialien pro Wafer effektiv senkt und Ihnen einen erheblichen Wettbewerbsvorteil verschafft.

4. Bestätigung der Verifizierung der ökologischen Kette

Die Verifizierung der ökologischen Kette des Veteksemicon Focus Ring erstreckt sich von den Rohstoffen bis zur Produktion, hat die internationale Standardzertifizierung bestanden und verfügt über eine Reihe patentierter Technologien, um seine Zuverlässigkeit und Nachhaltigkeit in den Bereichen Halbleiter und neue Energien sicherzustellen.

Für detaillierte technische Spezifikationen, Whitepapers oder Mustertestvereinbarungen wenden Sie sich bitte an unser technisches Support-Team, um herauszufinden, wie Veteksemicon Ihre Prozesseffizienz verbessern kann.

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