Massiver SiC-Fokusring

6. Hauptanwendungsgebiete

7. Veteksemis solide SiC-Fokusring-Kernvorteile

Hervorragende Plasmakorrosionsbeständigkeit

Bei längerer Einwirkung hochkorrosiver Plasmen hoher Dichte wie CF4, O2 und Cl2 unterliegen herkömmliche Materialien einem schnellen Verschleiß und einer Partikelkontamination. Unser Fokusring aus massivem SiC weist eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit auf, wobei die Korrosionsrate weitaus geringer ist als die von Materialien wie Quarz oder Aluminiumoxid. Dies bedeutet, dass die Oberfläche im Laufe der Zeit glatt bleibt, wodurch das Risiko von Waferdefekten durch Komponentenverschleiß erheblich reduziert wird und eine kontinuierliche und stabile Massenproduktion gewährleistet wird.

Hervorragende Hochtemperaturstabilität und Wärmemanagementleistung

Der Halbleiter-Ätzprozess erzeugt erhebliche Wärme, was dazu führt, dass die Kammerkomponenten starken Temperaturschwankungen ausgesetzt sind. Unsere Fokusringe haben einen extrem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten und können Übergangstemperaturen von bis zu 1600 °C ohne Rissbildung oder Verformung standhalten. Darüber hinaus trägt ihre inhärente hohe Wärmeleitfähigkeit dazu bei, die Wärme gleichmäßig und schnell zu verteilen und so die Temperaturverteilung am Waferrand effektiv zu verbessernng Ätzgleichmäßigkeit und Konsistenz der kritischen Abmessungen über den gesamten Wafer.

Außergewöhnliche Materialreinheit und Strukturdichte

Wir kontrollieren streng die Reinheit der Siliziumkarbid-Rohstoffe (≥99,999 %) und eliminieren Metallverunreinigungen während des Sinterprozesses, um die strengen Anforderungen fortschrittlicher Herstellungsverfahren zur Kontrolle von Spurenverunreinigungen zu erfüllen. Die durch Hochtemperatursinterung gebildete dichte Struktur weist eine äußerst geringe Porosität auf und blockiert das Eindringen von Prozessgasen und Nebenprodukten nahezu vollständig. Dies verhindert Leistungseinbußen und Partikelwachstum, die durch interne Materialverschlechterung verursacht werden, und sorgt für eine reine Prozesskammerumgebung.

Lange mechanische Lebensdauer und umfassende Wirtschaftlichkeit

Im Vergleich zu herkömmlichen Verbrauchsmaterialien, die häufig ausgetauscht werden müssen, bieten Veteksemi-Fokusringe aus massivem SiC eine außergewöhnliche Haltbarkeit. Sie behalten während ihrer gesamten Lebensdauer eine stabile Leistung bei und verlängern die Austauschzyklen um ein Vielfaches. Dies reduziert nicht nur direkt die Beschaffungskosten für Ersatzteile, sondern verbessert auch die Maschinenauslastung erheblich, indem die Ausfallzeiten der Geräte für die Wartung reduziert werden, was zu erheblichen Gesamtkostenvorteilen für die Kunden führt.

Präzise Größenkontrolle und flexible Anpassungsdienste

Wir verstehen die genauen Anforderungen verschiedener Maschinen und Prozesse an Verbrauchsmaterialien. Jeder Fokusring wird einer Präzisionsbearbeitung und strengen Tests unterzogen, um kritische Maßtoleranzen von ±0,05 mm sicherzustellen. Wir bieten auch maßgeschneiderte Dienstleistungen an, einschließlich kundenspezifischer Größen, Oberflächenveredelungen (Polieren auf Ra ≤ 0,2 μm) und Leitfähigkeitsanpassungen, um perfekt zu Ihren spezifischen Prozessanforderungen und Anwendungsszenarien zu passen.

Für detaillierte technische Spezifikationen, Whitepapers oder Mustertestvereinbarungen wenden Sie sich bitte an unser technisches Support-Team, um herauszufinden, wie Veteksemi Ihre Prozesseffizienz verbessern kann.