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TAC -Beschichtungsplatte
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TAC -Beschichtungsplatte

Vetek Semiconductor's TAC -Beschichtungsplatte wurde mit Präzision entwickelt und perfekt entwickelt und ist speziell auf verschiedene Anwendungen in Siliciumcarbid (SIC) zugeschnitten. Die zuverlässige Leistung und eine qualitativ hochwertige Beschichtung tragen zu konsistenten und einheitlichen Ergebnissen bei SIC-Kristallwachstumsanwendungen bei. Wir sind bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen bereitzustellen, und freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.

Als führender Hersteller und Lieferant von TAC -Beschichtungsplatten arbeitet Vetek Semiconductor TAC -Beschichtungsplatte als wichtiger Bestandteil vonSemiconductor Epitaxy ReactorDies hilft, hervorragende Ertrags- und Wachstumseffizienz von Epitaxialen und die Produktqualität zu verbessern. Sie können sicher sein, dass Sie eine TAC -Beschichtungsplatte aus unserer Fabrik kaufen.


Für die Herstellung neuer Halbleiter mit härteren und härteren Vorbereitungsumgebungen, wie der Herstellung der dritten Hauptgruppen-Nitrid-Epitaxialblech (GaN) durch metallorganische chemische Dampfablagerung (MOCVD), und die Herstellung von SIC-Epitaxialwachstumsfilmen durch chemische Vapor-Ablagerung (CVD) werden durch Hasings (CVD) durch Hasen erodiert, die durch Hases erodiert sind (CVD), erodiert durch Eroded, durch Hasen, die durch Hases erodiert sind (CVD2und NH3in Hochtemperaturumgebungen. Die SIC- und BN -Schutzschichten auf der Oberfläche bestehender Wachstumsträger oder Gaskanäle können aufgrund ihrer Beteiligung an chemischen Reaktionen scheitern, was die Qualität von Produkten wie Kristallen und Halbleitern nachteilig beeinflusst. 


Daher ist es notwendig, ein Material mit besserer chemischer Stabilität und Korrosionsbeständigkeit als Schutzschicht zu finden, um die Qualität von Kristallen, Halbleitern und anderen Produkten zu verbessern. Tantalcarbid hat eine hervorragende physikalische und chemische Eigenschaften, da starke chemische Bindungen die chemische Stabilität und die Korrosionsbeständigkeit mit hoher Temperatur viel höher sind als SIC, BN usw., eine große Anwendungsaussicht auf Korrosionsbeständigkeit und thermische Stabilität ausstehende Beschichtung.


Vetek Semiconductor verfügt über fortschrittliche Produktionsanlagen und ein perfektes Qualitätsmanagementsystem, strenge Prozesskontrolle, um die sicherzustellen,TAC -BeschichtungBei der Konsistenz der Leistungsstapel verfügt das Unternehmen über eine groß angelegte Produktionskapazität, um den Bedürfnissen der Kunden in großen Versorgungsmengen zu erfüllen, und die perfekte Qualitätsüberwachungsmechanismus, um die Qualität jedes Produkts stabil und zuverlässig zu gewährleisten.


Tantal-Carbidbeschichtung eines mikroskopischen Querschnitts:

Tantalum carbide coating on a microscopic cross-section


Grundproduktparameter der TAC -Beschichtungsplatte:

Physikalische Eigenschaften der TAC -Beschichtung
Beschichtungsdichte 14,3 (g/cm³)
Spezifischer Emissionsvermögen 0.3
Wärmeleitkoeffizient 6.3*10-6/K
TAC -Beschichtungshärte (HK) 2000 HK
Widerstand 1 × 10-5 Ohm*cm
Wärmestabilität <2500 ℃
Graphitgröße ändert sich -10 ~ -20um
Beschichtungsdicke ≥ 20 um einen typischen Wert (35 € ± 10um)


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