TAC -Beschichtung Rotationsplatte

Die TAC -Beschichtungsrotationsplatte von Vetek Semiconductor hat eine hohe Reinheitszusammensetzung, einen Verunreinigungsgehalt von weniger als 5 ppm und eine dichte und einheitliche Struktur, die in LPE -EPI -Systemen, Aixtron -Systemen, Nufflare -Systemen, Tel -CVD -Systemen, Veeco -Systemen, TSI -Systemen häufig verwendet wird.

● Ausgezeichnete mechanische Eigenschaften:

Beschichtung Härte bis 2300 HV, mit ausgezeichnetem Verschleißfestigkeit.

Die Haftung zwischen der Beschichtung und dem Substrat ist stark und es ist nicht einfach, abzufallen oder abzuziehen.

Die Beschichtung kann immer noch eine gute strukturelle Stabilität bei hoher Temperatur aufrechterhalten.

●  Hervorragende Korrosionsbeständigkeit:

TAC -Material selbst hat eine ausgezeichnete chemische Stabilität und Korrosionsbeständigkeit.

Die Beschichtungen von Vetek Semiconductor arbeiten in einer Vielzahl aggressiver Gasumgebungen gut.

Kann die internen Komponenten der Geräte effektiv vor Korrosionsschäden schützen.

● hohe Oberflächenbeschaffung:

Vetek Semiconductor verwendet einen präzisen Beschichtungsprozess, um das gewünschte Finish zu erzeugen.

Eine geringe Oberflächenrauheit reduziert die Ansammlung und Ablagerung der Partikel.

● Die Konsistenz von Beschichtungen ist gut:

Vetek Semiconductor verfügt über ein Schallqualitätskontrollsystem, um eine konsistente Leistung zwischen Chargen zu gewährleisten.

Die Beschichtungsdicke ist gleichmäßig verteilt und es gibt keine offensichtlichen lokalen Defekte.

● Hervorragende praktische Anwendungsleistung:

Die TAC-Beschichtung von Vetek Semiconductor wird bei vielen bekannten epitaxialen Geräten im In- und Ausland häufig eingesetzt.

Produkt physikalischer Parameter der TAC -beschichteten Rotationsplatte:

Tantal-Carbidbeschichtung auf einem mikroskopischen Querschnitt