Erweiterte poröse Graphit

Erweiterte poröse Graphit ist, wie der Name schon sagt, eine Art von Graphit, die miteinander verbundene Hohlräume oder Poren in seiner Struktur enthält. Die Größe dieser Poren kann stark variieren, was die Leistungsmerkmale des Materials beeinflusst.

Eigenschaften von fortgeschrittenem porösen Graphit

● Große Oberfläche und starke Adsorptionskapazität: 

Einer der herausragendsten Vorteile von poröser Graphit ist die viel größere Oberfläche im Vergleich zu nicht-porösen Graphit, was sie sehr adsorbent macht.

●  Ausgezeichnete thermische und elektrische Leitfähigkeit: 

Poröse Graphit hat eine ausgezeichnete thermische und elektrische Leitfähigkeit. Diese Eigenschaft ist besonders wichtig in Anwendungen, die Wärmeableitungen oder elektrische Leitfähigkeit erfordern.

●  Ausgezeichnete mechanische Stärke: 

Die mechanische Stärke von porösen Graphit hängt mit seiner Porenstruktur und seinem Herstellungsprozess zusammen. Die mechanische Stärke von poröser Graphit ist nicht so gut wie nicht-poröse Graphit, aber seine mechanischen Eigenschaften sind immer noch ausgezeichnet.

●  Chemische Trägheit: 

Porous Graphit ist als Graphitprodukt chemisch inert und kann in korrosiven Umgebungen funktionieren. Chemische Inertheit hilft, poröser Graphit in chemischen Prozessen zu verwenden, die Resistenz gegen Säuren, Basen und Lösungsmittel erfordern.

●  Herstellbarkeit und hohe Anpassbarkeit: 

Die Porenstruktur von porösen Graphit kann in vielerlei Hinsicht angepasst werden. Techniken wie chemische Dampfablagerung können verwendet werden, um die vom Kunden gewünschte Porengröße und -verteilung zu erreichen.

Anwendungen von fortschrittlichen porösen Graphiten

●  SiC -Kristallwachstum：

Studien haben gezeigt, dass im Kristallwachstum von SIC die Anwendung von poröser Graphit dazu beiträgt, die Anzahl der Mikrotubuli und andere Defekte zu verringern und den Gehalt an Verunreinigungselementen im Kristall zu verringern, sodass poröser Graphit bei der Herstellung von SIC -Kristallen eine große Hilfe bringen kann.

●  Waferherstellung: 

Aufgrund seiner hervorragenden thermischen Leitfähigkeit und Korrosionsbeständigkeit kann poröse Graphit verwendet werden, um Waferträger wie Graphitboote und Graphit -Chucks herzustellen. Der poröse Graphit kann stabil in Hochtemperaturumgebungen arbeiten, was dem Wafer hilft, eine gleichmäßige Temperaturverteilung aufrechtzuerhalten und so die Verarbeitungsgenauigkeit zu gewährleisten.

●  Chemische Dampfabscheidung (CVD) : 

Poröse Graphit ist gegen hohe Temperatur und chemisch inerte, so dass es häufig als Reaktor-Liner und Elektrodenmaterial als Teil des CVD-Verfahrens verwendet wird, um eine hochwertige Filmablagerung zu fördern.

●  Wärmeabteilung von Halbleitergeräten: 

Die ausgezeichnete thermische Leitfähigkeit von poröser Graphit macht es zu einer idealen Wahl für Wärmeablösungslösungen in Halbleitergeräten. Es kann zu Kühlkörper- oder Wärmeleitmaterialien verarbeitet werden, um eine schnelle Wärmeableitung und die Arbeitseffizienz und die Lebensdauer des Geräts zu verbessern.

●  Radier- und Ätzprozesse: 

Im trockenen Ätzprozess der Halbleiterherstellung kann poröser Graphit als Elektrodenmaterial oder Kathodenmaterial verwendet werden, und seine Korrosionsbeständigkeit und seine elektrische Leitfähigkeit hilft ihm, der Erosion des korrosiven Plasma zu standzuhalten, wodurch die Stabilität und Präzision des Ätzprozesses sichergestellt wird.

●  Hochreinheitsanwendungen: 

Poröse Graphit wird verfeinert, um die strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie für materielle Reinheit zu erfüllen und die Auswirkungen von Verunreinigungen zu verringern