CVD-Siliziumkarbid (SiC) beschichteter Graphit-RTP-RTA-Träger

Produktmerkmale

· Kernausrüstung:Entwickelt für Rapid Thermal Annealing (RTA)- und Rapid Thermal Processing (RTP)-Systeme.

· Primary AAnwendung: Optimiert für Halbleiter-Wafer-Glühprozesse.

· OpeBewertung TeTemperatur:Stabiler Betrieb von 200 °C bis 700 °C.

· Excellent Thermal Einheitlichkeit: Gewährleistet eine gleichmäßige Wärmeverteilung für eine gleichmäßige Waferverarbeitung.

· Geringe PartikelGEnergie: Die dichte CVD-SiC-Beschichtung minimiert die Kontamination und verbessert die Produktionsausbeute.

· Überlegene chemische Beständigkeit:Beständig gegen Oxidation und korrosive Prozessgase bei der thermischen Verarbeitung.

· Hervorragendg Thermal Schockfestigkeit: Bewahrt die strukturelle Integrität durch wiederholte schnelle Aufheiz- und Abkühlzyklen.

· Lange Lebensdauer:Die verschleißfeste SiC-Beschichtung verlängert die Lebensdauer der Komponenten erheblich und reduziert die Wartungskosten.

· BrauchHerstellung:Erhältlich in verschiedenen Größen und Konfigurationen, passend zu verschiedenen RTP/RTA-Geräten.

Technische Spezifikationen

Anwendungen

·Schnelles thermisches Ausheilen (RTA)

· Schnelle thermische Verarbeitung (RTP)

· Ausheilen von Siliziumwafern

· Dotierstoffaktivierung

· Oxidation

· Diffusion

·Herstellung von Verbindungshalbleitern

·MEMS-Fertigung

·Leistungshalbleiterverarbeitung

FAQ

1. Was ist ein RTP/RTA-Carrier?

Ein RTP/RTA-Träger ist eine Wafer-Trägerkomponente, die in Systemen zur schnellen thermischen Verarbeitung und schnellen thermischen Ausheilung verwendet wird. Es hält Halbleiterwafer sicher und sorgt gleichzeitig für eine gleichmäßige Wärmeübertragung während des gesamten Wärmezyklus.

2. Warum wird die CVD-SiC-Beschichtung bevorzugt?

Im Vergleich zu reinem Graphit bietet die CVD-SiC-Beschichtung eine überlegene Oxidationsbeständigkeit, eine geringere Partikelbildung, eine bessere chemische Stabilität und eine deutlich längere Lebensdauer.

3. Kann VETEK maßgeschneiderte RTP/RTA-Träger anbieten?

Ja. VETEK bietet maßgeschneiderte RTP/RTA-Träger basierend auf Kundenzeichnungen an.