EPI -Unterstützer

Vetek Semiconductor ist ein professioneller Leiter China EPI, der ALD Planetary Tugor und TAC Coated Graphit Support Hersteller. Und Unsere EPI -Unterstützung ist ein wichtiger Bestandteil vonEpitaxialwachstumIm Halbleiterherstellungsprozess. Seine Hauptfunktion besteht darin, den Wafer so zu unterstützen und zu heizen, damit eine hochwertige Epitaxialdicht gleichmäßig auf der Waferoberfläche gezüchtet werden kann.

Die EPI-Anfällern von Vetek-Halbleitern bestehen normalerweise aus hochreines Graphit und mit einer Schicht Siliziumcarbid (sic).Dieses Design hat die folgenden wichtigen Vorteile:

● Hochtemperaturstabilität: Der EPI -Anfänger kann in einer Hochtemperaturumgebung stabil bleiben und das einheitliche Wachstum der epitaxialen Schicht sicherstellen.

● Korrosionsbeständigkeit: Die SIC -Beschichtung hat eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit und kann der Erosion chemischer Gase widerstehen und die Lebensdauer des Tabletts verlängern.

● Wärmeleitfähigkeit: Die hohe thermische Leitfähigkeit von SIC -Material sorgt für eine gleichmäßige Temperaturverteilung des Wafers während des Erhitzens, wodurch die Qualität der epitaxialen Schicht verbessert wird.

● Matching des thermischen Expansionskoeffizienten: Der thermische Expansionskoeffizient von SIC ähnelt dem von Graphit und vermeidet das Problem der Beschichtungsabschüttung aufgrund thermischer Expansion und Kontraktion.

Grundlegende physikalische Eigenschaften vonCVD -SIC -Beschichtung:

CVD SIC Coating Production Shop:

Überblick über die Halbleiter -Chip -Epitaxie -Industriekette: