Quarz -Tiegel mit hoher Reinheit

Der von der Vetekememon-Plattform bereitgestellte Hochreinheit-Quarz-Tiegel besteht aus ultrahoher reiner synthetischer Quarz. Der SIO2 -Gehalt in den ausgewählten Quartz -Rohstoffen kann normalerweise 99,998% oder sogar höher erreichen (4N8). Durch fortschrittliche Schmelz- und Formprozesse wird der Verunreinigungsgehalt minimiert, insbesondere die Metallionen (wie Na, K, Li, Fe, Al, Ca usw.) und Hydroxylgehalt, die für Halbleiterprozesse schädlich sind.

Dieser Quarz -Tiegel ist für den Betrieb in Hochtemperaturumgebungen ausgelegt, um eine geringe Kontamination, hohe Festigkeit und gute Kompatibilität mit Kristallwachstum und Waferverarbeitung zu gewährleisten.

Ⅰ. Hauptanwendungen bei Halbleiterherstellungsprozessen

Quarzkreuzer mit hoher Purity spielen eine wichtige Rolle in vielen wichtigen Halbleiterherstellungsprozessen mit ihren einzigartigen physikalischen Eigenschaften:

1. Einkristall -Siliziumwachstum (Czochralski -Prozess - CZ)

Verwenden: Im Prozess des Einzelkristall-Siliziumwachstums durch die Czochralski-Methode sind hohe Quarzkreuzer die Hauptbehälter für geschmolzenes Silizium. Die Qualität und Reinheit von Siliziumstäben wird direkt durch das Tiegelmaterial beeinflusst.

Ausgezeichnete physikalische Eigenschaften:

● Ultrahohe Reinheit: Es besteht aus hochreines Quarzmaterial und sorgt für extrem geringe Verunreinigungsniederschlag und vermeidet eine Kontamination von Einkristall-Silizium, was für die Herstellung hoch integrierter und leistungsstarker Halbleitergeräte von entscheidender Bedeutung ist. Verunreinigungen wie Alkali -Metalle und Schwermetalle können zu Trägerfallen oder Streuzentren werden, was die elektrischen Eigenschaften des Geräts ernsthaft beeinflusst.

● Hervorragender Hochtemperaturwiderstand: Quarzmaterial hat einen hohen Schmelzpunkt (ca. 1700 ° C), kann der extrem hohen Temperatur von geschmolzenem Silizium (ca. 1420 ° C) standhalten und längere Zeit ohne Deformation oder Erweichen stabil still.

● Gute thermische Stabilität: Bei hohen Temperaturen ist der thermische Expansionskoeffizient extrem niedrig, was der thermischen Spannung effektiv widerstehen kann und das Riss während des Erhitzens und Kühlens vermeiden kann, wodurch die Stabilität und Sicherheit des Prozesses sichergestellt wird.

● Chemischer Trägheit: Es hat eine gute chemische Inertheit gegen geschmolzenes Silizium, ist nicht einfach mit Silizium zu reagieren, reduziert die Einführung von Verunreinigungen und Karbonisierung von Silizium und sorgt für die Reinheit von Siliziumkristallen.

2. polykristallines Siliziumgussguss

Anwendung: Im polykristallinen Siliziumgussgussprozess werden hochpurige Quarzkreuzer als Behälter für geschmolzene polykristalline Silizium-Guss-Photovoltaik- oder elektronische polykristalline Silizium-Ingots verwendet.

Ausgezeichnete physikalische Eigenschaften:

● Wärmeschockwiderstand: Es kann die strukturelle Integrität auch bei schnellen Erheizungs- und Kühlzyklen aufrechterhalten, um zu vermeiden, dass ein Riss durch plötzliche Temperaturänderungen verursacht wird.

● Dimensionsstabilität: Genauige dimensionale Kontrolle und Formstabilität sind für das Gießen von polykristallinen Siliziumimboten, die den Spezifikationsanforderungen erfüllen, essentiell.

3. Andere Hochtemperaturanwendungen

Verwendung: Bei der Herstellung von Halbleiterfrequenzen verwenden viele Hochtemperaturofenrohrprozesse wie Diffusion, Oxidation, Tempern usw. häufig Quarzbehälter als Auskleidung oder Träger, um die Prozessumgebung sauber und stabil zu halten.

Ⅱ. Vorteile von Vetekemicons hochreinigem Quarz Crucible

Vetekemicon ist bestrebt, hochwertige Hochleistungsprodukte für die Halbleiterindustrie bereitzustellen. Unsere Quarzkreuzer mit hoher Purity haben die folgenden Vorteile:

● Ultrahohe Reinheit Garantie: Strenge Kontrolle der Rohstoffe und Produktionsprozesse, um sicherzustellen, dass das Produkt die ultrahohe Reinheit der Halbleiterqualität erreicht und das Risiko einer Prozesskontamination minimiert.

● Hervorragende Haltbarkeit: Ausgezeichnete thermische Stabilität und mechanische Stärke, Verlängerung der Produktlebensdauer und die Reduzierung der Produktionskosten.

● Customized Service: Customized Crucible -Lösungen verschiedener Größen, Formen und Spezifikationen können gemäß Ihren spezifischen Prozessanforderungen bereitgestellt werden.

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