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Festes Siliziumkarbid

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CVD sic beschichtete Graphit -Duschkopf

CVD sic beschichtete Graphit -Duschkopf

Der CVD SIC Coated Graphit-Duschkopf von Vetekememon ist eine Hochleistungskomponente, die speziell für die Prozesse zur Ablagerung des Halbleiterchemikas Dampf (CVD) ausgelegt ist. Dieser Duschkopf wird aus hochreinigem Graphit hergestellt und mit einer Siliziumcarbidbeschichtung (SIC) für chemische Dampfablagerung (CVD) geschützt und bietet herausragende Haltbarkeit, thermische Stabilität und Widerstand gegen korrosive Prozessgase. Ich freue mich auf Ihre weitere Beratung.
Sic Randring

Sic Randring

Vetekemicon High-Purity-SIC-Kantenringe, speziell für Halbleiter-Ätzgeräte ausgelegt, verfügen
CVD SIC -Rohstoff mit hoher Reinheit

CVD SIC -Rohstoff mit hoher Reinheit

Hochreines CVD -SIC -Rohstoff, das durch CVD hergestellt wurde, ist das beste Quellmaterial für Siliziumkarbidkristallwachstum durch physikalischen Dampftransport. Die Dichte des von Vetek-Halbleiter-Rohstoff-Rohstoff-Rohstoff-Rohstoff-Rohstoffs ist höher als die von kleinen Partikeln, die durch spontane Verbrennung von Si- und C-haltigen Gasen gebildet werden, und es erfordert keinen dedizierten Sinterofen und hat eine nahezu ständige Verdampfungsrate. Es kann extrem hochwertige SIC -Einzelkristalle wachsen. Ich freue mich auf Ihre Anfrage.
Solide sic Waferträger

Solide sic Waferträger

Der feste SIC -Waferträger von Vetek Semiconductor ist für hohe Temperatur- und korrosionsbeständige Umgebungen in Halbleiter -Epitaxialverfahren ausgelegt und für alle Arten von Waferherstellungsprozessen mit hohen Reinheitsanforderungen geeignet. Vetek Semiconductor ist ein führender Lieferant von Wafer Carrier in China und freut sich darauf, Ihr langfristiger Partner in der Halbleiterindustrie zu werden.
Solide sic-Scheiben-Duschkopf

Solide sic-Scheiben-Duschkopf

Vetek Semiconductor ist ein führender Halbleiterausrüstunghersteller in China und ein professioneller Hersteller und Lieferant von soliden Scheibenscheibenkopf. Unser Scheibenform -Duschkopf wird in der Produktion von Dünnfilmen wie CVD -Verfahren häufig verwendet, um eine gleichmäßige Verteilung des Reaktionsgass zu gewährleisten, und ist eine der Kernkomponenten des CVD -Ofens.
Sic dichtungsteil

Sic dichtungsteil

Als fortgeschrittener SIC -Versiegelungsteil Produkthersteller und Fabrik in China. Vetek Semiconducto SIC-Versiegelungsteil ist eine Hochleistungsversiegelungskomponente, die in der Halbleiterverarbeitung und anderen extrem hohen Temperatur- und Hochdruckprozessen weit verbreitet ist. Begrüßen Sie Ihre weitere Beratung.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


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