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Das Kernmaterial vonPecvd Graphitboot(Plasma verstärktes chemisches Dampfabscheidungs-Graphitboot) besteht aus hoher PurityIsotropes Graphitmaterial(Die Reinheit beträgt normalerweise ≥ 99,999%) und wird durch spezielle Prozesse (z. High-Purity-Graphit wird aufgrund seiner hervorragenden elektrischen Leitfähigkeit und hohen thermischen Leitfähigkeit (80 ~ 150 W/m · k) in PecVD-Systemen häufig verwendet. DasHigh-Purity-GraphitmaterialKann eine gute strukturelle Stabilität und chemische Stabilität in Hochtemperaturumgebungen aufrechterhalten und Korrosion gegen reaktive Gase und Plasma widerstehen.
Die physikalischen Eigenschaften von PECVD -Graphitbooten umfassen:
● Elektrische Leitfähigkeit: Isostatic Graphit hat eine ausgezeichnete elektrische Leitfähigkeit, mit der es die elektrische Energie effektiv verwalten und die Erzeugung und Aufrechterhaltung von Plasma während des PECVD -Prozesses fördert.
● Wärmeleitfähigkeit: Die hohe thermische Leitfähigkeit von Graphit (ca. 80 ~ 150 w/m · k) hilft dabei, eine stabile Temperaturumgebung während des PecVD -Prozesses aufrechtzuerhalten und eine gleichmäßige Ablagerung von dünnen Filmen zu gewährleisten.
● Dichte: Die Dichte der kommerziellen polykristallinen Graphit -Graphit liegt zwischen 1,30 g/cm³ und 1,88 g/cm³. Je höher die Dichte, desto besser die physikalischen und mechanischen Eigenschaften, die die Lebensdauer des Produkts verbessern können.
Im Vergleich zu gewöhnlichen Graphitbooten haben PECVD -Graphitboote die folgenden Vorteile:
Abmessungen
Pecvd Graphitboot
Gewöhnliches Graphitboot
Reinheit und Dichte
≥ 99,99%, Porosität <5%
Niedrige Reinheit (95 ~ 99%), hohe Porosität (> 10%)
Kosten
Hohe Anfangskosten, aber niedrige umfassende Wartungskosten
Niedrige Anfangskosten, aber häufiger Ersatz erhöhen die Gesamtkosten der Gesamtkosten
Umweltverschmutzungskontrolle
Verunreinigungsgehalt <1PPM, niedrige Partikelabschüttungsrate
Hohe Metallverunreinigungen, ein hohes Risiko für Partikelkontamination
Korrosionsbeständigkeit
Beschichtungsschutz gegen Plasma/Chemikalienkorrosion
Leicht durch reaktive Gase (wie Cl₂, O₂) korrodiert werden
Prozesskompatibilität
Angepasst an eine niedrige Temperatur und energiereiche Plasmaumgebung
Nur für CVD- oder Diffusionsprozesse mit hoher Temperature geeignet
Lebensdauer
> 1000 Prozesszyklen (Beschichtung nicht fehlgeschlagen)
Pulvering und Riss nach < 500 Zyklen
Wie wir alle wissen, ist Vetekememon ein führender Hersteller und Lieferant von Halbleiterbeschichtungsprodukten undGraphitproduktein China. UnserPecvd Graphitbootewerden hauptsächlich in der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie verwendet, insbesondere in PECVD- und CVD -Prozessen.
Graphitboote werden normalerweise als Träger verwendet, um Siliziumwaffeln oder andere Materialien zu tragen, um die sichere Handhabung und den Transport dieser Materialien in hohen Temperatur- und Plasmaumgebungen zu gewährleisten. Beispielsweise sind im Semiconductor -Herstellungsprozess die PECVD -Graphitboote von Vetekemicon für die Plasma -Verstärkung der chemischen Dampfabscheidungsprozesse ausgelegt. Das Graphitboot spielt die Rolle der Ablagerung von Passivierungsschichten von Siliziumnitrid (SINₓ) und niedrigen Dielektrizitätskonstanten (niedrig-K) -Filmen.
Im Photovoltaikfeld werden PECVD-Graphitboote zur Herstellung von Dünnfilm-Solarzellen auf Siliziumbasis (z. Das PECVD -Graphitboot von Vetekememon optimiert den Beschichtungsprozess, indem sie Siliziumwafer effektiv abstellen und eine Glühdleitung induzieren, um eine einheitliche Beschichtungsabscheidung zu erreichen.
Noch wichtiger ist, dass Vetekememon maßgeschneiderte Produkte und technische Dienstleistungen anbieten und Graphitbootprodukte unterschiedlicher Spezifikationen gemäß Ihren tatsächlichen Prozessanforderungen entwerfen und herstellen kann. Die Wahl von Vetekememon bedeutet, einen Branchenführer mit starker Stärke in der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie auszuwählen. Wir freuen uns aufrichtig darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden.
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