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TAC beschichtetes Chuck
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TAC beschichtetes Chuck

Mit seiner Hochtemperaturbeständigkeit, der chemischen Trägheit und der hervorragenden Leistung sind Vetek Semiconductor's TAC -beschichtete Chucks für Halbleiteröfen ausgelegt. Wir glauben, dass unsere Produkte Ihnen fortschrittliche Technologie- und Qualitätsproduktlösungen bringen können.

Vetek Semiconductor ist ein professioneller Leiter China TAC -beschichtetes, TAC -beschichteter Röhrchen, TAC -beschichteter Inhaber, Hersteller von TAC Coated Graphit Tray mit hoher Qualität und angemessener Preis. Willkommen, uns zu kontaktieren.

Vetek Semiconductors TAC-beschichtete Chucks sind ein wesentlicher Bestandteil von Hochleistungskomponenten bei der Herstellung von Halbleiter. Hängt von den folgenden Schlüsselmerkmalen ab:


Hohe Vakuumintegrität: TAC Coated Chuck hat während des gesamten Verarbeitungszyklus ein hohes Maß an Vakuumintegrität, wodurch die Outgas- und Kontamination effektiv verringert wird und die Reinheit und Qualität der Halbleitermaterialien gewährleistet.

Hohe Temperatur und chemischer Widerstand: TAC beschichtet sind extrem thermisch und chemisch resistent, in der Lage, bei Temperaturen bis zu 2200 ° C zu operieren und gegen korrosive Gase wie Wasserstoff, Ammoniak und Siliziumdampf zu widerstehen.

Verlängerte Lebensdauer der Ausrüstung: Aufgrund seiner überlegenen Resistenz gegen Verschleiß und thermischer Schock kann das TAC -beschichtete Chuck die Lebensdauer der Ausrüstung erheblich verlängern und den Wartungsbedarf verringern.

Verbesserte Produktionseffizienz: Durch die Verringerung der Kontamination und Verbesserung der materiellen Reinheit hilft mit TAC -beschichtetem Chuck bei der Verbesserung der Produktionseffizienz und der Produktqualität und zur Senkung der Produktionskosten.


Darüber hinaus weist TAC Coating Chuck eine hervorragende Vielseitigkeit auf und kann eine breite Palette von Substratgrößen und Geometrien der Halbleiter -Substrat aufnehmen. Das anpassbare Design ermöglicht es, TAC-beschichtete Chicks nahtlos in bestehende Halbleiterofensysteme integriert zu werden, wodurch die Ausfallzeit erheblich verringert und die Produktivität maximiert wird. Diese Flexibilität verbessert nicht nur die Kompatibilität für die Geräte, sondern gewährleistet auch die Kontinuität und Effizienz des Produktionsprozesses, wodurch die Hersteller von Halbleiter zuverlässigen und effizienten Lösungen bereitgestellt werden.

Die Leistung und Anpassungsfähigkeit von Vetek Semiconductor -TAC -Beschichtungsschucken machen sie zu einer wesentlichen und kritischen Komponente bei der Herstellung von Halbleiter.

Produktparameter des TAC -beschichteten Chucks:

Physikalische Eigenschaften der TAC -Beschichtung
TAC -Beschichtungsdichte
14,3 (g/cm³)
Spezifischer Emissionsvermögen
0.3
Wärmeleitkoeffizient 6.3*10-6/K
TAC -Beschichtungshärte (HK)
2000 HK
Widerstand
1 × 10-5Ohm*cm
Wärmestabilität
<2500 ℃
Graphitgröße ändert sich
-10 ~ -20um
Beschichtungsdicke
≥ 20 um einen typischen Wert (35 € ± 10um)


Produktionsläden:

VeTek Semiconductor Production Shop


Überblick über die Halbleiter -Chip -Epitaxie -Industriekette:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

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