In der CNC-Präzisionsbearbeitungswerkstatt von VETEK: Aufbau der Grundlage für hochreine Halbleiterkomponenten

Betreten Sie die CNC-Präzisionsbearbeitungswerkstatt von VeTek Semiconductor und Sie werden Zeuge der stillen Kraft der modernen Fertigung. Automatisierte Anlagen arbeiten im perfekten Rhythmus. Hochgeschwindigkeitsspindeln, gesteuert von präzisen CNC-Programmen, arbeiten harmonisch zusammen, während Schneidwerkzeuge Schicht für Schicht kalte Rohlinge in hochpräzise Bauteile verwandeln. Jede Toleranz wird streng kontrolliert. Jedes Detail wird genau unter die Lupe genommen. Mit der Kraft der numerischen Steuerung fertigen wir jedes qualifizierte Werkstück, das später den anspruchsvollsten Halbleiterprozessen dienen wird.

1. Präzision, die Halbleiter der nächsten Generation antreibt

Bei VeTek Semiconductor ist die CNC-Bearbeitung weit mehr als ein Produktionsschritt – sie ist die entscheidende Grundlage für unser Kernproduktportfolio. Von hochreinen Graphitsubstraten bis hin zu komplexen Geometrien unterstützen unsere Bearbeitungsmöglichkeiten direkt die Herstellung von:

•CVD-Siliziumkarbid (SiC) beschichtetGraphitsuszeptoren und Vorheizringe

•CVD-Tantalkarbid (TaC) beschichtetAblenkungsringe, Halbmondteile und Planetensuszeptoren

• Solides SiCKomponenten und Fokusringe

• Wärmefeldteile aus hochreinem Graphit für SiC-Epitaxie, MOCVD und Kristallwachstum

• Kundenspezifische Halbleiterprozesskomponenten, die mit den wichtigsten Plattformen kompatibel sind (Aixtron, Veeco, LPE, ASM, Applied Materials)

Diese Komponenten erfordern äußerst enge Maßtoleranzen und eine außergewöhnliche Oberflächenintegrität. Unsere CNC-Werkstatt stellt sicher, dass jeder Graphitrohling nach genauen Spezifikationen bearbeitet wird, bevor er hochreine CVD-SiC- oder TaC-Beschichtungen erhält – Beschichtungen, die konstant einen Verunreinigungsgrad von unter 5 ppm erreichen.

2. Unsere Wettbewerbsvorteile

Was VeTek Semiconductor auszeichnet, ist unsere vollständig integrierte Fertigungskette und unser umfassendes technisches Know-how:

Alles aus einer Hand: Präzisions-CNC-Bearbeitung → Hochtemperaturreinigung → CVD-SiC/TaC-Beschichtung → Reinigung → strenge Tests (GDMS, SIMS, SEM).

Erweiterte Ausstattung und Kapazität:Über 12 hochpräzise Produktionslinien und zwei Forschungs- und Entwicklungszentren, gegründet von einem ehemaligen Experten der Chinesischen Akademie der Wissenschaften.

Ultrahohe Reinheit und Zuverlässigkeit:Beschichtungen und Materialien, die für extreme Temperaturen, korrosive Umgebungen und keine Partikelkontamination in Epitaxie- und MOCVD-Prozessen entwickelt wurden.

Vollständige Anpassung:Wir bearbeiten und beschichten Komponenten nach Ihren genauen Zeichnungen und sorgen so für eine perfekte Passform für Ihre Reaktorplattformen.

Bewährtes Qualitätssystem: ISO 9001-zertifizierte Prozesse mit strenger Maß- und Reinheitskontrolle in jeder Phase.

3. Vom Rohling zur geschäftskritischen Komponente

Jeder leistungsstarke SiC-beschichtete Suszeptor oder TaC-beschichtete Ring beginnt hier – in unserer CNC-Präzisionsbearbeitungswerkstatt. Der Rohling aus kaltem Graphit wird unter der Anleitung fortschrittlicher numerischer Steuerung sorgfältig geformt und dann durch Reinigung und Beschichtung in eine Komponente umgewandelt, die Tausende von Prozesszyklen in den fortschrittlichsten Halbleiterfabriken der Welt übersteht.

Wir bei VeTek Semiconductor glauben, dass wahre Präzision lange vor der Beschichtungskammer beginnt. Es beginnt mit dem ersten Schnitt.

Entdecken Sie unser gesamtes SortimentCVD-SiC-Beschichtungen, CVD-TaC-Beschichtungen, festes SiC, und hochreine Graphitlösungen beiVETEK.

Kontaktieren Sie uns noch heute, um maßgeschneiderte Bearbeitungs- und Beschichtungslösungen für Ihre Epitaxie-, MOCVD- oder Kristallwachstumsanwendungen zu besprechen.