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Tantal -Carbid -Kichern
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Tantal -Carbid -Kichern

Vetek Semiconductor ist ein führender, mit Tantal Carbid beschichteter Chuck-Hersteller und Innovator in China. Wir sind seit vielen Jahren auf TAC-Beschichtung spezialisiert. Unsere Produkte haben einen hohen Reinheit und einen hohen Temperaturfest bis zu 2000 ℃. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

Vetek Semiconductor -Versorgung Hochwertiges Tantal -Carbid -Carbid -Chuck, sic -Beschichtungsteile mit wettbewerbsfähigem Preis. Dieses Zubehör verbessert die Effizienz und Qualität bei der Herstellung von Halbleitern und bietet eine ausstehende Leistung und Zuverlässigkeit.

Das Chuck wird aus hochwertigen Materialien hergestellt und mit Präzision hergestellt und verfügt über ein Graphit-Substrat, das mit CVD Tantalal Carbid (TAC) beschichtet ist. Diese Beschichtung bietet eine hervorragende thermische Stabilität, hohe Reinheit und Resistenz gegen hohe Temperaturen. Es gewährleistet eine zuverlässige Leistung in den anspruchsvollen Bedingungen von MocvD -Prozessen.

Das Chuck ist anpassbar, um verschiedene Halbleiter -Wafergrößen zu erfüllen, was es für verschiedene Produktionsanforderungen geeignet ist. Die robuste Konstruktion minimiert Ausfallzeit- und Wartungskosten, die mit Waferbetreiber und Anfällern verbunden sind.

Mit dem VETEK -Semiconductor Tantal -Carbid -Carbid -Chuck erreicht das Aixtron G10 -MOCVD -System eine höhere Effizienz und überlegene Ergebnisse bei der Herstellung von Halbleiter. Die außergewöhnliche thermische Stabilität, die Kompatibilität mit unterschiedlichen Wafergrößen und die zuverlässige Leistung machen es zu einem wesentlichen Instrument zur Optimierung der Produktionseffizienz und zum Erreichen herausragender Ergebnisse in der herausfordernden MOCVD -Umgebung.


Produktparameter des mit Tantal Carbid beschichteten Chucks

Physikalische Eigenschaften der TAC -Beschichtung
Dichte 14,3 (g/cm³)
Spezifischer Emissionsvermögen 0.3
Wärmeleitkoeffizient 6.3 10-6/K
Härte (HK) 2000 HK
Widerstand 1 × 10-5Ohm*cm
Wärmestabilität <2500 ℃
Graphitgröße ändert sich -10 ~ -20um
Beschichtungsdicke ≥ 20 um einen typischen Wert (35 € ± 10um)


Waferleistung nach Verwendung unserer Komponenten:

Wafer performance after using our components


Vergleichen Sie den Semiconductor Production Shop:

VeTek Semiconductor Production Shop


Überblick über die Semiconductor Chip Epitaxy Industry -Kette:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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