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Oxidation und Diffusionsofen

Oxidations- und Diffusionsöfen werden in verschiedenen Bereichen wie Halbleitergeräten, diskreten Geräten, optoelektronischen Geräten, elektronischen Geräten mit Stromversorgung, Solarzellen und großem Maßstab integrierter Schaltkreis hergestellt. Sie werden für Prozesse verwendet, einschließlich Diffusion, Oxidation, Tempern, Legierung und Sintern von Wafern.


Vetek Semiconductor ist ein führender Hersteller, der sich auf die Herstellung von hochreinheitlichen Graphit-, Siliziumcarbid- und Quarzkomponenten in Oxidations- und Diffusionsöfen spezialisiert hat. Wir sind bestrebt, qualitativ hochwertige Ofenkomponenten für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie bereitzustellen, und stehen an der Spitze der Oberflächenbeschichtungstechnologie wie CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrokohlenstoff usw.


Die Vorteile von Vetek -Halbleiter -Silizium -Carbid -Komponenten:

● Hochtemperaturwiderstand (bis zu 1600 ℃)

● Ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit und thermische Stabilität

● Gute chemische Korrosionsbeständigkeit

● Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient

● hohe Stärke und Härte

● Langes Lebensdauer


Bei Oxidations- und Diffusionsöfen benötigen viele Komponenten aufgrund des Vorhandenseins von hohen Temperaturen und korrosiven Gasen die Verwendung von Hochtemperatur- und korrosionsbeständigen Materialien, von denen Siliziumkarbid (SIC) häufig verwendet wird. Im Folgenden finden Sie häufige Siliziumcarbidkomponenten in Oxidationsöfen und Diffusionsöfen:



● Waferboot

Das Silizium -Carbid -Waferboot ist ein Behälter, mit dem Siliziumwafer getragen werden können und die hohen Temperaturen standhalten und nicht mit Siliziumwafern reagieren können.


● Ofenrohr

Das Ofenrohr ist die Kernkomponente des Diffusionsofens, mit dem Siliziumwaffeln untergebracht und die Reaktionsumgebung gesteuert werden. Siliziumkarbidofenofenröhrchen haben eine ausgezeichnete Leistung mit hoher Temperatur und Korrosionsbeständigkeit.


● Schallplatte

Wird verwendet, um den Luftstrom und die Temperaturverteilung im Ofen zu regulieren


● Thermoelement -Schutzrohr

Wird zum Schutz der Temperaturmessung von Thermoelementen vor direktem Kontakt mit korrosiven Gasen.


● Cantilever Paddel

Silizium -Carbid -Ausleger -Paddel sind gegen hohe Temperatur und Korrosion resistent und werden zum Transport von Siliziumbooten oder Quarzbooten verwendet, die Siliziumwafer in die Diffusionsofenröhrchen tragen.


● Gasinjektor

Es wird verwendet, um Reaktionsgas in den Ofen einzuführen, und muss gegen hohe Temperatur und Korrosion resistent sein.


● Bootsträger

Siliziumkarbid -Wafer -Bootsanbieter wird verwendet, um Siliziumwafer zu reparieren und zu unterstützen, die Vorteile wie hohe Festigkeit, Korrosionsbeständigkeit und gute strukturelle Stabilität haben.


● Ofentür

In der Innenseite der Ofentür können auch Siliziumkarbidbeschichtungen oder Komponenten verwendet werden.


● Heizelement

Siliziumkarbidheizelemente sind für hohe Temperaturen und hohe Leistung geeignet und können die Temperaturen schnell auf über 1000 ° C erhöhen.


● SIC -Liner

Wird zum Schutz der inneren Wand der Ofenrohre verwendet, kann es helfen, den Verlust von Wärmeenergie zu verringern und harte Umgebungen wie hohe Temperatur und hohen Druck zu standzuhalten.

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SiC-Wafer-Boot

SiC-Wafer-Boot

Das SIC -Waferboot wird verwendet, um den Wafer hauptsächlich für den Oxidations- und Diffusionsprozess zu tragen, um sicherzustellen, dass die Temperatur gleichmäßig auf der Waferoberfläche verteilt werden kann. Die hohe Temperaturstabilität und die hohe thermische Leitfähigkeit von SIC -Materialien gewährleisten eine effiziente und zuverlässige Halbleiterverarbeitung. Vetek Semiconductor ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen bereitzustellen.
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SiC -Prozessrohr

SiC -Prozessrohr

VeTek Semiconductor bietet leistungsstarke SiC-Prozessrohre für die Halbleiterfertigung. Unsere SiC-Prozessrohre zeichnen sich durch Oxidations- und Diffusionsprozesse aus. Mit höchster Qualität und Verarbeitung bieten diese Rohre Hochtemperaturstabilität und Wärmeleitfähigkeit für eine effiziente Halbleiterverarbeitung. Wir bieten wettbewerbsfähige Preise und möchten Ihr langfristiger Partner in China sein.
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Sic Cantilever Paddel

Sic Cantilever Paddel

Das SiC Cantilever Paddle von VeTek Semiconductor wird in Wärmebehandlungsöfen zur Handhabung und Unterstützung von Wafer-Booten verwendet. Die hohe Temperaturstabilität und die hohe Wärmeleitfähigkeit des SiC-Materials gewährleisten eine hohe Effizienz und Zuverlässigkeit im Halbleiterverarbeitungsprozess. Wir sind bestrebt, qualitativ hochwertige Produkte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten und freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
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Siliziumkarbid-Waferschiffchen für Horizontalöfen

Siliziumkarbid-Waferschiffchen für Horizontalöfen

SiC-Wafer-Boote stellen hohe Anforderungen an die Materialreinheit. Vetek Semiconductor liefert für dieses Produkt SiC-Reinheit > 99,96 % rekristallisiertes SiC. VeTek Semiconductor ist ein professioneller Hersteller und Lieferant in China für Siliziumkarbid-Wafer-Boote für Horizontalöfen mit langjähriger Erfahrung in Forschung und Entwicklung Produktion, kann die Qualität gut kontrollieren und einen wettbewerbsfähigen Preis anbieten. Sie können sicher sein, dass Sie bei uns das Siliziumkarbid-Waferboot für den Horizontalofen kaufen.
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Sic beschichtete Siliziumkarbid -Waferboot

Sic beschichtete Siliziumkarbid -Waferboot

SIC Coated Silicon Carbid Wafer Boat ist mit 165 Steckplätzen für Wafer ausgestattet. Vetek Semiconductor ist professioneller Hersteller und Lieferant in China für SIC -beschichtete Silizium -Carbid -Waferboot mit jahrelanger Erfahrung in der F & E und der Produktion kann die Qualitätsqualität kontrollieren und einen Wettbewerb anbieten. Preis. Willkommen für den Besuch in unserer Fabrik und diskutieren Sie weiter über die Zusammenarbeit.
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Silizium -Carbid -Ausleger -Paddel

Silizium -Carbid -Ausleger -Paddel

Vetek Semiconductor's Silicon Carbid Cantilever Paddle ist eine wichtige Komponente im Semiconductor-Herstellungsprozess, insbesondere für Diffusionsöfen oder LPCVD-Öfen in Hochtemperaturprozessen wie Diffusion und RTP. Unser Silizium-Carbid-Cantilever-Paddel ist sorgfältig ausgestattet und mit hervorragendem Hochtemperaturwiderstand und mechanischer Stärke hergestellt und kann und kann sicher und zuverlässig Wafer in den Prozessrohr unter harten Prozessbedingungen für verschiedene Hochtemperaturprozesse wie Diffusion und RTP transportieren. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden. Feel Free, uns zu erkundigen.
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Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.


Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.


Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.


For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.


Als professioneller Hersteller und Lieferant in China haben wir unsere eigene Fabrik. Unabhängig davon, ob Sie maßgeschneiderte Dienste benötigen, um die spezifischen Bedürfnisse Ihrer Region zu erfüllen oder erweiterte und langlebige Oxidation und Diffusionsofen in China hergestellt zu werden, können Sie uns eine Nachricht hinterlassen.
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