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Oxidation und Diffusionsofen

Oxidations- und Diffusionsöfen werden in verschiedenen Bereichen wie Halbleitergeräten, diskreten Geräten, optoelektronischen Geräten, elektronischen Geräten mit Stromversorgung, Solarzellen und großem Maßstab integrierter Schaltkreis hergestellt. Sie werden für Prozesse verwendet, einschließlich Diffusion, Oxidation, Tempern, Legierung und Sintern von Wafern.


Vetek Semiconductor ist ein führender Hersteller, der sich auf die Herstellung von hochreinheitlichen Graphit-, Siliziumcarbid- und Quarzkomponenten in Oxidations- und Diffusionsöfen spezialisiert hat. Wir sind bestrebt, qualitativ hochwertige Ofenkomponenten für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie bereitzustellen, und stehen an der Spitze der Oberflächenbeschichtungstechnologie wie CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrokohlenstoff usw.


Die Vorteile von Vetek -Halbleiter -Silizium -Carbid -Komponenten:

● Hochtemperaturwiderstand (bis zu 1600 ℃)

● Ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit und thermische Stabilität

● Gute chemische Korrosionsbeständigkeit

● Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient

● hohe Stärke und Härte

● Langes Lebensdauer


Bei Oxidations- und Diffusionsöfen benötigen viele Komponenten aufgrund des Vorhandenseins von hohen Temperaturen und korrosiven Gasen die Verwendung von Hochtemperatur- und korrosionsbeständigen Materialien, von denen Siliziumkarbid (SIC) häufig verwendet wird. Im Folgenden finden Sie häufige Siliziumcarbidkomponenten in Oxidationsöfen und Diffusionsöfen:



● Waferboot

Das Silizium -Carbid -Waferboot ist ein Behälter, mit dem Siliziumwafer getragen werden können und die hohen Temperaturen standhalten und nicht mit Siliziumwafern reagieren können.


● Ofenrohr

Das Ofenrohr ist die Kernkomponente des Diffusionsofens, mit dem Siliziumwaffeln untergebracht und die Reaktionsumgebung gesteuert werden. Siliziumkarbidofenofenröhrchen haben eine ausgezeichnete Leistung mit hoher Temperatur und Korrosionsbeständigkeit.


● Schallplatte

Wird verwendet, um den Luftstrom und die Temperaturverteilung im Ofen zu regulieren


● Thermoelement -Schutzrohr

Wird zum Schutz der Temperaturmessung von Thermoelementen vor direktem Kontakt mit korrosiven Gasen.


● Cantilever Paddel

Silizium -Carbid -Ausleger -Paddel sind gegen hohe Temperatur und Korrosion resistent und werden zum Transport von Siliziumbooten oder Quarzbooten verwendet, die Siliziumwafer in die Diffusionsofenröhrchen tragen.


● Gasinjektor

Es wird verwendet, um Reaktionsgas in den Ofen einzuführen, und muss gegen hohe Temperatur und Korrosion resistent sein.


● Bootsträger

Siliziumkarbid -Wafer -Bootsanbieter wird verwendet, um Siliziumwafer zu reparieren und zu unterstützen, die Vorteile wie hohe Festigkeit, Korrosionsbeständigkeit und gute strukturelle Stabilität haben.


● Ofentür

In der Innenseite der Ofentür können auch Siliziumkarbidbeschichtungen oder Komponenten verwendet werden.


● Heizelement

Siliziumkarbidheizelemente sind für hohe Temperaturen und hohe Leistung geeignet und können die Temperaturen schnell auf über 1000 ° C erhöhen.


● SIC -Liner

Wird zum Schutz der inneren Wand der Ofenrohre verwendet, kann es helfen, den Verlust von Wärmeenergie zu verringern und harte Umgebungen wie hohe Temperatur und hohen Druck zu standzuhalten.

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Sic Diffusionsofenrohr

Sic Diffusionsofenrohr

Als führender Hersteller und Lieferant von Diffusionsofenausrüstung in China weist Vetek Semiconductor SIC-Diffusionsofen-Rohr eine signifikant hohe Biegefestigkeit, eine hervorragende Resistenz gegen Oxidation, Korrosionsbeständigkeit, hohe Verschleißfestigkeit und hervorragende mechanische Eigenschaften mit hoher Temperatur auf. Es ist ein unverzichtbares Gerätematerial in Diffusionsofenanwendungen. Vetek Semiconductor ist verpflichtet, hochwertige SIC-Diffusionsofenofen herzustellen und zu liefern, und begrüßt Ihre weiteren Anfragen.
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Hochreiner SiC-Wafer-Bootsträger

Hochreiner SiC-Wafer-Bootsträger

Vetek Semiconductor bietet einen maßgeschneiderten SIC -Wafer -Bootträger mit hoher Reinheit an. Es besteht aus Silizium -Carbid mit hohem Reinheit und verfügt über Schlitze, um den Wafer an Ort und Stelle zu halten und zu verhindern, dass er während der Verarbeitung rutscht. Bei Bedarf ist auch die CVD -SIC -Beschichtung verfügbar. Als professioneller und starker Halbleiterhersteller und Lieferant ist Vetek Semiconductor's High Purity SIC Wafer Boat Carrier wettbewerbsfähig und hohe Qualität. Vetek Semiconductor freut sich darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.
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Hochreinheit Sic Cantilever Paddel

Hochreinheit Sic Cantilever Paddel

Vetek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Lieferant von hochreinigem Sic Cantilever Paddle -Produkt in China. Hochreinheit Sic Cantilever Paddles werden üblicherweise in Halbleiterdiffusionsöfen als Waferübertragung oder Ladungsplattformen verwendet.
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Vertikales Säulengewehrboot & Sockel

Vertikales Säulengewehrboot & Sockel

Das vertikale Säulenwaferboot und -podest von Vetek Semiconductor bestehen aus hochpurigen Quarz- oder Siliziumkohlenstoff-Carby-Materialien (sic) mit hervorragendem Hochtemperaturwiderstand, chemischer Stabilität und mechanischer Stärke und sind eine unverzichtbare Kernkomponente im Herstellung von Halbleiter. Begrüßen Sie Ihre weitere Beratung.
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Zusammenhängendes Waferboot

Zusammenhängendes Waferboot

Vetek Semiconductor ContInuous Wafer Boat ist eine fortschrittliche Ausrüstung für die Verarbeitung von Halbleiter. Die Produktstruktur wurde sorgfältig entwickelt, um eine effiziente Verarbeitung und Produktion von Präzisionswaffeln sicherzustellen. Veteksemi unterstützt maßgeschneiderte Produktlösungen und freut sich auf Ihre Beratung.
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Horizontaler SiC-Waferträger

Horizontaler SiC-Waferträger

VeTek Semiconductor ist ein professioneller Hersteller und Lieferant von TaC-beschichteten Führungsringen, horizontalen SiC-Waferträgern und SiC-beschichteten Suszeptoren in China. Wir sind bestrebt, perfekten technischen Support und ultimative Produktlösungen für die Halbleiterindustrie zu bieten. Nehmen Sie gerne Kontakt mit uns auf.
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Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.


Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.


Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.


For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.


Als professioneller Hersteller und Lieferant in China haben wir unsere eigene Fabrik. Unabhängig davon, ob Sie maßgeschneiderte Dienste benötigen, um die spezifischen Bedürfnisse Ihrer Region zu erfüllen oder erweiterte und langlebige Oxidation und Diffusionsofen in China hergestellt zu werden, können Sie uns eine Nachricht hinterlassen.
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