Oxidations- und Diffusionsofen

Oxidations- und Diffusionsöfen werden in verschiedenen Bereichen wie Halbleiterbauelementen, diskreten Bauelementen, optoelektronischen Bauelementen, leistungselektronischen Bauelementen, Solarzellen und der Herstellung integrierter Schaltkreise im großen Maßstab eingesetzt. Sie werden für Prozesse wie Diffusion, Oxidation, Glühen, Legieren und Sintern von Wafern verwendet.

VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller, der sich auf die Herstellung hochreiner Graphit-, Siliziumkarbid- und Quarzkomponenten in Oxidations- und Diffusionsöfen spezialisiert hat. Wir sind bestrebt, qualitativ hochwertige Ofenkomponenten für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie bereitzustellen und sind führend in der Oberflächenbeschichtungstechnologie wie CVD-SiC, CVD-TaC, Pyrokohlenstoff usw.

Die Vorteile der Siliziumkarbid-Komponenten von VeTek Semiconductor:

Hohe Temperaturbeständigkeit (bis zu 1600℃)

Hervorragende Wärmeleitfähigkeit und thermische Stabilität

Gute chemische Korrosionsbeständigkeit

Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient

Hohe Festigkeit und Härte

Lange Lebensdauer

In Oxidations- und Diffusionsöfen erfordern viele Komponenten aufgrund des Vorhandenseins hoher Temperaturen und korrosiver Gase die Verwendung von hochtemperaturbeständigen und korrosionsbeständigen Materialien, unter denen Siliziumkarbid (SiC) eine häufig verwendete Wahl ist. Die folgenden Siliziumkarbidkomponenten finden sich häufig in Oxidationsöfen und Diffusionsöfen:

Wafer-Boot

Ein Siliziumkarbid-Waferboot ist ein Behälter zum Transport von Siliziumwafern, der hohen Temperaturen standhält und nicht mit Siliziumwafern reagiert.

Ofenrohr

Das Ofenrohr ist die Kernkomponente des Diffusionsofens und dient zur Aufnahme von Siliziumwafern und zur Steuerung der Reaktionsumgebung. Siliziumkarbid-Ofenrohre weisen eine hervorragende Hochtemperatur- und Korrosionsbeständigkeit auf.

Prallplatte

Dient zur Regulierung des Luftstroms und der Temperaturverteilung im Ofen

Thermoelement-Schutzrohr

Wird zum Schutz von Thermoelementen zur Temperaturmessung vor direktem Kontakt mit korrosiven Gasen verwendet.

Freitragendes Paddel

Auslegerpaddel aus Siliziumkarbid sind beständig gegen hohe Temperaturen und Korrosion und werden zum Transport von Siliziumschiffchen oder Quarzschiffchen mit Siliziumwafern in die Diffusionsofenrohre verwendet.

Gasinjektor

Wird zur Einleitung von Reaktionsgas in den Ofen verwendet und muss gegen hohe Temperaturen und Korrosion beständig sein.

Bootsträger

Siliziumkarbid-Wafer-Bootsträger werden zur Fixierung und Unterstützung von Siliziumwafern verwendet, die Vorteile wie hohe Festigkeit, Korrosionsbeständigkeit und gute strukturelle Stabilität bieten.

Ofentür

Auch auf der Innenseite der Ofentür können Siliziumkarbid-Beschichtungen oder -Komponenten zum Einsatz kommen.

Heizkörper

Siliziumkarbid-Heizelemente eignen sich für hohe Temperaturen, hohe Leistung und können die Temperaturen schnell auf über 1000 °C erhöhen.

SiC-Liner

Es wird zum Schutz der Innenwand von Ofenrohren eingesetzt und kann dazu beitragen, den Verlust von Wärmeenergie zu reduzieren und rauen Umgebungen wie hohen Temperaturen und hohem Druck standzuhalten.