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Oxidation und Diffusionsofen

Oxidations- und Diffusionsöfen werden in verschiedenen Bereichen wie Halbleitergeräten, diskreten Geräten, optoelektronischen Geräten, elektronischen Geräten mit Stromversorgung, Solarzellen und großem Maßstab integrierter Schaltkreis hergestellt. Sie werden für Prozesse verwendet, einschließlich Diffusion, Oxidation, Tempern, Legierung und Sintern von Wafern.


Vetek Semiconductor ist ein führender Hersteller, der sich auf die Herstellung von hochreinheitlichen Graphit-, Siliziumcarbid- und Quarzkomponenten in Oxidations- und Diffusionsöfen spezialisiert hat. Wir sind bestrebt, qualitativ hochwertige Ofenkomponenten für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie bereitzustellen, und stehen an der Spitze der Oberflächenbeschichtungstechnologie wie CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrokohlenstoff usw.


Die Vorteile von Vetek -Halbleiter -Silizium -Carbid -Komponenten:

● Hochtemperaturwiderstand (bis zu 1600 ℃)

● Ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit und thermische Stabilität

● Gute chemische Korrosionsbeständigkeit

● Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient

● hohe Stärke und Härte

● Langes Lebensdauer


Bei Oxidations- und Diffusionsöfen benötigen viele Komponenten aufgrund des Vorhandenseins von hohen Temperaturen und korrosiven Gasen die Verwendung von Hochtemperatur- und korrosionsbeständigen Materialien, von denen Siliziumkarbid (SIC) häufig verwendet wird. Im Folgenden finden Sie häufige Siliziumcarbidkomponenten in Oxidationsöfen und Diffusionsöfen:



● Waferboot

Das Silizium -Carbid -Waferboot ist ein Behälter, mit dem Siliziumwafer getragen werden können und die hohen Temperaturen standhalten und nicht mit Siliziumwafern reagieren können.


● Ofenrohr

Das Ofenrohr ist die Kernkomponente des Diffusionsofens, mit dem Siliziumwaffeln untergebracht und die Reaktionsumgebung gesteuert werden. Siliziumkarbidofenofenröhrchen haben eine ausgezeichnete Leistung mit hoher Temperatur und Korrosionsbeständigkeit.


● Schallplatte

Wird verwendet, um den Luftstrom und die Temperaturverteilung im Ofen zu regulieren


● Thermoelement -Schutzrohr

Wird zum Schutz der Temperaturmessung von Thermoelementen vor direktem Kontakt mit korrosiven Gasen.


● Cantilever Paddel

Silizium -Carbid -Ausleger -Paddel sind gegen hohe Temperatur und Korrosion resistent und werden zum Transport von Siliziumbooten oder Quarzbooten verwendet, die Siliziumwafer in die Diffusionsofenröhrchen tragen.


● Gasinjektor

Es wird verwendet, um Reaktionsgas in den Ofen einzuführen, und muss gegen hohe Temperatur und Korrosion resistent sein.


● Bootsträger

Siliziumkarbid -Wafer -Bootsanbieter wird verwendet, um Siliziumwafer zu reparieren und zu unterstützen, die Vorteile wie hohe Festigkeit, Korrosionsbeständigkeit und gute strukturelle Stabilität haben.


● Ofentür

In der Innenseite der Ofentür können auch Siliziumkarbidbeschichtungen oder Komponenten verwendet werden.


● Heizelement

Siliziumkarbidheizelemente sind für hohe Temperaturen und hohe Leistung geeignet und können die Temperaturen schnell auf über 1000 ° C erhöhen.


● SIC -Liner

Wird zum Schutz der inneren Wand der Ofenrohre verwendet, kann es helfen, den Verlust von Wärmeenergie zu verringern und harte Umgebungen wie hohe Temperatur und hohen Druck zu standzuhalten.

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Silizium -Carbid -Keramik -Waferboot

Silizium -Carbid -Keramik -Waferboot

Vetek Semiconductor ist auf die Bereitstellung hochwertiger Waferboote, Sockel und benutzerdefinierten Waferträger in vertikalen/Säulen und horizontalen Konfigurationen spezialisiert, um verschiedene Anforderungen an den Halbleiterprozess zu erfüllen. Als führender Hersteller und Anbieter von Silizium-Carbid-Beschichtungsfilmen wird unser Boot mit Silizium-Carbid-Keramik-Wafer von den europäischen und amerikanischen Märkten für ihre hohe Kosteneffizienz und hervorragende Qualität bevorzugt und in fortschrittlichen Halbleiterherstellungsprozessen häufig eingesetzt. Vetek Semiconductor ist verpflichtet, langfristige und stabile kooperative Beziehungen zu globalen Kunden aufzubauen, und hofft insbesondere, zu Ihrem zuverlässigen Semiconductor-Prozesspartner in China zu werden.
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Cantilever-Paddel aus Siliziumkarbid (SiC).

Cantilever-Paddel aus Siliziumkarbid (SiC).

Die Rolle des SIC -Paddels von Siliciumcarbid (SIC) in der Halbleiterindustrie besteht darin, Wafer zu unterstützen und zu transportieren. Bei Hochtemperaturprozessen wie Diffusion und Oxidation kann das SIC-Ausleger-Paddel heftig Wafer- und Wafern ohne Verformung oder Beschädigung aufgrund von hoher Temperatur tragen, um den reibungslosen Fortschritt des Prozesses zu gewährleisten. Diffusion, Oxidation und andere Prozesse gleichmäßiger zu machen, ist entscheidend für die Verbesserung der Konsistenz und Erträge der Waferverarbeitung. Vetek Semiconductor verwendet fortschrittliche Technologie, um Sic Cantilever Paddle mit hohem Siliziumcarbid zu bauen, um sicherzustellen, dass Wafer nicht kontaminiert werden. Vetek Semiconductor freut sich auf eine langfristige Zusammenarbeit mit Ihnen auf Silicon Carbide (SIC) -Testilever-Paddelprodukten.
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Quartz Crucible

Quartz Crucible

VeTek Semiconductor ist ein führender Lieferant und Hersteller von Quarztiegeln in China. Die von uns hergestellten Quarztiegel werden hauptsächlich im Halbleiter- und Photovoltaikbereich eingesetzt. Sie zeichnen sich durch Sauberkeit und hohe Temperaturbeständigkeit aus. Und unsere Quarztiegel für Halbleiter unterstützen die Produktionsprozesse des Ziehens von Siliziumstäben sowie das Be- und Entladen von Polysilizium-Rohstoffen im Halbleiter-Siliziumwafer-Produktionsprozess und sind wichtige Verbrauchsmaterialien für die Siliziumwafer-Produktion. VeTek Semiconductor freut sich darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
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Siliziumkarbid -Waferträger

Siliziumkarbid -Waferträger

Als professioneller Anbieter von Silizium -Carbid -Wafer -Träger in China ist Vetek Semiconductor SIC Wafer Carrier ein Werkzeug, das speziell für die Handhabung und Verarbeitung von Semiconductor -Wafern verwendet wird, das eine unersetzliche Rolle im Halbleiterwaferprozess spielt. Willkommen zu Ihrer weiteren Beratung.
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Siliziumpodest

Siliziumpodest

Vetek Semiconductor Silicon Sockel ist eine Schlüsselkomponente bei Halbleiterdiffusions- und Oxidationsprozessen. Als dedizierte Plattform zum Tragen von Siliziumbooten in Hochtemperaturöfen hat das Siliziumpodest viele einzigartige Vorteile, einschließlich einer verbesserten Temperaturgleichmäßigkeit, optimierter Waferqualität und einer verbesserten Leistung von Halbleitergeräten. Für weitere Produktinformationen können Sie uns gerne kontaktieren.
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SiC -Keramik -Siegelring

SiC -Keramik -Siegelring

Als groß angelegte Fabrik und Lieferant von SIC-Keramikring-Ringprodukten in China hat der SIC-Keramik-Robelring von Vetek im Industriefeld aufgrund seiner hervorragenden thermischen Leitfähigkeit, hervorragender chemischer und Korrosionsbeständigkeit sowie Hochfestigkeit und Steifheit eine Vielzahl von Anwendungen im Industriefeld. Begrüßen Sie Ihre weiteren Anfragen.
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Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.


Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.


Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.


For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.


Als professioneller Hersteller und Lieferant in China haben wir unsere eigene Fabrik. Unabhängig davon, ob Sie maßgeschneiderte Dienste benötigen, um die spezifischen Bedürfnisse Ihrer Region zu erfüllen oder erweiterte und langlebige Oxidation und Diffusionsofen in China hergestellt zu werden, können Sie uns eine Nachricht hinterlassen.
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