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PSS -Ätzungsträgerplatte für Halbleiter
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PSS -Ätzungsträgerplatte für Halbleiter

Vetek Semiconductor's PSS-Ätzträgerplatte für Semiconductor ist ein hochwertiger Ultra-Pure-Graphit-Träger, der für Waferhandhabungsprozesse ausgelegt ist. Unsere Träger haben eine hervorragende Leistung und können in rauen Umgebungen, hohen Temperaturen und harten chemischen Reinigungsbedingungen gut abschneiden. Unsere Produkte werden in vielen europäischen und amerikanischen Märkten häufig verwendet, und wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden. Sie können gerne nach China kommen, um unsere Fabrik zu besuchen und mehr über unsere Technologie und unsere Produkte zu erfahren.

Als führender professioneller Hersteller auf diesem Gebiet freut sich Vetek Semiconductor, Ihnen erstklassige PSS-Ätzteller anzubieten, die speziell für die Halbleiterindustrie zugeschnitten sind.


Unsere PSS -Ätztafelplatten für Halbleiter sind hochspezialisierte Komponenten, die in der Plasma -Quellspektroskopie (PSS) für die Radroskopie (PSS) im Reich der Halbleiterherstellung unverzichtbar sind. Diese Platten nehmen während des Ätzprozesses eine entscheidende Rolle an. Sie bieten eine stabile Unterstützung und gewährleisten einen reibungslosen Transport von Halbleiterwafern, was für die Präzision und Qualität des Ätzvorgangs von entscheidender Bedeutung ist.


Wir laden Sie herzlich ein, uns an Anfragen zu erreichen. Wir sind immer bereit, zu helfen und detailliertere Informationen zu unseren herausragenden Produkten bereitzustellen.




PSS -Ätzungsträgerplatte für HalbleiterSchlüsselmerkmale:

● Präzisionsdesign: Die Trägerplatte ist mit präzisen Abmessungen und Oberflächenflatheit entwickelt, um ein gleichmäßiges und konsistentes Ätzen über die Halbleiterwafer zu gewährleisten. Es bietet eine stabile und kontrollierte Plattform für die Wafer, die genaue und zuverlässige Ätzungsergebnisse ermöglicht.

● Plasmabeständigkeit: Die Trägerplatte weist eine hervorragende Resistenz gegen das im Radierungsprozess verwendete Plasma auf. Es bleibt von den reaktiven Gasen und dem hochenergetischen Plasma nicht beeinflusst, um eine längere Lebensdauer und eine konsistente Leistung zu gewährleisten.

● Wärmeleitfähigkeit: Die Trägerplatte verfügt über eine hohe thermische Leitfähigkeit, um die während des Ätzungsprozesses effizient erzeugte Wärme zu leiten. Dies hilft bei der Aufrechterhaltung einer optimalen Temperaturkontrolle und verhindert eine Überhitzung der Halbleiterwafer.

● Kompatibilität: Die PSS -Ätz -Trägerplatte ist so ausgelegt, dass sie mit verschiedenen Halbleiter -Wafergrößen kompatibel ist, die in der Branche üblicherweise verwendet werden, um die Vielseitigkeit und Benutzerfreundlichkeit in verschiedenen Herstellungsprozessen zu gewährleisten.


Produktparameter der PSS -Ätz -Trägerplatte für Halbleiter

Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD -sic -Beschichtung
Eigentum Typischer Wert
Kristallstruktur Polykristalline FCC -β -Phasen -FCC -β -Phase, hauptsächlich (111) orientiert
SiC -Beschichtungsdichte 3,21 g/cm³
CVD -SIC -Beschichtungshärte 2500 Vickers Härte (500 g Last)
Körnung 2 ~ 10 μm
Chemische Reinheit 99,99995%
Wärmekapazität 640 J · kg-1· K-1
Sublimationstemperatur 2700 ℃
Biegerstärke 415 MPa RT 4-Punkte
Young's Modul 430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Wärmeleitfähigkeit 300W · m-1· K-1
Wärmeausdehnung (CTE) 4,5 × 10-6K-1



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