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Sic beschichtete ICP -Ätzträger
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Sic beschichtete ICP -Ätzträger

Vetekemicon SIC Coated ICP -Ätzträger ist für die anspruchsvollsten EPITAXY -Geräteanwendungen ausgelegt. Unser sicbeschichteter ICP-Ätzträger besteht aus hochwertigem ultra-pure-Graphitmaterial und hat eine hochfliegende Oberfläche und einen hervorragenden Korrosionsbeständigkeit, um den harten Bedingungen während der Handhabung standzuhalten. Die hohe thermische Leitfähigkeit des sicbeschichteten Trägers gewährleistet eine sogar Wärmeverteilung für hervorragende Ätzergebnisse.

Mit jahrelanger Erfahrung in der Produktion sic beschichteter ICP -Ätzträger kann Vetek Semiconductor eine breite Palette von liefernSic beschichtetoderTAC beschichtetErsatzteile für die Halbleiterindustrie. Zusätzlich zu der nachstehenden Produktliste können Sie auch Ihre eigenen einzigartigen sic -beschichteten oder mit TAC beschichteten Teile entsprechend Ihren spezifischen Anforderungen anpassen.


Vetek Semiconductor's SIC Coated ICP -Ätzträger, auch als ICP -Träger, PSS -Träger, RTP -Träger oder RTP -Träger bekannt, sind wichtige Komponenten, die in einer Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie verwendet werden. Siliziumkarbidbeschichtetes Graphit ist das primäre Material, das zur Herstellung dieser aktuellen Träger verwendet wird. Es hat eine hohe thermische Leitfähigkeit, mehr als das 10 -fache der thermischen Leitfähigkeit des Saphir -Substrats. Diese Eigenschaft, kombiniert mit ihrer hochrollen elektrischen Feldstärke und der maximalen Stromdichte, hat die Erforschung von Siliziumcarbid als potenzieller Austausch für Silizium in einer Vielzahl von Anwendungen ausgelöst, insbesondere in Halbleiter-Hochleistungskomponenten. SIC -Stromträgerplatten haben eine hohe thermische Leitfähigkeit, die sie ideal fürLED -Herstellungsprozesse. 


Sie gewährleisten eine effiziente Wärmeableitung und bieten eine hervorragende elektrische Leitfähigkeit, die zur Herstellung von Hochleistungs-LEDs beitragen. Darüber hinaus haben diese Trägerplatten hervorragendePlasmabeständigkeitund lange Lebensdauer, um eine zuverlässige Leistung und das Leben in der anspruchsvollen Umgebung für die Herstellung von Halbleitern zu gewährleisten.


Vetekemicon hat langfristige kooperative Beziehungen zu vielen Halbleiterherstellern aufgebaut. Wir freuen uns auch darauf, eine langfristige Partnerschaft mit Ihnen aufzubauen.


Produktparameter des sic beschichteten ICP -Ätzträgers:

Grundlegende physikalische Eigenschaften vonCVD -SIC -Beschichtung
Eigentum Typischer Wert
Kristallstruktur Polykristalline FCC -β -Phasen -FCC -β -Phase, hauptsächlich (111) orientiert
Dichte 3,21 g/cm³
Härte 2500 Vickers Härte (500 g Last)
Körnung 2 ~ 10 mm
Chemische Reinheit 99,99995%
Wärmekapazität 640 J · kg-1· K-1
Sublimationstemperatur 2700 ℃
Biegerstärke 415 MPa RT 4-Punkte
Der Modul von Young 430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Wärmeleitfähigkeit 300W · m-1· K-1
Wärmeausdehnung (CTE) 4,5 × 10-6K-1


Es HalbleiterSic beschichtete ICP -ÄtzträgerProduktionsgeschäft

VeTek Semiconductor SiC Coated ICP Etching Carrier Production Shop


Überblick über die Halbleiter -Chip -Epitaxie -Industriekette:

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