Sic ICP -Ätzplatte

ICP-Ätzung (induktiv gekoppelte Plasmaetechnologie) ist ein Präzisionsetchingprozess bei der Herstellung von Halbleiter, die üblicherweise für die Übertragung von hoher Präzision und qualitativ hochwertiger Muster verwendet wird, besonders geeignet für die Ätzung von Tiefen, Mikropuschern usw., usw.

SemikonDie SIC-ICP-Ätzplatte ist speziell für den ICP-Prozess ausgelegt, wobei hochwertige SIC-Materialien verwendet werden, und kann eine hervorragende Leistung bei hohen Temperaturen, starker korrosiven und hohen Energieumgebungen bieten. Als Schlüsselkomponente für das Lager und Unterstützung,ICP ÄtzPlatte sorgt für Stabilität und Effizienz während des Ätzprozesses.

Sic ICP -ÄtzplatteProduktmerkmale

● Hochtemperaturtoleranz

Die SIC -ICP -Ätzplatte kann den Temperaturänderungen bis zu 1600 ° C standhalten, um eine stabile Verwendung in der ICP -Ätzumgebung mit hoher Temperatur zu gewährleisten und Verformungen oder Leistungsabschlüsse zu vermeiden, die durch Temperaturschwankungen verursacht werden.

●  Hervorragende Korrosionsbeständigkeit

SiliziumkarbidmaterialKann effektiv stark korrosiven Chemikalien wie Wasserstofffluorid, Wasserstoffchlorid, Schwefelsäure usw. widerstehen, die während des Ätzens ausgesetzt werden können, um sicherzustellen, dass das Produkt während des Langzeitgebrauchs nicht beschädigt wird.

●  Niedriger thermischer Expansionskoeffizient

Die SIC -ICP -Ätzplatte hat einen niedrigen thermischen Expansionskoeffizienten, der eine gute dimensionale Stabilität in der Umgebung mit hoher Temperatur aufrechterhalten, Spannung und Verformung verringern kann, die durch Temperaturänderungen verursacht werden, und sicherzustellen, dass ein genauer Ätzungsprozess gewährleistet ist.

●  Hohe Härte und Verschleißfestigkeit

SIC hat eine Härte von bis zu 9 MOHS -Härte, was mechanische Verschleiß effektiv verhindern kann, die während des Ätzprozesses auftreten, die Lebensdauer verlängern und die Austauschfrequenz verringern können.

● eXcellent Wärmeleitfähigkeit

Ausgezeichnete thermische Leitfähigkeit sorgt dafür, dass dieSiC -TablettKann während des Ätzprozesses schnell Wärme abgeleiten und die durch Wärmeakkumulation verursachten lokalen Temperaturerhöhungen vermeiden, wodurch die Stabilität und Gleichmäßigkeit des Ätzprozesses sichergestellt wird.

Mit der Unterstützung eines starken technischen Teams hat das Vetekemicon SIC ICP -Ätztablett verschiedene schwierige Projekte abgeschlossen und maßgeschneiderte Produkte entsprechend Ihren Anforderungen anbietet. Wir freuen uns auf Ihre Anfrage.

Grundlegende physikalische Eigenschaften von CVD SIC: