Sic beschichtete Graphit -Anfälligkeit für MOCVD

Vetek Semiconductor-SIC-beschichteter Graphit-Soldaten für MOCVD ist ein hochreines sic beschichtetes Graphitträger, das speziell für das Wachstum der epitaxialen Schicht auf Waferchips ausgelegt ist. Als zentrale Komponente in der MOCVD -Verarbeitung, die typischerweise als Zahnrad oder Ring geformt ist, bietet es außergewöhnliche Wärmewiderstand und Korrosionswiderstand, um die Stabilität in extremen Umgebungen zu gewährleisten.

Hauptmerkmale des MOCVD SiC-beschichteten Graphitsuszeptors:

●   Abplatzbeständige Beschichtung: Gewährleistet eine gleichmäßige Abdeckung der SiC-Beschichtung auf allen Oberflächen und verringert so das Risiko der Partikelablösung

● ausgezeichneter Hochtemperaturoxidationsresistance: Bleibt bei Temperaturen bis zu 1600 ° C stabil

●   Hohe Reinheit: Hergestellt durch CVD-chemische Gasphasenabscheidung, geeignet für Hochtemperatur-Chlorierungsbedingungen

●   Überlegene Korrosionsbeständigkeit: Säure, Alkalien, Salze und organische Reagenzien sehr resistent

●   Optimiertes laminares Luftstrommuster: Verbessert die Gleichmäßigkeit der Luftstromdynamik

●  Gleichmäßige Wärmeverteilung: Sorgt für eine stabile Wärmeverteilung bei Hochtemperaturprozessen

●  Kontaminationsprävention: Verhindert die Verbreitung von Verunreinigungen oder Verunreinigungen, um Wafer Sauberkeit zu gewährleisten

Bei VeTek Semiconductor halten wir uns an strenge Qualitätsstandards und liefern unseren Kunden zuverlässige Produkte und Dienstleistungen. Wir wählen nur erstklassige Materialien aus und sind bestrebt, die Leistungsanforderungen der Branche zu erfüllen und zu übertreffen. Unser SiC-beschichteter Graphit-Suszeptor für MOCVD ist ein Beispiel für dieses Qualitätsbewusstsein. Kontaktieren Sie uns, um mehr darüber zu erfahren, wie wir Sie bei der Verarbeitung von Halbleiterwafern unterstützen können.

CVD-SIC-FILM-KRISTALLSTRUKTUR:

Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD-SiC-Beschichtung:

VeTek Semiconductor Mocvd So beschichtete Graphitunterstützung;