So beschichten EPI -Empfänger

Vetek Semiconductor ist professioneller Hersteller in China für die so durchgeführte Beschichtung.

Vetek Semiconductor's SIC Coating Epi Susceptor besteht aus Graphit und Siliziumkarbid. Dieses SIC -Coating -Produkt verwendet importiertes Graphit, das eine stabilere Leistung und ein langes Lebensdauer hat und von unseren europäischen und amerikanischen Kunden hoch gelobt wird. Gleichzeitig liegt die Konzentration des SIC -Beschichtungs -EPI -Suszeptors unter 5 ppm und die Gleichmäßigkeit ist sehr gut. Nach kontinuierlichen technologischen Upgrades verwendet Vetek Semiconductor einen neuen Prozess, um eine gute Übereinstimmung zwischen dem thermischen Expansionskoeffizienten von SIC -Beschichtung und Graphitmaterial zu bilden.

SiC Coating Epi Susceptor wird speziell in Hochtemperatur- und korrosiven Umgebungen in Halbleitergeräten eingesetzt. SiC-Beschichtungs-Epi-Suszeptoren werden häufig in Geräten wie AIXTRON verwendet, insbesondere im Tief-Ultraviolett-Epitaxie-Verfahren (DUV-Epitaxie), und spielen eine Schlüsselrolle.

Beim Epitaxieprozess im tiefen Ultraviolett (DUV Epitaxy) wird SiC Coating Epi Susceptor in Kombination mit der hervorragenden Hochtemperaturbeständigkeit und Korrosionsbeständigkeit des SiC Coating Epi Susceptor normalerweise um die Reaktionskammer in der AIXTRON-Anlage herum als Träger während des Epitaxieprozesses installiert die Ausrüstung beschädigen oder verunreinigen.

Dieser Epi-Suszeptor mit SiC-Beschichtung ist für die Epitaxie im tiefen Ultraviolett konzipiert. Wir kontrollieren die Siliziumkarbidbeschichtung streng und integrieren eine Pufferschichttechnologie, um Probleme zu reduzieren, die durch Unterschiede in den Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen Graphit- und Siliziumkarbidbeschichtungen verursacht werden, und so die Lebensdauer des Produkts zu verlängern. Derzeit hat unser Produkt zahlreiche Auszeichnungen erhalten und gilt als eines der besten auf dem heimischen Markt.

Als Branchenführer in SIC -Beschichtungsprodukten unterstützt Vetek Semiconductor Produktanpassungsdienste und zufriedenstellende Produktpreise und freut sich auf Ihre weitere Beratung.

REM-DATEN DES CVD-SIC-FILM:

Vetek Semiconductor SIC Coating Rock Products Shops:

Überblick über die Semiconductor Chip Epitaxy -Industriekette: