Siliziumkarbidkeramik

Unser Roboterarm des Siliciumcarbids (SIC) ist für die Handhabung von Hochleistungswafern in der Herstellung fortschrittlicher Halbleiter ausgelegt. Dieser Roboterarm aus hohem Siliziumcarbid aus hoher Purität bietet einen außergewöhnlichen Widerstand gegen hohe Temperaturen, Plasmakorrosion und chemische Angriffe, um einen zuverlässigen Betrieb in anspruchsvollen Reinraumumgebungen zu gewährleisten. Die außergewöhnliche mechanische Festigkeit und die dimensionale Stabilität ermöglichen eine präzise Handhabung des Wafers und minimieren Kontaminationsrisiken und machen es zu einer idealen Wahl für MOCVD, Epitaxie, Ionenimplantation und andere Anwendungen für kritische Waferhandhabungen. Wir begrüßen Ihre Anfragen.

Vetekemicon SIC-Waferboote werden in kritischen Hochtemperaturprozessen bei der Herstellung von Halbleiter häufig eingesetzt und dienen als zuverlässige Träger für Oxidations-, Diffusions- und Glühprozesse für integrierte Kreisläufe auf Siliziumbasis. Sie zeichnen sich auch im Halbleitersektor der dritten Generation aus und eignen sich perfekt für anspruchsvolle Prozesse wie epitaxiale Wachstum (EPI) und metallorganische chemische Dampfablagerung (MOCVD) für SIC- und GaN-Stromversorgungsgeräte. Sie unterstützen auch die Hochtemperaturherstellung hocheffizienter Solarzellen in der Photovoltaikindustrie. Ich freue mich auf Ihre weitere Beratung.

Vetekemicon Sic Cantilever Paddles sind hochpurige Silizium-Carbid-Stützarme, die für die Waferhandhabung in horizontalen Diffusionsöfen und epitaxialen Reaktoren ausgelegt sind. Mit außergewöhnlicher thermischer Leitfähigkeit, Korrosionsbeständigkeit und mechanischer Stärke sorgen diese Paddel bei der anspruchsvollen Halbleiterumgebung. Erhältlich in benutzerdefinierten Größen und optimiert für eine lange Lebensdauer.

Der SIC-Block von Vetekememon ist für hocheffizientes Schleifen und Ausdünnen von Silizium- und Saphir-Wafern ausgelegt. Mit ausgezeichneter thermischer Leitfähigkeit (≥120 W/m · k), hoher thermischer Schockwiderstand und überlegener Verschleißfestigkeit (MOHS ≥ 9) verbessern unsere Blöcke die Prozessstabilität und reduzieren die Frequenz der Werkzeugeänderung. Erhältlich in Größen von 120 mm bis 480 mm, mit maßgeschneiderten Optionen und schneller Lieferung, um den unterschiedlichen Produktionsanforderungen zu erfüllen.

Vetekemicon SIC -Keramikmembranen sind eine Art anorganischer Membran und gehören zu festen Membranmaterialien in der Membran -Trennungstechnologie. SIC -Membranen werden mit einer Temperatur über 2000 ℃ abgefeuert. Die Oberfläche der Partikel ist glatt und rund. Es gibt keine geschlossenen Poren oder Kanäle in der Stützschicht und jeder Schicht. Sie bestehen normalerweise aus drei Schichten mit unterschiedlichen Porengrößen.

Unsere porösen Sic -Keramikplatten sind poröse Keramikmaterialien aus Siliziumkarbid als Hauptkomponente und verarbeitet durch spezielle Prozesse. Sie sind unverzichtbare Materialien bei der Herstellung von Halbleiter, der chemischen Dampfablagerung (CVD) und anderen Prozessen.