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Siliziumkarbid -Epitaxie

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CVD -SIC -Graphitzylinder

CVD -SIC -Graphitzylinder

Der CVD -Graphitzylinder von Vetek Semiconductor ist in Halbleiterausrüstung zentral und dient als Schutzschild innerhalb von Reaktoren, um die internen Komponenten in hohen Temperatur- und Druckeinstellungen zu schützen. Es schützt effektiv gegen Chemikalien und extreme Wärme und bewahrt die Integrität der Geräte. Mit außergewöhnlicher Verschleiß- und Korrosionsbeständigkeit sorgt dies für die Langlebigkeit und Stabilität in herausfordernden Umgebungen. Die Verwendung dieser Abdeckungen verbessert die Leistung der Halbleitervorrichtung, verlängert die Lebensdauer der Lebensdauer und mindert Wartungsanforderungen und Schadensrisiken.
CVD-SiC-Beschichtungsdüse

CVD-SiC-Beschichtungsdüse

CVD-SiC-Beschichtungsdüsen sind entscheidende Komponenten, die im LPE-SiC-Epitaxieprozess zur Abscheidung von Siliziumkarbidmaterialien während der Halbleiterherstellung verwendet werden. Diese Düsen bestehen typischerweise aus hochtemperaturbeständigem und chemisch stabilem Siliziumkarbidmaterial, um Stabilität in rauen Verarbeitungsumgebungen zu gewährleisten. Sie sind für eine gleichmäßige Abscheidung konzipiert und spielen eine Schlüsselrolle bei der Kontrolle der Qualität und Gleichmäßigkeit epitaktischer Schichten, die in Halbleiteranwendungen erzeugt werden. Begrüßen Sie Ihre weitere Anfrage.
CVD -SIC -Beschichtungsschutz

CVD -SIC -Beschichtungsschutz

Der verwendete CVD -SIC -Beschichtungsschutz von Vetek Semiconductor ist eine LPE -SIC -Epitaxie. Der Begriff "LPE" bezieht sich normalerweise auf Niederdruck -Epitaxie (LPE) bei chemischer Dampfabscheidung mit niedrigem Druck (LPCVD). In der Semiconductor -Herstellung ist LPE eine wichtige Prozesstechnologie zum Anbau von Einkristall -Dünnfilmen, die häufig zum Anbau von Silizium -epitaxialen Schichten oder anderer Halbleiter -Epitaxialschichten verwendet werden.
Sic beschichtete Sockel

Sic beschichtete Sockel

Vetek Semiconductor ist professionell in der Herstellung von CVD-SiC-Beschichtungen und TaC-Beschichtungen auf Graphit- und Siliziumkarbidmaterialien. Wir bieten OEM- und ODM-Produkte wie SiC-beschichtete Sockel, Wafer-Träger, Wafer-Chuck, Wafer-Trägerschalen, Planetenscheiben usw. an. Mit einem Reinraum- und Reinigungsgerät der Güteklasse 1000 können wir Ihnen Produkte mit Verunreinigungen unter 5 ppm liefern. Wir freuen uns auf Ihre Nachricht bald von Dir.
Einlassring mit SiC-Beschichtung

Einlassring mit SiC-Beschichtung

Vetek Semiconductor zeichnet sich durch die enge Zusammenarbeit mit Kunden aus, um maßgeschneiderte Designs für SiC-Beschichtungs-Einlassringe zu erstellen, die auf spezifische Anforderungen zugeschnitten sind. Diese Einlassringe mit SiC-Beschichtung wurden sorgfältig für verschiedene Anwendungen wie CVD-SiC-Geräte und Siliziumkarbid-Epitaxie entwickelt. Für maßgeschneiderte Einlassringlösungen mit SiC-Beschichtung wenden Sie sich bitte an Vetek Semiconductor, um individuelle Unterstützung zu erhalten.
Ring vorheizen

Ring vorheizen

Vorwärmering wird im Halbleiter-Epitaxie-Prozess verwendet, um Wafer vorzuheizen und die Temperatur von Wafern stabiler und gleichmäßiger zu gestalten, was für das qualitativ hochwertige Wachstum der Epitaxienschichten von großer Bedeutung ist. Vetek Semiconductor kontrolliert die Reinheit dieses Produkts strikt, um die Verflüchtigung von Verunreinigungen bei hohen Temperaturen zu verhindern.

Veteksemicon silicon carbide epitaxy is your advanced procurement option for producing high-performance 4H-SiC and 6H-SiC epitaxial layers used in wide bandgap semiconductor devices. SiC epitaxy enables the formation of defect-controlled, dopant-engineered epitaxial layers critical for high-power, high-frequency, and high-temperature electronic devices.


Our offering includes specialized components such as SiC epitaxial susceptors, SiC-coated wafer holders, and epitaxy process rings, tailored for use in horizontal and vertical MOCVD and CVD reactors, including platforms by Veeco, Aixtron, and LPE. Veteksemicon’s parts are coated with high-purity CVD SiC, ensuring chemical compatibility, temperature uniformity, and minimal contamination during epitaxial layer growth.


Silicon carbide epitaxy is essential for fabricating power MOSFETs,  IGBTs, and RF components, particularly in automotive, energy, and aerospace applications. The epitaxial process requires extremely precise control over doping concentration, layer thickness, and crystallographic orientation, which is why substrate compatibility and thermal stability of reactor parts are critical.


Relevant terms in this category include 4H-SiC epitaxial wafer, low-defect-density epitaxy, SiC epi-ready substrates, and wide bandgap semiconductors. Veteksemicon supports both research-scale and volume production needs with stable, repeatable, and thermally robust component solutions.


To learn more about our silicon carbide epitaxy support materials, visit the Veteksemicon product detail page or contact us for detailed specifications and engineering support.


Als professioneller Hersteller und Lieferant in China haben wir unsere eigene Fabrik. Unabhängig davon, ob Sie maßgeschneiderte Dienste benötigen, um die spezifischen Bedürfnisse Ihrer Region zu erfüllen oder erweiterte und langlebige Siliziumkarbid -Epitaxie in China hergestellt zu werden, können Sie uns eine Nachricht hinterlassen.
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