Silizium -Carbid -Roboterarm

Der Silizium-Carbid-Roboterarm von Vetekemicon ist eine hochwertige Halbleiterverarbeitungslösung, die speziell für harte industrielle Umgebungen entwickelt wurde. Mithilfe der fortschrittlichen Hochpause-Silizium-Carbid-Materialtechnologie zeigt sie eine außergewöhnliche Stabilität und Haltbarkeit bei hohen Temperaturen, korrosiven Umgebungen und ultrahoch-hohen Vakuumbedingungen. Als Schlüsselkomponente bei der Handhabung, Ätzen- und Ablagerungsprozesse im Wafer verbessert unser Roboterarm die Produktivität erheblich und senkt die Wartungskosten.

Ⅰ. Technische Parameter

Ⅱ. Vetekemicon Silicon Carbid Roboter Arm -Kernvorteile

1. Toleranz extreme Umwelt

Unser Roboterarm verwendet eine einzigartig formulierte SIC-Beschichtung, die mehrere Hochtemperaturablagerungsprozesse durchläuft, um die strukturelle Integrität bei anhaltenden Temperaturen von 1500 ° C aufrechtzuerhalten und die Korrosion gegen Plasma-Bombardierung und starke Säure- und alkalische Umgebungen effektiv zu widerstehen. Dies befasst sich grundlegend auf die Schmerzpunkte traditioneller Materialien, die anfällig für das Altern sind und unter extremen Arbeitsbedingungen eine kurze Lebensdauer haben.

2. Ausgezeichnete mechanische Eigenschaften

Durch die Einführung einer zusammengesetzten Struktur des Graphit -Substrats und der SIC -Beschichtung haben wir eine Steifigkeit erreicht, die weit über die von Metallmaterialien hinausgeht und gleichzeitig sicherstellt, dass der Arm extrem leicht ist. Dieses Design stellt sicher, dass die Verformung des Roboterarms während der Hochgeschwindigkeits-Hugebewegung extrem klein ist, wodurch Jitter effektiv unterdrückt wird, wodurch die Wiederholungsgenauigkeit innerhalb von ± 0,02 mm fest kontrolliert wird, wodurch die sichere Übertragung von Präzisionswaffeln gewährleistet ist.

3. Ultrahöhe Sauberkeit

Wir verstehen, dass Partikelkontamination der Killer Nummer eins der Ertrag ist. Daher erfährt jeder Roboterarm präziser Polier- und spezialisierte Oberflächenbehandlung, was zu einer Oberflächenrauheit von weniger als 0,1 μm führt. Die Beschichtung hält sich sicher fest und verhindert das Risiko eines Schälens. Unsere Produkte sind zu 100% Sauberkeit getestet, erfüllen voll und ganz den ultrahoch-hohen Reinraumanforderungen und sind bereit für den Einsatz in hochmodernen Produktionslinien.

4. Langes Lebensdauer

Dank der inhärenten Härte von 3000 HV und der hervorragenden Verschleißfestigkeit erleben unsere Roboterarme auch nach Zehntausenden von Bewegungszyklen eine minimale Leistungsverschlechterung. Ihre Lebensdauer ist um ein Vielfaches der gewöhnlichen Keramik- oder Aluminiumlegierungskomponenten, wodurch die Ausfallzeit für Ersatz und Wartung erheblich verringert wird und unseren Kunden eine erhebliche Kosteneffizienz der Gesamtkostenleistung liefert.

Ⅲ. Hauptantragsfelder

Die ökologische Kettenüberprüfung von Vetekemicon Silicon Carbid Roboter Arms deckt Rohstoffe für die Produktion ab, hat die internationale Standardzertifizierung bestanden und verfügt über eine Reihe von patentierten Technologien, um seine Zuverlässigkeit und Nachhaltigkeit im Halbleiter- und neuen Energiebereiche zu gewährleisten. Willkommen, uns jederzeit zu konsultieren.