Cantilever-Paddel aus Siliziumkarbid (SiC).

Cantilever Paddle aus Siliziumkarbid (SiC) ist eine unverzichtbare Schlüsselkomponente im Wafer-Verarbeitungsprozess. Es ist hauptsächlich ein Teil des Wafer-Transportsystems. Es übernimmt die wichtige Aufgabe, Wafer in Geräten wie Hochtemperatur-Oxidationsdiffusionsöfen zu tragen und zu transportieren, die Konzentrizität des Wafers und des Ofenrohrs sicherzustellen und die Konsistenz und Ausbeute der Waferverarbeitung zu verbessern.

Das SIC -Cantilever -Paddel hat eine hervorragende Leistung mit hoher Temperatur: In hoher Temperaturumgebung von bis zu 1600 ° C kann das SIC -Cantilever -Paddel immer noch hohe Festigkeit und Stabilität aufrechterhalten, keine Beschädigungen und andere Probleme verformen und längere Zeit stabil arbeiten.

Siliziumkarbid-Ausleger-Paddel besteht aus hochpurigen SIC-Material, und während der Waferverarbeitung fallen keine Partikel ab, wodurch die Kontamination der Waferoberfläche vermieden wird. Siliziumkarbidmaterial hat eine hohe Biegefestigkeit und kann beim Tragen von mehr Wafern größere Belastungen standhalten und ist nicht anfällig für Bruch, um die Sicherheit und Stabilität des Waferübertragungsprozesses zu gewährleisten. Die hervorragende chemische Stabilität von sic hilft, dass Sic Cantilever Paddle Korrosion aus verschiedenen Chemikalien und Gasen widerspricht, verhindert, dass Unreinheiten den Wafer aufgrund materieller Korrosion kontaminieren und die Lebensdauer des Produkts erweitert.

Sic Cantilever Paddel Arbeitsdiagramm

Produktspezifikationen

● Verschiedene Größen: Wir bieten Siliziumcarbid (SIC) Cantilever Paddles verschiedener Größen an, um den Anforderungen verschiedener Arten von Halbleitergeräten und Waferverarbeitung verschiedener Größen zu erfüllen.

●  Maßgeschneiderter Service: Zusätzlich zu Standard -Spezifikationsprodukten können wir exklusive Lösungen für Kunden entsprechend ihren speziellen Anforderungen wie spezifischer Größe, Form, Ladungskapazität usw. erstellen.

●  Einteiliges Formdesign: Es wird normalerweise in einem einteiligen Formverfahren hergestellt, einschließlich Verbindungsabschnitt, Übergangsabschnitt und Lagerabschnitt. Die Teile sind fest miteinander verbunden und weisen eine starke Integrität auf, was die strukturelle Festigkeit und Stabilität des Produkts effektiv verbessert und das Risiko eines Ausfalls durch schwache Verbindungsteile verringert.

●  Verstärkte Struktur: Einige Produkte sind mit Verstärkungsstrukturen in wichtigen Teilen wie dem Übergangsabschnitt wie der Bodenplatte, der Druckplatte, der Stangenanschlüsse usw. ausgestattet, wodurch die Verbindungsstärke zwischen dem Übergangsabschnitt und dem Anschlussabschnitt und dem Lagerabschnitt weiter verbessert wird verbessert die Zuverlässigkeit des Hochpaddels mit hoher Reinheit beim Tragen des Wafers und verhindert Probleme wie Bruch im Übergangsbereich.

●  Speziallagergebiet Design: Das Design des Lagerbereichs berücksichtigt vollständig die Platzierung und Wärmeübertragung des Wafers. Einige Produkte sind im Lagerbereich mit U-förmigen Rillen, langen Streifenlöchern, rechteckigen Löchern und anderen Strukturen ausgestattet, was nicht nur das Gewicht des Lagerbereichs selbst reduziert, sondern auch die Kontaktfläche mit dem Wafer reduziert, um Blockieren der Hitze zu vermeiden. Gleichzeitig kann es auch die Stabilität des Wafers während der Übertragung gewährleisten und verhindern, dass der Wafer herunterfällt.

Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid:

Während des Produktionsprozesses muss jedes SIC -Paddel aus Siliziumkarbid (SIC) strengen Qualitätsinspektionen unterzogen werden, einschließlich der Inspektion der dimensionalen Genauigkeit, Erscheinungsinspektion, physikalische Immobilientests, Tests für chemische Stabilität usw., um sicherzustellen, dass das Produkt qualitativ hochwertige Standards erfüllt und erfüllen kann Die strengen Anforderungen an die Verarbeitung der Halbleiter -Wafer.

Es Halbleiterbietet eine umfassende Palette an After-Sales-Services. Sollten Kunden während des Gebrauchs auf Probleme stoßen, wird das professionelle After-Sales-Team zeitnah reagieren und den Kunden schnelle und effektive Lösungen anbieten, um sicherzustellen, dass die Produktion der Kunden nicht beeinträchtigt wird.

Es HalbleiterHochreinheit Sic Cantilever Paddle Production Shops: