Silizium -Carbide -Waferboot

Das Vetekemicon SIC-Waferboot ist ein Kernträger, das speziell für Hochtemperatur-Halbleiterprozesse entwickelt wurde. Unter Verwendung von hoher Purity-Graphit als Substrat isostatisch gepresstes Graphit verwendet, wird dieses Produkt eine patentierte chemische Dampfabscheidungstechnologie verwendet, um eine dichte, nicht-poröse Siliziumcarbid-Schutzschicht auf der Oberfläche zu bilden.

Diese Schicht kombiniert nahtlos die hervorragende thermische Leitfähigkeit von Graphit mit der außergewöhnlichen Korrosionsbeständigkeit von Siliziumkarbid. Die streng kontrollierte Beschichtung erreicht eine Dicke von 80-120 μm, was der Korrosion aus verschiedenen sauren und alkalischen Atmosphären effektiv widerspricht und das Risiko einer Metallkontamination signifikant verringert. Es hält die strukturelle Stabilität und dimensionale Integrität auch in Hochtemperaturumgebungen aufrecht, wodurch Waffeln während kritischer Prozesse wie Oxidation, Diffusion und epitaxielles Wachstum zuverlässiger Schutz und Unterstützung bieten und die Waferlebensdauer effektiv um mehr als das Dreifache der herkömmlichen Graphitboote verlängern.

Ⅰ. Technische Parameter

Ⅱ. Vetekemicon SIC Wafer Boat Kernvorteile

• Hervorragende Korrosionsbeständigkeit

Die SIC-Beschichtung auf dem Vetekememicon-Waferboot wird unter Verwendung unseres proprietären Hochtemperatur-CVD-Verfahrens abgelagert, was zu einer dichten, einheitlichen Struktur führt, die vollständig frei von Poren und Rissen ist. Diese feste Barriere isoliert die Wafer effektiv aus der Ofenumgebung. Starke oxidierende Atmosphären, fluorierte Verbindungen und andere ätzende Gase sind für diese Schutzschicht undurchlässig. Dies bedeutet, dass Ihre Wafer vor Kontaminationen geschützt sind, während das Boot selbst durch wiederholte extreme Prozesse intakt bleibt und seine Lebensdauer erheblich verlängert.

• Ultrahohe Reinheitsmaterialien

Wir verstehen, dass selbst die geringste Kontamination eine ganze Reihe von Wafern nutzlos machen kann. Daher kontrolliert Vetekememon Rohstoffe rigoros, wobei importiert isostatisch gepresstes Graphit mit einer Reinheit von mehr als 99,9995% als Substrat verwendet wird. Die auf diesem Substrat abgelagerte SIC -Beschichtung erreicht auch 99,999% Reinheit, wobei kritische Verunreinigungen wie Natrium, Kalium, Eisen und Schwermetalle auf extrem niedrige Werte gehalten werden (PPB). Diese nahezu intrinsische Reinheit sorgt dafür, dass keine Verunreinigungen bei hohen Temperaturen freigesetzt werden, was das Risiko einer Verschlechterung der Geräteleistung aufgrund von Problemen im Zusammenhang mit Trägern grundsätzlich beseitigt.

• Ausgezeichnete thermische Stabilität

Die Semiconductor -Herstellung erfordert äußerst konsistente thermische Prozesse. Vetekemicon Wafer Boat des thermischen Expansions ist akribisch so konzipiert, dass sie dem von Siliziumwafern genau übereinstimmen. Während der schnellen Erhitze und Kühlung bewegen sich das Boot und das Wafer synchron, wodurch das Risiko für Gitterdefekte und das durch thermischen Belastung verursachte Verzerrung erheblich verringert wird. Es kann kontinuierliche Betriebstemperaturen bis zu 1600 ° C standhalten und selbst bei diesen hohen Temperaturen eine hervorragende mechanische Festigkeit und dimensionale Stabilität aufrechterhalten. Dies gewährleistet die Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit in jedem Prozesslauf und bildet eine solide Grundlage für die Toleranzkontrolle in der Chipherstellung.

• Langlebige mechanische Stärke

Der Wert unserer Produkte liegt nicht nur in der anfänglichen Investition, sondern auch in den langfristigen Eigentumskosten. Im Vergleich zu herkömmlichen Quarz- oder Graphitkomponenten bieten Vetekemicon SIC -Waferboote außergewöhnliche Verschleiß- und Schlagfestigkeit. Ihre hohe Oberflächenhärte widersetzt sich Kratzer und Schmutz während der Handhabung und Reinigung. Diese Zähigkeit ermöglicht es ihnen, über 200 Hochtemperaturzyklen und notwendige Reinigungsverfahren problemlos standzuhalten, wodurch die Beschaffungskosten, die Bestandskosten und die Ausfallzeit für Geräte im Zusammenhang mit dem häufigen Ersatz für Komponenten erheblich gesenkt werden.

• Überprüfung der ökologischen Kette

Die ökologische Kettenüberprüfung von Vetekemicon Sic Wafer Boat deckt Rohstoffe für die Produktion ab, hat eine internationale Standardzertifizierung bestanden und verfügt über eine Reihe patentierter Technologien, um die Zuverlässigkeit und Nachhaltigkeit im Halbleiter und in den neuen Energiefeldern zu gewährleisten.

Ⅲ. Hauptantragsfelder

Für detaillierte technische Spezifikationen, weiße Papiere oder Beispiel -Testvereinbarungen wenden Sie sich bitte an unser technisches Support -Team, um zu untersuchen, wie Vetekememon Ihre Prozesseffizienz verbessern kann.

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