TAC -Beschichtung Subser

Vetek Semiconductor's TAC Coated Susceptor undTAC beschichtetRingArbeiten Sie zusammen im LPE -Silizium -Carbid -epitaxialen Wachstumsreaktor:

● Hochtemperaturwiderstand: DerTAC -BeschichtungSUPPECTOR hat einen hervorragenden Hochtemperaturbeständigkeit, der den extremen Temperaturen bis zu 1500 ° C in der standhalten kannLPE -Reaktor. Dies stellt sicher, dass die Geräte und Komponenten während des langfristigen Betriebs nicht verformen oder beschädigt werden.

● Chemische Stabilität: Der TAC -Beschichtungs -Empfängnis setzt in der korrosiven Siliziumkarbidwachstumsumgebung außergewöhnlich gut ab und schützt die Reaktorkomponenten effektiv vor korrosiven chemischen Angriffen und erweitert damit ihre Lebensdauer.

● Wärmestabilität: Der TAC-Beschichtungs-Empfängnis hat eine gute thermische Stabilität, wodurch die Oberflächenmorphologie und Rauheit aufrechterhalten wird, um die Gleichmäßigkeit des Temperaturfeldes im Reaktor zu gewährleisten, was für das qualitativ hochwertige Wachstum der epitaxialen Siliziumcarbid-Epitaxien von Vorteil ist.

● Antikontamination: Die glatte TAC -beschichtete Oberfläche und die überlegene TPD -Leistung (Temperaturprogrammierte Desorption) können die Akkumulation und Adsorption von Partikeln und Verunreinigungen innerhalb des Reaktors minimieren, wodurch die Kontamination der epitaxialen Schichten verhindert wird.

Zusammenfassend spielen der TAC-beschichtete Suszeptor und der Ring eine kritische Schutzrolle im LPE-Silizium-Carbid-Epitaxialwachstumsreaktor, um den langfristigen stabilen Betrieb der Ausrüstung und das qualitativ hochwertige Wachstum der Epitaxialschichten zu gewährleisten.