UV -LED -EPI -Subjektor

Der UV-LED-Epi-Suszeptor von VeTek Semiconductor besteht normalerweise aus Materialien wie Siliziumkarbid (SiC) oder Graphit und verfügt normalerweise über eine spezielle Beschichtung, um seine Leistung unter Hochtemperaturbedingungen zu verbessern.

Während des Epitaxieprozesses im tiefen Ultraviolett (DUV) kann die hervorragende Wärmeleitfähigkeit des UV-LED-Epi-Suszeptors eine gleichmäßige Wärmeverteilung auf der Substratoberfläche gewährleisten, was für das Erreichen eines gleichmäßigen Wachstums der Epitaxieschicht unerlässlich ist. Und eine gleichmäßige Erwärmung trägt dazu bei, die Qualität und Konsistenz der UV-LED-Schicht aufrechtzuerhalten.

Gleichzeitig kann der UV -LED -EPI -Anfänger während des epitaxialen Wachstumsprozesses das Substrat wie den Wafer fest reparieren, wodurch die Genauigkeit und Stabilität der Substratposition während des Abscheidungsprozesses sichergestellt wird. In Kombination mit dem hervorragenden chemischen Widerstand von Siliziumkarbid- oder beschichteten Graphitanpfängern schützt es sowohl das Substrat als auch den Suszeptor selbst. Daher ist UV -LED -EPI -SUPPTOR eine unverzichtbare Schlüsselkomponente im Halbleiter -Epitaxialwachstumsprozess.

Vetek Semiconducto unterstützt als Branchenführer in UV -LED -EPI -SUPTOR -Produkten immer Produktanpassungsdienste und zufriedenstellende Produktpreise. Unabhängig von Ihren spezifischen Anforderungen entsprechen wir die beste Lösung für Ihre Bedürfnisse und freuen uns jederzeit auf Ihre Beratung.

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