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Wafer Chuck
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Wafer Chuck

Wafer Chunk Ein Waferklemmwerkzeug im Halbleiterprozess und wird in PVD-, CVD-, Ätz- und anderen Prozess häufig verwendet. Mit interner Fertigung, wettbewerbsfähiger Preise und robuster F & E-Unterstützung übertrifft Vetek Semiconductor in OEM/ODM-Diensten für Präzisionskomponenten.

Als professioneller Hersteller möchte Vetek Semiconductor Ihnen sic beschichtete Wafer -Chuck zur Verfügung stellen.

Vetek Semiconductor hält die ISO9001 -Zertifizierung über die Entwicklung und Herstellung einer breiten Palette von Komponenten für Halbleitergeräte ab. Diese Komponenten umfassen Prozessgeräte, Abscheidungsgeräte, Inspektionsgeräte, Halbleiter -Wafer -Chucks, Durchflussmesser, Kammern, Druckhärtungssysteme wie Platten, Blöcke, Wellen, Rollen usw. 5. Als Partner von Aixtron, Veeco (die weltweit besten zehn Ausrüstungshersteller), Vetek Semiconductor bietet Semiconductor -Präzisionskomponenten für Top -Halbleitergerätehersteller in den USA, dem weltweit größten Halbleitermarkt.

Das Wafer-Chuck von Vetek Semiconductor ist eine phasengesteuerte Komponente der Wafer-Endinspektionsausrüstung in Prozessanlagen für die Halbleiter-Wafer-Produktion. Durch das systematische Qualitätskontroll- und Inspektionssystem wird eine schnelle, qualitativ hochwertige und wettbewerbsfähige Produktion erreicht. Die Kostenoptimierung wird durch die strategische Integration unserer Produktionsinfrastruktur und Partnerschaften mit nationalen und internationalen Spezialherstellern für Materialien, Komponenten, Module und Geräte erreicht.

Die Halbleiter-Wafer-Chucks von Vetek Semiconductor werden in Wafer-Erkennungsgeräten eingesetzt. Dabei werden hochpräzise Bearbeitungsmethoden und Designtechnologien eingesetzt, um sicherzustellen, dass die Ebenheit des Vakuum-Wafer-Chucks unter 3 μm liegt. Dieser sorgfältige Ansatz garantiert eine hervorragende Leistung und Genauigkeit bei der Waferinspektion.

Vetek Semiconductor Core Advantage:

1. Herstellung in unserer eigenen Fabrik

2. Direkter Produktion/Vertrieb zu ehrlichen Preisen.

3. Das interne Forschungs- und Entwicklungszentrum bietet Qualitätsverbesserung und Entwicklungsunterstützung und beteiligt sich aktiv an unternehmensweiten und nationalen Forschungsunterstützungsprojekten zur Teilelokalisierung.

4. OEM/ODM


Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD -sic -Beschichtung:

CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE

Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD -sic -Beschichtung
Eigentum Typischer Wert
Kristallstruktur Polykristalline FCC -β -Phasen -FCC -β -Phase, hauptsächlich (111) orientiert
Dichte 3,21 g/cm³
Härte 2500 Vickers Härte (500 g Last)
Körnung 2 ~ 10 mm
Chemische Reinheit 99,99995%
Wärmekapazität 640 J · kg-1· K-1
Sublimationstemperatur 2700 ℃
Biegefestigkeit 415 MPa RT 4-Punkt
Elastizitätsmodul 430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Wärmeleitfähigkeit 300W · m-1· K-1
Wärmeausdehnung (CTE) 4,5 × 10-6K-1


Produktionsläden:

VeTek Semiconductor Production Shop


Überblick über die Industriekette der Halbleiterchip-Epitaxie:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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