Graphitheizung heißer Zone

Vetek Semiconductor Hot Zone Graphitheizungen sind so ausgelegt, dass sie die extremen Bedingungen in Hochtemperaturöfen befinden. Die Heizungen sind in der Lage, den harten Umgebungen zu widerstehen, die üblicherweise in der Hochtemperaturverarbeitung enthalten sind, abhängig von den nachstehend aufgeführten spezifischen Produktmerkmalen.

● gleichmäßige Temperaturverteilung

Die Graphitheizung von Hot Zone ist aufgrund seiner perfekten Kombination aus hochpräziser Materialauswahl und Präzisionsverarbeitungstechnologie für seine hervorragenden einheitlichen Heizeigenschaften bekannt. Eine solche Gleichmäßigkeit sorgt für eine reibungslose Verteilung der Temperatur über die gesamte Heizfläche, wodurch die ungleichmäßige Waferverarbeitung aufgrund thermischer Gradienten effektiv verringert wird, wodurch die Konsistenz der Produktausbeute und der Leistung der Geräte verbessert wird.

● Hervorragende Korrosionsbeständigkeit

Die Graphitheizung für die heiße Zone zeigt eine starke Resistenz gegen verschiedene korrosive Gase und Chemikalien, die bei hochtemperaturen Halbleiterherstellungsverfahren auftreten. Die natürliche Inertheit von Graphitmaterialien ermöglicht es Graphitheizungen, die langfristige Stabilität in harten Umgebungen aufrechtzuerhalten und das Risiko einer Kontamination erheblich zu verringern und die Lebensdauer der Geräte zu verlängern.

● Hervorragende Antioxidationsleistung

Im Vergleich zu herkömmlichen Graphitmaterialien verfügt die Graphitheizung von Heißzonen bei hohen Temperaturen immer noch ausgezeichnete Antioxidationsfähigkeit. Dieses Merkmal ist entscheidend, um die oxidative Verschlechterung der Heizungsoberfläche während der Hochtemperaturverarbeitung zu verhindern und die Erzeugung der Partikelverunreinigung in der Verarbeitungskammer zu vermeiden, um den anhaltenden effizienten Betrieb der Geräte zu gewährleisten.

● Ultrahohe chemische Reinheit

Nach der strengen Verarbeitung hat unsere Graphitheizung ein extrem hohes Maß an chemischer Reinheit erreicht, was die Einführung schädlicher Verunreinigungen in die Umgebung zur Verarbeitungsumgebung der Halbleiter effektiv verhindert. Diese Reinheit ist entscheidend für den Schutz der Integrität von Präzisions -Halbleitermaterialien und der Herstellung von Geräten, die die erwarteten elektrischen und optischen Eigenschaften erfüllen.

● hohe mechanische Festigkeit und Stabilität

Die Graphitheizung von Vetekemicon hat eine ausgezeichnete mechanische Festigkeit und dimensionale Stabilität und hält die strukturelle Integrität auch unter Betriebsbedingungen mit hoher Temperatur aufrechterhalten. Egal, ob Sie häufige thermische Zyklen oder starke mechanische Spannung stehen, Graphitheizungen für die Heißzone halten ihre Robustheit und bieten eine solide und zuverlässige Unterstützung für harte Umgebungen zur Verarbeitung von Halbleiter.

Außerdem bietet Vetekememon auch eine Vielzahl von benutzerdefinierten Größen und Konfigurationen von Graphitheizungen an, um den Anforderungen verschiedener Halbleiterherstellungsprozesse zu erfüllen. Wir hoffen aufrichtig, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.