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Sic Diffusionsofenrohr
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Sic Diffusionsofenrohr

Als führender Hersteller und Lieferant von Diffusionsofenausrüstung in China weist Vetek Semiconductor SIC-Diffusionsofen-Rohr eine signifikant hohe Biegefestigkeit, eine hervorragende Resistenz gegen Oxidation, Korrosionsbeständigkeit, hohe Verschleißfestigkeit und hervorragende mechanische Eigenschaften mit hoher Temperatur auf. Es ist ein unverzichtbares Gerätematerial in Diffusionsofenanwendungen. Vetek Semiconductor ist verpflichtet, hochwertige SIC-Diffusionsofenofen herzustellen und zu liefern, und begrüßt Ihre weiteren Anfragen.


Working Schematic Diagram of SiC Diffusion Furnace Tube

Arbeitsschema -Diagramm des SIC -Diffusionsofenrohrs


Vetek Semiconductor SIC Diffusion Ofen -Rohr hat die folgenden Produktvorteile:


Hervorragende mechanische Eigenschaften mit hoher Temperatur: SIC -Diffusionsofenrohr hat die besten mechanischen Eigenschaften der hohen Temperaturen von bekannter Keramikmaterial, einschließlich ausgezeichneter Festigkeit und Kriechwiderstand. Dies macht es besonders für Anwendungen geeignet, die eine langfristige Stabilität bei hohen Temperaturen erfordern.


Ausgezeichnete Oxidationsresistenz: Die sic-Diffusionsofenrohr von Vetek Semiconductor hat eine hervorragende Oxidationsbeständigkeit, die beste aller Nicht-Oxid-Keramik. Diese Eigenschaft sorgt für eine langfristige Stabilität und Leistung in Hochtemperaturumgebungen, wodurch das Risiko eines Abbaus verringert und die Lebensdauer des Rohrs verlängert wird.


● hohe Biegerstärke: Veteksemi SIC -Diffusionsofen -Rohr hat eine Biegefestigkeit von über 200 MPa, die unter den für die Herstellung von Halbleiter typischen hohen Stressbedingungen, die für die Herstellung von Halbleiter typisch sind, hervorragende mechanische Eigenschaften und strukturelle Integrität gewährleistet.


● Ausgezeichneter Korrosionswiderstande: Die chemische Inertheit des SIC -Ofenrohrs sorgt für eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit, wodurch diese Röhrchen ideal für die Verwendung in den harten chemischen Umgebungen, die häufig in der Halbleiterverarbeitung auftreten.


● Widerstand mit hoher Verschleiß: SiC -Rohröfen haben einen starken Verschleißfestigkeit, was für die Aufrechterhaltung der dimensionalen Stabilität und zur Verringerung der Wartungsanforderungen bei längeren Zeiträumen unter abrasiven Bedingungen unerlässlich ist.


● Mit CVD -Beschichtung: Vetek Semiconductor Chemische Dampfabscheidung (CVD) SIC -Beschichtung hat ein Reinheitspegel von mehr als 99,9995%, Verunreinigungsgehalt von weniger als 5 ppm und schädliche Verunreinigungen von Metall von weniger als 1 ppm. Das CVD-Beschichtungsprozess stellt sicher, dass das Röhrchen den strengen Vakuum-Enge-Anforderungen von 2-3 Torr erfüllt, was für die Herstellung von Halbleiter-Umgebungen mit hoher Präzision von entscheidender Bedeutung ist.


● Anwendung in Diffusionsöfen: Diese SIC-Röhrchen sind für Halbleiterdiffusionsöfen ausgelegt, bei denen sie eine Schlüsselrolle bei Hochtemperaturprozessen wie Doping und Oxidation spielen. Ihre fortschrittlichen Materialeigenschaften stellen sicher, dass sie den harten Bedingungen dieser Prozesse standhalten und so die Effizienz und Zuverlässigkeit der Halbleiterproduktion verbessern können.


Vetek Semiconductor ist seit langem für die Bereitstellung fortschrittlicher Technologie- und Produktlösungen für die Halbleiterindustrie verpflichtet und unterstützt professionelle maßgeschneiderte Dienstleistungen. Wenn Sie die sic -Diffusionsofenrohr von Vetek Semiconductor entscheiden, erhalten Sie ein Produkt mit hervorragender Leistung und hoher Zuverlässigkeit, um die verschiedenen Bedürfnisse der modernen Halbleiterherstellung zu erfüllen. Wir hoffen aufrichtig, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.


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