TAC -Beschichtung Sockelstützplatte

Vetek Semiconductor ist China Hersteller und Lieferant, der hauptsächlich CVD -TAC -Beschichtungsempfangen, Inlet -Ring, Wafer Chunck, TAC -beschichteter Inhaber, TAC -Beschichtungs -Sockelunterstützungsplatte mit langjähriger Erfahrung produziert. Ich hoffe, die Geschäftsbeziehung mit Ihnen aufzubauen.

TAC -Keramik hat einen Schmelzpunkt von bis zu 3880 °, hohe Härte (MOHS -Härte 9 ~ 10), große thermische Leitfähigkeit (22W · m)^-1· K^–1), große Biegefestigkeit (340 ~ 400 mPa) und kleiner Wärmeleiterkoeffizienten (6,6 × 10^–6K^–1) und zeigen hervorragende thermochemische Stabilität und ausgezeichnete physikalische Eigenschaften. Es verfügt über eine gute chemische und mechanische Kompatibilität mit Graphit- und C/C -Verbundwerkstoffen, sodass die TAC -Beschichtung im Luft- und Raumfahrtschutz, im Einzelkristallwachstum und im epitaxialen Reaktoren wie Aixtron, LPE -EPI -Reaktor in der Halbleiterindustrie häufig verwendet wird. 

TaC coated graphite has better chemical corrosion resistance than bare stone ink or SiC coated graphite, can be used stably at 2200° high temperature, does not react with many metal elements, is the third generation of semiconductor single crystal growth, epitaxy and wafer etching scene of the best performance coating, can significantly improve the process of temperature and impurity control, Preparation of high quality silicon carbide wafers and related epitaxial Wafer. Es eignet sich besonders zum Anbau von GaN- oder ALN -Einzelkristall in MOCVD -Geräten und sic -Einzelkristall in PVT -Geräten, und die Qualität des gewachsenen Einkristalls wird offensichtlich verbessert.