TAC -Beschichtung Ersatzteil

Es HalbleiterTAC -Beschichtungsplatteist ein spezielles Material, das in der weit verbreitet istHalbleiterHerstellungsprozess. In Kombination mit hoher Härte und Verschleißfestigkeit, hoher Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, niedrigem Reibungskoeffizienten und guter thermischer Leitfähigkeit spielt die TAC -Beschichtungsplatte eine unersetzliche Rolle in vielen Verbindungen der Halbleiterverarbeitung.

Im Allgemeinen die Anwendungen vonTAC -beschichtete PlattenIn der Semiconductor -Verarbeitung sind wie folgt:

● CVD/ALD -Wachstumssubstrat: Die hohe Temperaturbeständigkeit, die chemische Stabilität und der niedrige Reibungskoeffizient von TAC -beschichteten Platten machen sie ideale CVD/ALD -Wachstumssubstrate. Es kann ein stabiles Wachstumsumfeld bieten, um die Gleichmäßigkeit und Dichte des Films zu gewährleisten.

●  Ätzmaskenplatte: Die hohe Härte und Korrosionsbeständigkeit von TAC-beschichteten Platten ermöglichen es ihnen, energiereiche Prozesse wie Plasma-Ätzen standzuhalten, als Ätzmaskenplatten, der den zugrunde liegenden Film schützt.

●  CMP Polishing Pad: Der Verschleißfestigkeit und der niedrige Reibungskoeffizient von TAC -beschichteten Platten machen sie ideale Materialien für CMP -Polierpads, die Partikel und Defekte auf der Oberfläche des Films effektiv entfernen können.

●  Hochtemperaturofenofenrohr: Die hohe Temperaturwiderstand und Korrosionsbeständigkeit von TAC -beschichteten Platten ermöglichen es ihnen, als Ofenrohre in Hochtemperaturöfen für Hochtemperaturanzügen, Diffusion und andere Prozesse verwendet zu werden.

CVD TAC -Beschichtung Technische Parameter：

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