Tantalcarbid-Beschichtung

VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller von Tantalcarbid-Beschichtungsmaterialien für die Halbleiterindustrie. Zu unserem Hauptproduktangebot gehören CVD-Tantalcarbid-Beschichtungsteile, gesinterte TaC-Beschichtungsteile für das SiC-Kristallwachstum oder den Halbleiterepitaxieprozess. VeTek Semiconductor hat ISO9001 bestanden und verfügt über eine gute Qualitätskontrolle. VeTek Semiconductor ist bestrebt, durch kontinuierliche Forschung und Entwicklung iterativer Technologien zum Innovator in der Tantalcarbid-Beschichtungsindustrie zu werden.

Die Hauptprodukte sindTaC-beschichteter Führungsring, CVD-TaC-beschichteter dreiblättriger Führungsring, Tantalkarbid-TaC-beschichteter Halbmond, CVD-TaC-beschichteter planetarischer epitaktischer SiC-Suszeptor, Tantalkarbid-Beschichtungsring, Mit Tantalkarbid beschichteter poröser Graphit, Rotationssuszeptor mit TaC-Beschichtung, Tantal-Karbid-Ring, Rotationsplatte mit TaC-Beschichtung, TaC-beschichteter Wafer-Suszeptor, TaC-beschichteter Deflektorring, CVD-TaC-Beschichtungsabdeckung, TaC-beschichtetes Spannfutterusw., die Reinheit liegt unter 5 ppm, kann die Kundenanforderungen erfüllen.

TaC-Beschichtungsgraphit wird hergestellt, indem die Oberfläche eines hochreinen Graphitsubstrats mit einer feinen Schicht Tantalkarbid durch ein proprietäres chemisches Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD) beschichtet wird. Der Vorteil ist im folgenden Bild dargestellt:

Excellent properties of TaC coating graphite

Die Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung hat aufgrund ihres hohen Schmelzpunkts von bis zu 3880 °C, ihrer hervorragenden mechanischen Festigkeit, Härte und Beständigkeit gegen Thermoschocks Aufmerksamkeit erregt, was sie zu einer attraktiven Alternative zu Epitaxieprozessen für Verbindungshalbleiter mit höheren Temperaturanforderungen macht. wie das Aixtron MOCVD-System und der LPE-SiC-Epitaxieprozess. Es findet auch eine breite Anwendung im SiC-Kristallwachstumsprozess mit der PVT-Methode.

Hauptmerkmale:

●Temperaturstabilität

●Ultrahohe Reinheit

●Beständigkeit gegen H2, NH3, SiH4, Si

●Beständigkeit gegen thermische Bestände

●Starke Haftung auf Graphit

●Schutzbeschichtung

● Größe bis 750 mm Durchmesser (Der einzige Hersteller in China erreicht diese Größe)

Anwendungen:

●Waffelträger

● Induktiver Heizsuszeptor

● Widerstandsheizelement

●Satellitenscheibe

●Duschkopf

●Führungsring

●LED-Epi-Empfänger

●Einspritzdüse

●Abdeckring

● Hitzeschild

Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung auf einem mikroskopischen Querschnitt:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter der VeTek Semiconductor Tantalcarbid-Beschichtung:

Physikalische Eigenschaften der TaC-Beschichtung
Dichte	14,3 (g/cm³)
Spezifischer Emissionsgrad	0.3
Wärmeausdehnungskoeffizient	6,3 10^-6/K
Härte (HK)	2000 HK
Widerstand	1×10^-5Ohm*cm
Thermische Stabilität	<2500℃
Graphitgrößenänderungen	-10~-20um
Beschichtungsdicke	≥20um typischer Wert (35um±10um)

TaC-Beschichtung EDX-Daten：

EDX data of TaC coating

Kristallstrukturdaten der TaC-Beschichtung:

Element	Atomprozent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Durchschnitt
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ihnen	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-Beschichtungsfutter TaC-beschichtete Planetenscheibe
TaC-beschichtete Platte Rotationsplatte mit TaC-Beschichtung TaC-Beschichtungsempfänger Abdeckung mit CVD-TaC-Beschichtung CVD-TaC-Beschichtungsring TaC-Beschichtungsplatte

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TaC-Beschichtungsring

TAC-Beschichtungsring ist eine Hochleistungskomponente, die für die Verwendung in Halbleiterprozessen entwickelt wurde, der Vetek-Halbleiter-TAC-Beschichtungsring hat eine hohe thermische Stabilität, eine Resistenz gegen chemische Korrosion und eine hervorragende mechanische Festigkeit und wird spezifisch verwendet, um SIC-Wafer während des Urssprozesses zu halten und zu stützen Wo genaue Kontrolle und Haltbarkeit für die Erreichung von Wafern von qualitativ hochwertigem Waffeln wesentlich sind. Wir freuen uns auf Ihre weitere Beratung.

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TAC -Beschichtung Tiegel

Als professioneller Tac Coating Crucible -Lieferant und Hersteller in China spielt der Tac -Tiegel von Vetek Semiconductor eine unersetzliche Rolle beim Einzelkristallwachstumsprozess von Halbleitern mit hervorragender thermischer Leitfähigkeit, ausstehender chemischer Stabilität und verstärkter Korrosionsbeständigkeit. Begrüßen Sie Ihre weiteren Anfragen.

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Mit Tantalkarbid beschichteter Führungsring

Als Lieferant und Hersteller von China führender TAC -Beschichtungsanleitung ist der Vetek -Halbleiter -Tantal -Carbid -Guide -Leitring eine wichtige Komponente, mit der der Fluss von reaktiven Gasen in der PVT -Methode (Physical Dampftransport) geführt und optimiert wird. Es fördert die gleichmäßige Ablagerung von sic -Einzelkristallen in der Wachstumszone, indem es die Verteilung und Geschwindigkeit des Gasflusss einstellt. Vetek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Lieferant von TAC -Beschichtungsleitfaden in China und sogar in der Welt, und wir freuen uns auf Ihre Beratung.

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Poröser Graphit mit Tantal -Carbidbeschichtet

Poröser Graphit mit Tantal -Carbid ist ein unverzichtbares Produkt im Halbleiterverarbeitungsprozess, insbesondere im SIC -Kristallwachstumsprozess. Nach kontinuierlichen F & E -Investitions- und Technologie -Upgrades hat Vetek Semiconductors TAC Coated Porous Graphit -Produktqualität von europäischen und amerikanischen Kunden ein hohes Lob gewonnen. Willkommen zu Ihrer weiteren Beratung.

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CVD TAC -Beschichtung Planetary sic epitaxiale Suszeptor

CVD TAC Coating Planetary SIC epitaxiale Suszeptor ist eine der Kernkomponenten des MOCVD -Planetenreaktors. Durch CVD-TAC-Beschichtung planetarische sic-epitaxiale Senszene dreht sich die großen Scheibenbahnen und die kleinen Scheiben -Chip-Maschinen und die Produktionskostenvorteile von Multi-Chip-Maschinen. Vetek Semiconductor kann den Kunden mit hochmobilem CVD-TAC-Beschichtungs-Planetary SIC-Epitaxial-Suszeptor bieten. Wenn Sie auch einen Planeten -Mocvd -Ofen wie Aixtron erstellen möchten, kommen Sie zu uns!

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TAC -beschichteter Ring

Als führender Hersteller und Lieferant von TAC -beschichteten Ringprodukten in China hat sich Vetek Semiconductor auf die F & E und die Produktion verschiedener TAC -Beschichtungsprodukte konzentriert. Als Hauptkunden von TAC -Beschichtungsprodukten haben europäische und amerikanische Hersteller unsere Beschichtungsprodukte hohe Lob gelobt. Willkommen zu Ihrer weiteren Beratung.

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Als professioneller Hersteller und Lieferant in China haben wir unsere eigene Fabrik. Unabhängig davon, ob Sie maßgeschneiderte Dienste benötigen, um die spezifischen Bedürfnisse Ihrer Region zu erfüllen oder erweiterte und langlebige Tantalcarbid-Beschichtung in China hergestellt zu werden, können Sie uns eine Nachricht hinterlassen.

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Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung auf einem mikroskopischen Querschnitt:

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