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Tantalcarbid-Beschichtung

VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller von Tantalcarbid-Beschichtungsmaterialien für die Halbleiterindustrie. Zu unserem Hauptproduktangebot gehören CVD-Tantalcarbid-Beschichtungsteile, gesinterte TaC-Beschichtungsteile für das SiC-Kristallwachstum oder den Halbleiterepitaxieprozess. VeTek Semiconductor hat ISO9001 bestanden und verfügt über eine gute Qualitätskontrolle. VeTek Semiconductor ist bestrebt, durch kontinuierliche Forschung und Entwicklung iterativer Technologien zum Innovator in der Tantalcarbid-Beschichtungsindustrie zu werden.


Die Hauptprodukte sindTaC-beschichteter Führungsring, CVD-TaC-beschichteter dreiblättriger Führungsring, Tantalkarbid-TaC-beschichteter Halbmond, CVD-TaC-beschichteter planetarischer epitaktischer SiC-Suszeptor, Tantalkarbid-Beschichtungsring, Mit Tantalkarbid beschichteter poröser Graphit, Rotationssuszeptor mit TaC-Beschichtung, Tantal-Karbid-Ring, Rotationsplatte mit TaC-Beschichtung, TaC-beschichteter Wafer-Suszeptor, TaC-beschichteter Deflektorring, CVD-TaC-Beschichtungsabdeckung, TaC-beschichtetes Spannfutterusw., die Reinheit liegt unter 5 ppm, kann die Kundenanforderungen erfüllen.


TaC-Beschichtungsgraphit wird hergestellt, indem die Oberfläche eines hochreinen Graphitsubstrats mit einer feinen Schicht Tantalkarbid durch ein proprietäres chemisches Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD) beschichtet wird. Der Vorteil ist im folgenden Bild dargestellt:


Excellent properties of TaC coating graphite


Die Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung hat aufgrund ihres hohen Schmelzpunkts von bis zu 3880 °C, ihrer hervorragenden mechanischen Festigkeit, Härte und Beständigkeit gegen Thermoschocks Aufmerksamkeit erregt, was sie zu einer attraktiven Alternative zu Epitaxieprozessen für Verbindungshalbleiter mit höheren Temperaturanforderungen macht. wie das Aixtron MOCVD-System und der LPE-SiC-Epitaxieprozess. Es findet auch eine breite Anwendung im SiC-Kristallwachstumsprozess mit der PVT-Methode.


Hauptmerkmale:

 ●Temperaturstabilität

 ●Ultrahohe Reinheit

 ●Beständigkeit gegen H2, NH3, SiH4, Si

 ●Beständigkeit gegen thermische Bestände

 ●Starke Haftung auf Graphit

 ●Schutzbeschichtung

 ● Größe bis 750 mm Durchmesser (Der einzige Hersteller in China erreicht diese Größe)


Anwendungen:

 ●Waffelträger

 ● Induktiver Heizsuszeptor

 ● Widerstandsheizelement

 ●Satellitenscheibe

 ●Duschkopf

 ●Führungsring

 ●LED-Epi-Empfänger

 ●Einspritzdüse

 ●Abdeckring

 ● Hitzeschild


Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung auf einem mikroskopischen Querschnitt:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter der VeTek Semiconductor Tantalcarbid-Beschichtung:

Physikalische Eigenschaften der TaC-Beschichtung
Dichte 14,3 (g/cm³)
Spezifischer Emissionsgrad 0.3
Wärmeausdehnungskoeffizient 6,3 10-6/K
Härte (HK) 2000 HK
Widerstand 1×10-5Ohm*cm
Thermische Stabilität <2500℃
Graphitgrößenänderungen -10~-20um
Beschichtungsdicke ≥20um typischer Wert (35um±10um)


TaC-Beschichtung EDX-Daten：

EDX data of TaC coating


Kristallstrukturdaten der TaC-Beschichtung:

Element Atomprozent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Durchschnitt
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
Ihnen 47.90 42.59 47.63 46.04


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Poröser Graphit mit Tantal -Carbidbeschichtet

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Poröser Graphit mit Tantal -Carbid ist ein unverzichtbares Produkt im Halbleiterverarbeitungsprozess, insbesondere im SIC -Kristallwachstumsprozess. Nach kontinuierlichen F & E -Investitions- und Technologie -Upgrades hat Vetek Semiconductors TAC Coated Porous Graphit -Produktqualität von europäischen und amerikanischen Kunden ein hohes Lob gewonnen. Willkommen zu Ihrer weiteren Beratung.
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CVD TAC -Beschichtung Planetary sic epitaxiale Suszeptor

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CVD TAC Coating Planetary SIC epitaxiale Suszeptor ist eine der Kernkomponenten des MOCVD -Planetenreaktors. Durch CVD-TAC-Beschichtung planetarische sic-epitaxiale Senszene dreht sich die großen Scheibenbahnen und die kleinen Scheiben -Chip-Maschinen und die Produktionskostenvorteile von Multi-Chip-Maschinen. Vetek Semiconductor kann den Kunden mit hochmobilem CVD-TAC-Beschichtungs-Planetary SIC-Epitaxial-Suszeptor bieten. Wenn Sie auch einen Planeten -Mocvd -Ofen wie Aixtron erstellen möchten, kommen Sie zu uns!
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TAC -beschichteter Ring

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Als führender Hersteller und Lieferant von TAC -beschichteten Ringprodukten in China hat sich Vetek Semiconductor auf die F & E und die Produktion verschiedener TAC -Beschichtungsprodukte konzentriert. Als Hauptkunden von TAC -Beschichtungsprodukten haben europäische und amerikanische Hersteller unsere Beschichtungsprodukte hohe Lob gelobt. Willkommen zu Ihrer weiteren Beratung.
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Gan Epitaxy Undertaker

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Vetek Semiconductor ist ein chinesisches Unternehmen, das ein Weltklasse-Hersteller und Lieferant von Gan Epitaxy Susceptor ist. Wir arbeiten seit langem in der Halbleiterindustrie wie Siliziumcarbidbeschichtungen und Gan Epitaxy Susceptor. Wir können Ihnen hervorragende Produkte und günstige Preise anbieten. Vetek Semiconductor freut sich darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden.
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TAC Coated Wafer Susceptor

TAC Coated Wafer Susceptor

Vetek Semiconductor TAC Coated Wafer Susceptor ist ein mit Tantal Carbid beschichtetes Graphit -Tablett für Siliziumkarbid -Epitaxialwachstum zur Verbesserung der Qualität und Leistung der Wafer. Vetek wird aufgrund seiner fortschrittlichen Beschichtungstechnologie und dauerhaften Lösungen ausgewählt, um hervorragende Ergebnisse für die SIC -Epitaxie und die längere Lebensdauer des Empfangens zu gewährleisten. Begrüßen Sie Ihre weiteren Anfragen.
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TAC -Beschichtungsanleitung Ringe

TAC -Beschichtungsanleitung Ringe

Als führender Hersteller von TAC -Beschichtungsleitfadenprodukten in China sind VETEK Semiconductor TAC -beschichtete Leitringe wichtige Komponenten in der MOCVD -Geräte, die eine genaue und stabile Gasabgabe während des epitaxialen Wachstums sicherstellen und ein unverzichtbares Material im Halbleiter -epitaxialen Wachstum sind. Willkommen, uns zu konsultieren.
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Als professioneller Hersteller und Lieferant in China haben wir unsere eigene Fabrik. Unabhängig davon, ob Sie maßgeschneiderte Dienste benötigen, um die spezifischen Bedürfnisse Ihrer Region zu erfüllen oder erweiterte und langlebige Tantalcarbid-Beschichtung in China hergestellt zu werden, können Sie uns eine Nachricht hinterlassen.
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