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Tantalcarbid-Beschichtung

VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller von Tantalcarbid-Beschichtungsmaterialien für die Halbleiterindustrie. Zu unserem Hauptproduktangebot gehören CVD-Tantalcarbid-Beschichtungsteile, gesinterte TaC-Beschichtungsteile für das SiC-Kristallwachstum oder den Halbleiterepitaxieprozess. VeTek Semiconductor hat ISO9001 bestanden und verfügt über eine gute Qualitätskontrolle. VeTek Semiconductor ist bestrebt, durch kontinuierliche Forschung und Entwicklung iterativer Technologien zum Innovator in der Tantalcarbid-Beschichtungsindustrie zu werden.


Die Hauptprodukte sindTaC-beschichteter Führungsring, CVD-TaC-beschichteter dreiblättriger Führungsring, Tantalkarbid-TaC-beschichteter Halbmond, CVD-TaC-beschichteter planetarischer epitaktischer SiC-Suszeptor, Tantalkarbid-Beschichtungsring, Mit Tantalkarbid beschichteter poröser Graphit, Rotationssuszeptor mit TaC-Beschichtung, Tantal-Karbid-Ring, Rotationsplatte mit TaC-Beschichtung, TaC-beschichteter Wafer-Suszeptor, TaC-beschichteter Deflektorring, CVD-TaC-Beschichtungsabdeckung, TaC-beschichtetes Spannfutterusw., die Reinheit liegt unter 5 ppm, kann die Kundenanforderungen erfüllen.


TaC-Beschichtungsgraphit wird hergestellt, indem die Oberfläche eines hochreinen Graphitsubstrats mit einer feinen Schicht Tantalkarbid durch ein proprietäres chemisches Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD) beschichtet wird. Der Vorteil ist im folgenden Bild dargestellt:


Excellent properties of TaC coating graphite


Die Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung hat aufgrund ihres hohen Schmelzpunkts von bis zu 3880 °C, ihrer hervorragenden mechanischen Festigkeit, Härte und Beständigkeit gegen Thermoschocks Aufmerksamkeit erregt, was sie zu einer attraktiven Alternative zu Epitaxieprozessen für Verbindungshalbleiter mit höheren Temperaturanforderungen macht. wie das Aixtron MOCVD-System und der LPE-SiC-Epitaxieprozess. Es findet auch eine breite Anwendung im SiC-Kristallwachstumsprozess mit der PVT-Methode.


Hauptmerkmale:

 ●Temperaturstabilität

 ●Ultrahohe Reinheit

 ●Beständigkeit gegen H2, NH3, SiH4, Si

 ●Beständigkeit gegen thermische Bestände

 ●Starke Haftung auf Graphit

 ●Schutzbeschichtung

 ● Größe bis 750 mm Durchmesser (Der einzige Hersteller in China erreicht diese Größe)


Anwendungen:

 ●Waffelträger

 ● Induktiver Heizsuszeptor

 ● Widerstandsheizelement

 ●Satellitenscheibe

 ●Duschkopf

 ●Führungsring

 ●LED-Epi-Empfänger

 ●Einspritzdüse

 ●Abdeckring

 ● Hitzeschild


Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung auf einem mikroskopischen Querschnitt:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter der VeTek Semiconductor Tantalcarbid-Beschichtung:

Physikalische Eigenschaften der TaC-Beschichtung
Dichte 14,3 (g/cm³)
Spezifischer Emissionsgrad 0.3
Wärmeausdehnungskoeffizient 6,3 10-6/K
Härte (HK) 2000 HK
Widerstand 1×10-5Ohm*cm
Thermische Stabilität <2500℃
Graphitgrößenänderungen -10~-20um
Beschichtungsdicke ≥20um typischer Wert (35um±10um)


TaC-Beschichtung EDX-Daten：

EDX data of TaC coating


Kristallstrukturdaten der TaC-Beschichtung:

Element Atomprozent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Durchschnitt
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
Ihnen 47.90 42.59 47.63 46.04


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TAC -Beschichtungsrotationssuszeptor

TAC -Beschichtungsrotationssuszeptor

Als professioneller Hersteller, Innovator und Leiter der TAC -Beschichtung Rotations -Suszeptorprodukte in China. Der Vetek -Halbleiter -TAC -Beschichtungsrotationssuszeptor wird normalerweise in der chemischen Dampfabscheidung (CVD) und der MBE -Ausrüstung (Molekularstrahlpitaxie) installiert, um Wafer zu stützen und zu drehen, um eine gleichmäßige Materialablagerung und eine effiziente Reaktion zu gewährleisten. Es ist eine Schlüsselkomponente in der Halbleiterverarbeitung. Begrüßen Sie Ihre weitere Beratung.
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CVD TAC -Beschichtungs Tiegel

CVD TAC -Beschichtungs Tiegel

Vetek Semiconductor ist ein professioneller Hersteller und Leiter von CVD TAC Coating Crucible -Produkten in China. CVD -TAC -Beschichtungs Crucible basiert auf einer TAC -Beschichtung mit Tantal Carbon (TAC). Die Tantal -Kohlenstoffbeschichtung ist gleichmäßig auf der Oberfläche des Tiegels durch chemische Dampfabscheidung (CVD) bedeckt, um seine Wärmebeständigkeit und Korrosionsbeständigkeit zu verbessern. Es handelt sich um ein materielles Werkzeug, das speziell in extremen Umgebungen mit hohen Temperaturen verwendet wird. Begrüßen Sie Ihre weitere Beratung.
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CVD TAC -Beschichtungswaferträger

CVD TAC -Beschichtungswaferträger

Als professioneller Produkthersteller und Fabrik von CVD TAC -Beschichtung Wafer Carrier und Fabrik in China ist Vetek Semiconductor CVD TAC Coating Wafer Carrier ein Waffeltriebwerkzeug, das speziell für Hochtemperatur- und korrosive Umgebungen in der Herstellung von Halbleiter ausgelegt ist. und CVD-TAC-Beschichtungswaferträger hat eine hohe mechanische Festigkeit, eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit und die thermische Stabilität, die die erforderliche Garantie für die Herstellung hochwertiger Halbleitergeräte bietet. Ihre weiteren Anfragen sind willkommen.
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TaC-Beschichtungsheizung

TaC-Beschichtungsheizung

Die Vetek -Halbleiter -TAC -Beschichtungsheizung hat einen extrem hohen Schmelzpunkt (ca. 3880 ° C). Der hohe Schmelzpunkt ermöglicht es ihm, bei extrem hohen Temperaturen zu funktionieren, insbesondere beim Wachstum von Galliumnitrid (GaN) -Planienschichten im Prozess der organischen chemischen Dampfablagerung (MOCVD). Vetek Semiconductor setzt sich dafür ein, Kunden maßgeschneiderte Produktlösungen zu bieten. Wir freuen uns darauf, von Ihnen zu hören.
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CVD-TAC-Beschichtung

CVD-TAC-Beschichtung

Vetek Semiconductor ist der führende China -Hersteller von CVD -TAC -Beschichtungsprodukten. Seit vielen Jahren konzentrieren wir uns auf verschiedene CVD -TAC -Beschichtungsprodukte wie CVD -TAC -Beschichtungsabdeckung und CVD -TAC -Beschichtungsring. Vetek Semiconductor unterstützt maßgeschneiderte Produktdienste und zufriedenstellende Produktpreise und freut sich auf Ihre weitere Beratung.
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TAC beschichtetes Chuck

TAC beschichtetes Chuck

Mit seiner Hochtemperaturbeständigkeit, der chemischen Trägheit und der hervorragenden Leistung sind Vetek Semiconductor's TAC -beschichtete Chucks für Halbleiteröfen ausgelegt. Wir glauben, dass unsere Produkte Ihnen fortschrittliche Technologie- und Qualitätsproduktlösungen bringen können.
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Als professioneller Hersteller und Lieferant in China haben wir unsere eigene Fabrik. Unabhängig davon, ob Sie maßgeschneiderte Dienste benötigen, um die spezifischen Bedürfnisse Ihrer Region zu erfüllen oder erweiterte und langlebige Tantalcarbid-Beschichtung in China hergestellt zu werden, können Sie uns eine Nachricht hinterlassen.
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