Graphit rotierende Unterstützung

Wafer Susceptor ist ein Muss für den epitaxialen Wachstumsprozess. Während des epitaxialen Wachstums wird das Wafersubstrat in den Suszeptor platziert. Im epitaxialen Wachstum von Galliumnitrid (MOCVD -Prozess) spielen sie eine unterstützende Rolle bei der Rotation des Substrats. Vetek Semiconductor's Drehs -Graphit -Suszeptor hat die folgenden Vorteile:

● hohe Reinheit: Der Verunreinigungsgehalt in hochpurigen Graphit-rotierenden Suszeptoren liegt unter 5 ppm. Dieses Grad an Reinheit Graphit kann die Freisetzung von Verunreinigungen bei hohen Temperaturen vermeiden, um die Sauberkeit des Ablagerungsprozesses zu gewährleisten. Daher ist keine Beschichtung erforderlich, um die Arbeitsanforderungen zu erfüllen.

Hochreinheit Graphit

● Ausgezeichnete thermische Eigenschaften: High-Purity-Graphit hat eine ausgezeichnete thermische Leitfähigkeit und seine thermische Leitfähigkeit ist viel höher als andere Materialien. Der thermische Expansionskoeffizient ist gering und kann bei Temperaturänderungen eine stabile Leistung aufrechterhalten.

● Gute mechanische Eigenschaften: High-Purity-Graphit hat einen guten Verschleißfestigkeit und -betrieb, der den komplexen Anforderungen des CVD-Prozesses erfüllen kann.

● Hervorragende Leitfähigkeit: Die Leitfähigkeit ist hundertmal höher als die von allgemeinen nicht-metallischen Mineralien.

● Chemische Stabilität: Es kann Korrosion vor Säuren, Alkalien und organischen Lösungsmitteln widerstehen

Darüber hinaus liefert Vetek Semiconductor als führender Hersteller und Lieferant von Hochreinheit-Graphit-Rotierfürpfung in China hochwertige QualitätenSic beschichtete Graphit -Anfälligkeit für MOCVD, Sic beschichtete Fassempfänger, TAC beschichtete GraphitunterstützungUndMOCVD -SIC -Beschichtungssempfanpfehlung.Vetek Semiconductor setzt sich für die Bereitstellung fortschrittlicher Technologie- und Produktlösungen für die Halbleiterindustrie ein und unterstützt maßgeschneiderte Dienstleistungen. Wir freuen uns aufrichtig darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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