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SIC Coating Collector Top
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SIC Coating Collector Top

Willkommen bei Vetek Semiconductor, Ihrem vertrauenswürdigen Hersteller von CVD -SIC -Beschichtungen. Wir sind stolz darauf, Aixtron SIC Coating Collector Top anzubieten, die mit hohem Reinheit mit Graphit fachmännisch ausgelegt sind und eine hochmoderne CVD-SIC-Beschichtung mit Verunreinigung unter 5 ppm enthalten. Bitte zögern Sie nicht, uns mit Fragen oder Anfragen an uns zu wenden

Mit jahrelangen Erfahrung in der ProduktionTAC -BeschichtungUndSic -Beschichtung, Vetek Semiconductor kann eine breite Palette von SIC -Beschichtungskollektor -Top liefern,Sammlerzentrum, SammlerbodenFür Aixtron -System. Hochwertiger SIC -Coating Collector Top kann viele Anwendungen erfüllen. Wenn Sie benötigen, erhalten Sie bei Bedarf unseren Online -Service über den SIC -Coating Collector Top. Zusätzlich zu der nachstehenden Produktliste können Sie auch Ihren eigenen einzigartigen SIC -Coating -Sammler entsprechend Ihren spezifischen Anforderungen anpassen.


SIC Coating Collector Top, SIC Coating Collector Center und SIC Coating Collector Bottom sind die drei Grundkomponenten, die im Halbleiterherstellungsprozess verwendet werden. Lassen Sie uns jedes Produkt separat diskutieren:


Vetek Semiconductor SIC Coating Collector Top spielt eine entscheidende Rolle im Halbleiter -Abscheidungsprozess. Es wirkt als Stützstruktur für das abgelagerte Material und trägt dazu bei, die Gleichmäßigkeit und Stabilität während der Ablagerung aufrechtzuerhalten. Es unterstützt auch das thermische Management und löst die während des Prozesses erzeugte Wärme effektiv ab. Die Oberseite des Sammlers stellt die korrekte Anordnung und Verteilung des abgelagerten Materials sicher, was zu einem qualitativ hochwertigen und konsistenten Filmwachstum führt.


Die SIC -Beschichtung am Sammlertop, das Collector Center, den Collector Bottom verbessert ihre Leistung und Haltbarkeit erheblich.SIC (Silicon Carbid) Beschichtungist bekannt für seine hervorragende thermische Leitfähigkeit, chemische Trägheit und Korrosionsresistenz. Die SIC -Beschichtung an der Ober-, Mittel- und Unterseite des Kollektors bietet hervorragende Wärmemanagementfähigkeiten, um eine effiziente Wärmeableitung zu gewährleisten und optimale Prozesstemperaturen aufrechtzuerhalten. Es hat auch einen hervorragenden chemischen Widerstand, schützt Komponenten vor korrosiven Umgebungen und verlängert ihre Lebensdauer. Die Eigenschaften von SIC -Beschichtungen tragen dazu bei, die Stabilität von Halbleiterherstellungsprozessen zu verbessern, Defekte zu reduzieren und die Filmqualität zu verbessern.


Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD -sic -Beschichtung:

Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD -sic -Beschichtung
Eigentum Typischer Wert
Kristallstruktur Polykristalline FCC -β -Phasen -FCC -β -Phase, hauptsächlich (111) orientiert
CVD -SIC -Beschichtungsdichte 3,21 g/cm³
Sic -Beschichtungshärte 2500 Vickers Härte (500 g Last)
Körnung 2 ~ 10 mm
Chemische Reinheit 99,99995%
Wärmekapazität 640 J · kg-1· K-1
Sublimationstemperatur 2700 ℃
Biegerstärke 415 MPa RT 4-Punkte
Der Modul von Young 430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Wärmeleitfähigkeit 300W · m-1· K-1
Wärmeausdehnung (CTE) 4,5 × 10-6K-1


SEM -Daten von CVD SIC -Film

SEM DATA OF CVD SIC FILM

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