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Siliziumepitaxie

Siliziumepitaxie, EPI, Epitaxie, Epitaxie bezieht sich auf das Wachstum einer Kristallschicht mit derselben Kristallrichtung und unterschiedlicher Kristalldicke auf einem einkristallinen Siliziumsubstrat. Für die Herstellung diskreter Halbleiterbauelemente und integrierter Schaltkreise ist eine epitaktische Wachstumstechnologie erforderlich, da die in Halbleitern enthaltenen Verunreinigungen N-Typ- und P-Typ-Verunreinigungen umfassen. Durch die Kombination verschiedener Typen weisen Halbleiterbauelemente vielfältige Funktionen auf.


Die Siliziumepitaxie-Wachstumsmethode kann in Gasphasenepitaxie, Flüssigphasenepitaxie (LPE), Festphasenepitaxie unterteilt werden. Die Wachstumsmethode durch chemische Gasphasenabscheidung wird weltweit häufig verwendet, um die Gitterintegrität zu gewährleisten.


Typische Silizium-Epitaxiegeräte werden von der italienischen Firma LPE vertreten, die Pfannkuchen-Epitaxie-Hypnotentore, Fass-Hypnotentore, Halbleiter-Hypnotentore, Waferträger usw. anbietet. Das schematische Diagramm der fassförmigen Epitaxie-Hy-Pelektor-Reaktionskammer ist wie folgt. VeTek Semiconductor kann tonnenförmige Wafer-Epitaxie-Hy-Pelektoren liefern. Die Qualität des SiC-beschichteten HY-Pelektors ist sehr ausgereift. Qualität gleichwertig mit SGL; Gleichzeitig kann VeTek Semiconductor auch Silizium-Epitaxie-Reaktionshohlraum-Quarzdüsen, Quarz-Prallplatten, Glasglocken und andere komplette Produkte liefern.


Vertikaler epitaktischer Suszeptor für die Siliziumepitaxie:


Schematic diagram of Vertical Epitaxial Susceptor for Silicon Epitaxy


Die wichtigsten vertikalen epitaktischen Suszeptorprodukte von VeTek Semiconductor


SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI SiC-beschichteter Graphit-Fass-Suszeptor für EPI SiC Coated Barrel Susceptor SiC-beschichteter Zylindersuszeptor CVD SiC Coated Barrel Susceptor CVD-SiC-beschichteter Zylindersuszeptor LPE SI EPI Susceptor Set LPE SI EPI-Rezeptor-Set



Horizontaler epitaktischer Suszeptor für die Siliziumepitaxie:


Schematic diagram of Horizontal Epitaxial Susceptor for Silicon Epitaxy


Die wichtigsten horizontalen epitaktischen Suszeptorprodukte von Vetek Semiconductor


SiC coating Monocrystalline silicon epitaxial tray SiC-Beschichtung. Monokristalline Silizium-Epitaxieschale SiC Coated Support for LPE PE2061S SiC-beschichteter Träger für LPE PE2061S Graphite Rotating Susceptor Rotierender Empfänger aus Graphit



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CVD -SIC -Beschichtungsschale

CVD -SIC -Beschichtungsschale

Veteks CVD -SIC -Beschichtungslaffel wird hauptsächlich in der SI -Epitaxie verwendet. Es wird normalerweise mit Siliziumverlängerungsfässern verwendet. Es kombiniert die einzigartige hohe Temperatur und Stabilität der CVD -SIC -Beschichtung, die die gleichmäßige Verteilung des Luftstroms bei der Herstellung von Halbleiter erheblich verbessert. Wir glauben, dass unsere Produkte Ihnen fortschrittliche Technologie und qualitativ hochwertige Produktlösungen bringen können.
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SiC-beschichteter Zylindersuszeptor

SiC-beschichteter Zylindersuszeptor

Epitaxy is a technique used in semiconductor device manufacturing to grow new crystals on an existing chip to make a new semiconductor layer.VeTek Semiconductor offers a comprehensive set of component solutions for LPE silicon epitaxy reaction chambers, delivering long lifespan, stable quality, and improved epitaxial Schichtausbeute. Unser Produkt wie SIC Coated Barrel Susceptor erhielt Positionsfeedback von Kunden. Wir bieten auch technische Unterstützung für SI EPI, SIC EPI, MOCVD, UV-LED-Epitaxie und mehr. Fragen Sie sich gerne nach Preisinformationen.
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Wenn der EPI-Empfänger

Wenn der EPI-Empfänger

China Top Factory-Vetek Semiconductor kombiniert Präzisionsbearbeitungs- und Halbleiter-SIC- und TAC-Beschichtungsfunktionen. Der SUPI -SUPI -SUPTOR vom Typ Fass bietet Temperatur- und Atmosphärenkontrollfähigkeiten und verbessert die Produktionseffizienz bei den epitaxialen Wachstumsprozessen mit Halbleiter.
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So beschichtete Epi -Studiengebühren

So beschichtete Epi -Studiengebühren

Als führender inländischer Hersteller von Siliziumkarbid- und Tantalkarbid-Beschichtungen ist VeTek Semiconductor in der Lage, eine Präzisionsbearbeitung und gleichmäßige Beschichtung von SiC-beschichteten Epi-Suszeptoren zu gewährleisten und die Reinheit der Beschichtung und des Produkts effektiv auf unter 5 ppm zu kontrollieren. Die Produktlebensdauer ist vergleichbar mit der von SGL. Gerne können Sie uns anfragen.
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LPE SI EPI-Rezeptor-Set

LPE SI EPI-Rezeptor-Set

Flache Suszeptoren und Zylindersuszeptoren sind die Hauptform von Epi-Suszeptoren. VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Innovator von LPE-Si-Epi-Suszeptoren-Sets in China. Wir sind seit vielen Jahren auf SiC-Beschichtung und TaC-Beschichtung spezialisiert. Wir bieten einen LPE-Si-Epi-Suszeptor an Das Set wurde speziell für LPE PE2061S 4-Zoll-Wafer entwickelt. Der Übereinstimmungsgrad von Graphitmaterial und SiC-Beschichtung ist gut, die Gleichmäßigkeit ist ausgezeichnet und die Die Lebensdauer ist lang, was die Ausbeute des Epitaxieschichtwachstums während des LPE-Prozesses (Flüssigkeitsphasenepitaxie) verbessern kann. Wir heißen Sie herzlich willkommen, unsere Fabrik in China zu besuchen.
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Sic beschichtete Graphit -Barrel -SUPTOR für EPI

Sic beschichtete Graphit -Barrel -SUPTOR für EPI

Die epitaxiale Waferheizungsbasis vom Fass -Typ ist ein Produkt mit komplizierter Verarbeitungstechnologie, das für die Bearbeitungsgeräte und die Fähigkeit sehr schwierig ist. Vetek Semiconductor verfügt über fortgeschrittene Geräte und umfangreiche Erfahrung in der Verarbeitung von Sic Coated Graphit Barrel Susceceptor für EPI kann das gleiche wie das ursprüngliche Fabrikleben und kostengünstigere epitaxiale Fässer liefern. Wenn Sie an unseren Daten interessiert sind, können Sie sich nicht an uns kontaktieren.
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Als professioneller Hersteller und Lieferant in China haben wir unsere eigene Fabrik. Unabhängig davon, ob Sie maßgeschneiderte Dienste benötigen, um die spezifischen Bedürfnisse Ihrer Region zu erfüllen oder erweiterte und langlebige Siliziumepitaxie in China hergestellt zu werden, können Sie uns eine Nachricht hinterlassen.
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