VEECO MOCVD-Heizung

Veteksemis Veeco Mocvd-Heizung besteht aus hochreinigem Graphitmaterial mit Verunreinigungsgehalt, die streng unter 5 ppm kontrolliert werden und mit ultrahoher Reinheit Siliziumcarbid (sic) mit einer Reinheit von mehr als 99,99995% durch einen beschichtet sindCVD -Verfahren (Chemical Dampor Deposition). Diese Kombination von Materialien gibt der Heizung eine Reihe wichtiger Eigenschaften, die ihre hervorragende Leistung in derMetallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD)Verfahren.

Eines der herausragenden Merkmale der Veeco MocvD -Heizung ist die außergewöhnliche chemische Reinheit. Der hochreinheitliche Graphitkern reduziert die potenzielle Einführung von Verunreinigungen in den Hochtemperaturprozess erheblich und sorgt für einen ultra-verarbeiteten Filmabscheidungsprozess. DerCVD -SIC -BeschichtungBietet zusätzlichen Schutz für die Heizung und bildet eine starke Barriere, um chemische Reaktionen zu verhindern, die die Filmqualität beschädigen können. Diese beispiellose Reinheit ist für die Herstellung leistungsstarker, zuverlässiger Halbleitergeräte von wesentlicher Bedeutung.

Gleichzeitig weist der Heizer eine extrem hohe thermische Stabilität und Effizienz auf. SiC hat einen hohen Schmelzpunkt und eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit, sodass die Heizung die Wärme effektiv verwalten und leiten kann. Dies sorgt für eine gleichmäßige Erwärmung des gesamten Substrats, was wiederum dazu beiträgt, eine gleichmäßige Filmabscheidung zu erreichen und durch Wärmegradienten verursachte Defekte zu reduzieren. Eine solche thermische Effizienz ist besonders wichtig für die Präzisionsfertigung.

Die VEECO MOCVD-Heizung zeichnet sich auch durch ihre elektrische Leistung aus. Sein Kern aus hochreinem Graphit verfügt über eine hervorragende elektrische Leitfähigkeit, sodass der Heizer hohe elektrische Lastanforderungen bewältigen kann. Diese stabile elektrische Leistung ermöglicht der Heizung eine präzise Temperaturkontrolle und Abscheidungsrate unter Hochlastbedingungen, was für die Gewährleistung gleichbleibender Prozessbedingungen und die Verbesserung der Halbleiterfertigungseffizienz von entscheidender Bedeutung ist.

Das Oberflächendesign der Heizung wurde sorgfältig optimiert, um ein hohes Substratemissionsvermögen zu haben, was die Effizienz der Strahlungswärmeübertragung erheblich verbessert. Die Fähigkeit, gleichmäßig zu heizen, ist ein Schlüsselfaktor, um eine konsistente Dicke und Eigenschaften der Filmablagerung zu gewährleisten. Das Konstruktion mit hohem Emissionsvermögen verbessert auch die allgemeine thermische Effizienz der Heizung, wodurch der Energieverbrauch verringert und die Betriebskosten gesenkt werden.

In Bezug auf die Haltbarkeit weist Veteksemis Veeco MocvD -Heizung eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit, Oxidationsbeständigkeit und mechanische Festigkeit auf. Die CVD -SIC -Beschichtung bietet eine feste Barriere für die in MocvD -Prozesse gemeinsamen korrosiven Gase und Chemikalien, wodurch die Lebensdauer der Geräte verlängert und die Wartungsbedürfnisse und die Austauschkosten gesenkt werden. Sein Oxidationsbeständigkeit stellt sicher, dass die Heizung bei hohen Temperaturen ohne Leistungsverschlechterung stabil bleibt, was eine langfristige Stabilität gewährleistet.

Darüber hinaus ermöglicht die hohe mechanische Festigkeit der MOCVD-Heizung von VeTeksemi, dass sie den physikalischen Belastungen standhält, die während des Temperaturwechsels und der Substrathandhabung entstehen. Seine Robustheit reduziert das Risiko mechanischer Ausfälle und gewährleistet einen zuverlässigen Betrieb der Ausrüstung unter rauen Prozessbedingungen.

Als fortschrittlicher Hersteller und Lieferant von VEECO MOCVD-Heizprodukten bietet VeTeksemi auch eine Vielzahl hochwertiger Heizprodukte an, wie zTaC-Beschichtungsheizung, Graphitheizgerät mit Siliziumkarbid-Keramikbeschichtung, Siliziumkarbidkeramikbeschichtungsheizungusw. VeTek Semiconductor ist bestrebt, fortschrittliche und anpassbare Technologie- und Produktlösungen für die Halbleiterindustrie bereitzustellen. Wir hoffen aufrichtig, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.